• 제목/요약/키워드: PLD(pulsed laser deposition)$Alq_3$

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펄스 레이저 증착법을 이용한 유기 박막의 제작 (Fabrication of Organic Thin Films by Pulsed Laser Deposition)

  • 박상무;이붕주
    • 한국진공학회지
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    • 제17권5호
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    • pp.455-460
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    • 2008
  • 최근까지 유기박막의 제조에 있어서 진공 증착 혹은 스핀코팅법의 대체방법으로 펄스 레이져 증착법 (PLD: Pulsed laser deposition)에 많은 관심이 되고 있는 실정이다. 본 논문에서는 유기발광소자(OLED)의 제작을 위해 $Alq_3$(aluminato-tris-8-hydroxyquinolate)와 TPD의 유기물을 질소($N_2$)분위기 상태에서 KrF($\lambda$=278 nm) 엑시머 레이저를 이용한 PLD법으로 증착하였고, 증착공정변화에 따른 증착된 박막의 분자 및 광학적 특성의 효과를 PL과 FT-IR등을 이용하여 평가하였다.

PLD법에 의한 OLED 제작 공정 개발 (Development of OLED manufacturing process using PLD method)

  • 김창교;노일호;장석원;홍진수;양성준
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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    • pp.598-602
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    • 2004
  • Organic light entitling diode panel was fabricated using pulsed laser deposition (PLD) method Nd-YAG laser with Q-Switched and 355 nm pulse was used for the PLD. While TPD(N,N'-Di-[naphthaleny]-N, N'-diphenyl-benzidine) was used as a HTL(Hole transport layer), $Alq_3$(8-Hydroxyquinoline, Aluminum Salt) was used as EML/ETL(Emitting Layer/Electron Transport Layer) Organic pellet was fabricated and employed for the PLD method. The absorbances of the organic films were investigated and the measured absorbance values of TPD and $Alq_3$ films was 362 nm and 399 nm, respectively. The turn-on voltage of the OLED panel was 7.5 V and its luminance was $90\;cd/m^2$

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