• 제목/요약/키워드: Phase Shifted Mask

검색결과 3건 처리시간 0.015초

PIV 기법과 Digital Mask 기법을 적용한 버블유동 측정 (The Measurement of Bubble Driven Flow Using PIV and Digital Mask Technique)

  • 김상문;김현동;김경천
    • 대한기계학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한기계학회 2008년도 추계학술대회B
    • /
    • pp.2700-2703
    • /
    • 2008
  • An experiment on bubble-driven flow was performed in order to understand fundamental knowledge of flow structure around a rising bubble in a stagnant fluid. The measurement technique consists of a combination of the three most often used PIV techniques in multiphase flows: PIV with fluorescent tracer particles, the digital phase separation with a masking technique and a shadowgraphy. The key point of the measurement is that the background intensity of a PIV recording can be shifted to a higher level than a bubble region using a shadowgraphy in order to distinguish from fluorescent particles and a bubble as well. Flow fields were measured without an inaccurate analysis around a fluid-bubble interface by using only one camera simply.

  • PDF

Overlap Margin 확보 및 Side-lobe 억제를 위한 Scattering Bar Optical Proximity Correction (Scattering Bar Optical Proximity Correction to Suppress Overlap Error and Side-lobe in Semiconductor Lithography Process)

  • 이흥주
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제4권1호
    • /
    • pp.22-26
    • /
    • 2003
  • Attenuated PSM lithography 공정에서 overlay margin 확보 및 side-lobe 제거를 위해 기존의 Cr shield 방식의 단점인 복잡한 mask 제작공정과 구조를 단순화하기 위한 방법으로 scattering bar 방식을 제안하였다. Scattering bar는 Cr 보조패턴처럼 완전히 빛을 차단하는 것이 아니라 약간의 빛을 투과시켜 보강된 intensity를 상쇄하므로 side-lobe를 억제하는 방법으로 metal pattern을 생성할 때 scattering bar도 동시에 만들어 mask제작에 필요한 공정횟수를 줄이고 mask구조 역시 단순하게 한다 그리고 동시에 DOF(depth of focus)를 향상시킨다. Background clear pattern의 경우에 발생하는 side-lobe도 scattering bar를 이용하여 효율적으로 제거되었다.

  • PDF

편광 유지 광섬유를 이용한 Bragg Grating 센서 제작 (Fiber Bragg grating sensor using polarization-maintaining fiber)

  • 김철진;박태상;이상배;최상삼;정해양
    • 한국광학회지
    • /
    • 제8권5호
    • /
    • pp.415-419
    • /
    • 1997
  • 광섬유 격자는 외부의 가해진 물리량에 대해 선형적인 응답을 하며, 광섬유 격자의 파장 인코딩 특성으로 인해 S/N비가 높은 신호 처리를 할 수 있는 장점이 있다. 본 논문에서는 편광 유지 광섬유 격자를 이용한 압력 센서에 관한 실험을 수행하였다. 편광 유지 광섬유 격자는 위상 마스크를 이용하여 Bow-Tie형 광섬유에 형성시켰는데, 편광 유지 광섬유는 두 개의 고유 편광 축을 가지므로 두 개의 브래그 peak을 가진다. 종방향 스트레인과 온도 변화에 따른 두 개의 브래그 파장 변화를 측정한 결과 각각 1.2 pm/.mu..epsilon.의 종방향 스트레인에 대한 파장 민감도와 11.4 pm/.deg. C의 온도에 대한 파장 민감도가 관측되어, 단일 모드 광섬유 격자의 보고된 값과 거의 일치하였다. 반면에 편광 유지 광섬유 격자에 횡방향 스트레스를 가하면 두 브래그 파장사이의 간격이 변화함을 관측하였고, 두 브래그 파장 간격에 대하여는 14.6 pm/N의 횡방향 스트레스에 대한 파장 민감도를 얻었다. 편광 유지 광섬유 격자 센서는 온도의 변화에 무관한 횡방향 스트레스 즉, 압력센서로 이용할 수 있음을 보였다.

  • PDF