Precision Stage Using A Novel Contact-Free Planar Actuator Based on Combination of Electromagnetic forces (전자기력 조합에 기초한 평면 구동기를 이용한 자기 부상 방식 초정밀 스테이지)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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- v.25 no.11
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- pp.1863-1872
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- 2001