• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.158.1-158.1
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• 2013

Microwave는 일반적으로 300 [MHz]~30 [GHz] 사이의 주파수를 가지는 전파로 1 [m] 이하의 파장을 가진다. Microwave를 이용한 플라즈마의 경우 낮은 이온 에너지, 효율적인 전자 가열, 넓은 동작압력 범위, 높은 밀도 등의 장점을 가지고 있어 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)에 적합한 플라즈마 소스라고 할 수 있다. 또한 Microwave는 파장의 길이가 증착이 이루어지는 진공 챔버의 길이보다 매우 작기 때문에 대면적 적용성이 용이하므로 현재 많은 연구가 이루어지고 있다. 본 연구에서는 Fluid Simulation을 통해 Maxwell's equation, continuity equation, electromagnetic wave equation 등을 이용하여 Microwave의 파워 및 압력에 따른 플라즈마 parameter를 계산하고, 자체 제작한 Linear microwave plasma 장치에서 정전 탐침(Langmuir Probe)을 이용하여 플라즈마 Parameter를 측정하였다. 또한 Simulation 결과와 실험결과를 비교 분석하였다.

• 전자공학회논문지A
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• 제33A권11호
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• pp.44-51
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• 1996

The radiation characteristics of a slot antenna in a plane conductor covered with a miving isotropic plasma layer are analyzed. The radiation null which causes distortion in radiation pattern is explainted by the zero of integrand in an asymptotic integral for radiation fields as a function of the plasma parameter and the plasma velocity. Numerical resutls for a radiation null calculated from various plasma and velocity parameters correspond to the results of two-dimensional problem.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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• pp.181-181
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• 2000

최근 반도체 공정에 있어 0.2$\mu\textrm{m}$ 이하의 미세 공정에 필요해짐에 따라 plasma를 이용한 공정이 필요하게 되었다. 그러나 ICP를 이용하여 SiO2를 etching 할 경우, SiO2/Si 선택비를 높이기 우해 전자 온도 제어가 필요하다. grid를 이용하여 전자 온도를 제어할 경우 plasma potential이 plasma 변수 제어에 중요한 역할을 하게 된다. 이번 실험에서는 grid를 이용하여 plasma potential를 변화시켜 주면서 생기는 플라즈마 변수 변화에 대해 연구하였다.

• Clinical and Experimental Reproductive Medicine
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• 제24권1호
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• pp.67-81
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• 1997

To determine the concentration and the physiologic role of metal components in blood plasma and seminal plasma in relation to male infertility, the concentrations of twelve metal components in blood plasma and seminal plasma including Na, Mg, K, Ca, Cr, Mn, Fe, Cu, Zn, Se, Cd and Pb were measured by atomic absorbance spectrophotometery or ion selective electrode analysis. Semen and blood samples were obtained from a total of 110 men including 70 male infertility patients, 20 vasectomized persons and 20 fertility proven volunteers visited to the Male Infertility Clinic of Pusan National University Hospital. The concentrations of Ca, Zn, Mg, Cr and Cd in control group were higher in seminal plasma than in blood plasma, and additionally Pb were higher in infertility group. The concentrations of all metal components revealed no significant difference according to patients' age, resident, occupation, sperm density, motility and hormone level in blood plasma, but some metal components including Ca, Mg, Cu, Mn, Cd and Pb revealed a significant difference according to each these parameters except patient's age in seminal plasma. The concentrations of Mn, Cd and Pb in the vasectomy persons were higher than in the infertility group III including testicular and epididymal factors, but not in blood plasma. We conclude that the quantitative changes of metal components in the seminal plasma may have effects on not only spermatogenesis and sperm function, but also contribute to diagnostic parameter according to organ specificity of the metal in the male reproduction.

• 한국전자파학회논문지
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• 제24권3호
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• pp.324-330
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• 2013

본 논문은 대기압 환경에서 발생하는 유전체 장벽 방전(dielectric barrier discharge: DBD) 플라즈마의 전자파 산란 특성을 측정하였다. 본 논문에서는 기본적인 DBD 플라즈마 발생기 구조를 병렬로 연결하여 넓은 면적의 플라즈마 발생기를 제작하였고, 14 kV, 4 kHz의 고전압 발생장치를 이용해 플라즈마가 발생하는 것을 확인하였다. 두 개의 혼 안테나와 벡터 네트워크 분석기를 이용해 S-parameter의 비교를 통해 전자파 산란 특성을 측정하였다. 전방 산란의 경우 제작된 플라즈마 발생기의 구조적 특성으로 인해 안테나의 편파에 따라 다른 결과 값을 얻었다. 편파가 수평일 때 최대 2 dB의 산란파 감쇠 특성을 확인할 수 있었다. 또한, 편파가 수평일 경우, 플라즈마 발생기 뒤에 PEC를 설치한 후 후방 산란 특성을 측정하였다. 그 결과, 5 GHz에서 안테나 관찰 각도가 $40^{\circ}C$, $60^{\circ}C$일 때 최대 2 dB 산란파 감쇠 특성을 얻었다.

• 한국환경과학회지
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• 제22권7호
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• pp.863-871
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• 2013

Dielectric discharges are an emerging technique in environmental pollutant degradation, which that are characterized by the production of hydroxyl radicals as the primary degradation species. For practical application of the plasma reactor, reactor that can handle large amounts of water are needed. Plasma research to date has focused on small-scale water treatment. This study was carried out basic study for scale-up of a single DBD (dielectric barrier discharge) plasma reactor. The degradation of N, N-Dimethyl-4-nitrosoaniline (RNO, indicator of the generation of OH radical) was used as a performance indicator of multi-plasma reactor. The experiments is divided into two parts: design parameters [effect of distance of single plasma module (1~14 cm), arrangement of ground electrode (single and multi), rector number (1~5) and power number (1~5)]; operation parameter [effect of applied voltage (60~220 V), air flow rate (1~5 L/min), electric conductivity of solution ($1.4{\mu}S/cm$, deionized water)~18.8 mS/cm (addition of NaCl 10 g/L) and pH (5~9)]. Considering the electric stability of the plasma reactor, optimum spacing between the single plasma module was 2 cm. Multi discharge electrodes - single ground electrode array was selected. Combination of power 3-plasma module 5 was the optimal combination for maximum RNO degradation. The optimum 1st voltage and air flow rate for RNO degradation were 180 V and 4 L/min, respectively. The pH and conductivity of the solution was not influencing the RNO degradation.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.492-492
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• 2012

RF biased inductively coupled plasma (ICP) has been widely used in various semiconductor etching processes and laboratory plasma researches. However, almost researches for the RF bias have been focused on the controls of dc self-bias voltages, even though the RF bias can change plasma parameters, such as electron temperature, plasma density, electron energy distribution (EED), and their spatial distributions. In this study, we report on the effect of the RF bias on the plasma parameters and the EEDs with various external parameters, such the RF bias power, the ICP power, the gas pressure, the gas mixture, and the frequency of RF bias. Our study shows the correlation between the RF bias and the plasma parameters and gives a crucial key for the understanding of collisionless electron heating mechanism in the RF biased ICP.

• 전력전자학회:학술대회논문집
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• 전력전자학회 2011년도 추계학술대회
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• pp.291-292
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• 2011

This paper proposes an extraction method for reactor parameters in atmosphere plasma power supplies. This method is performed by detecting phase difference between inverter voltage and current, and extracting the reactance through reactive power. The validity of the proposed scheme is investigated through simulation results and experimental results.

• 한국원자력학회:학술대회논문집
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• 한국원자력학회 2005년도 춘계학술발표회
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• pp.251-252
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• 2005

Streamer mode plasma is generated in the water DBD. Driving frequency is an important parameter for improving the discharge efficiency. With the optimum frequency, the decomposition of EDTA in the water is effectively preceded in the water-DBD plasma.

• 한국진공학회지
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• 제21권5호
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• pp.249-257
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• 2012

1차원 유체 모델을 사용하는 수치 코드를 개발하여 Pierce 다이오드에서 플라즈마에 대한 비선형 동력학적 거동을 연구하였다. Pierce 다이오드에서 플라즈마는 전극에서 방출되는 전자 전류와 전극 사이의 거리로 결정되는 Pierce 매개 변수가 변화함에 따라 안정하기도 하고 불안정해지기도 한다. 중성 및 비중성 Pierce 시스템의 동력학적 특성에 대해 해석적 및 수치적으로 연구하였다. Pierce 매개 변수의 값에 따라 플라즈마는 증폭 모드 또는 진동 모드를 가질 수 있으며, 진동 모드에서는 매개 변수가 감소함에 따라 계속적인 주기 배가 쌍갈림(period doubling bifurcation)을 일으키며 카오스 상태에 도달하게 된다. 이러한 거동에 대한 분석은 보다 복잡한 구조에서의 빔-플라즈마 상호작용에 대한 기본적인 이해를 위한 모델 및 카오스 제어를 위한 자료로서 사용될 수 있다.