Lee, Euy Jin;Park, Bo Keun;Chung, Taek-Mo;Kim, Chang Gyoun
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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pp.366.1-366.1
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2014
The rare-earth oxides M2O3 (M=La, Pr, Gd) are good insulators due to their large band gap (3.9eV for Pr2O3, 5.6eV for Gd2O3), they have high dielectric constants (Gd2O3 K=16, La2O3 K=27, Pr2O3 K=26-30) and, compared to ZrO2 and HfO2, they have higher thermodynamic stability on silicon making them very attractive materials for high-K dielectric applications. Another attractive feature of some rare-earth oxides is their relatively close lattice match to that of silicon, offering the possibility of epitaxial growth and eliminating problems related to grain boundaries in polycrystalline films. Metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) has been preferred to PVD methods because of the possibility of large area deposition, good composition control and excellent conformal step coverage. Herein we report on the synthesis of rare-earth oxide complexes with designed alkoxide and aminoalkoxide ligand. These novel complexes have been characterized by means of FT-IR, elemental analysis, and thermogravimetric analysis (TGA).
Alkaline earth metal oxides were added to the conventional MgO films as a protective layer for dielectric materials to have lower firing voltage(Vf) of the plasma display panel(PDP). Panels with various protective layers of MgO-alkaline earth metal oxides were prepared on glass by using e-beam evaporation and its effect on firing voltage characteristics were investigated. (Ba-Mg)O films had poor voltage characteristics because of higher activation energy of BaO. But, (Sr-Mg)O, (Ca-Mg)O and (Ca-Sr-Mg) O had better voltage characteristics than the conventional MgO. A mixture film of (Mg-Ca-Sr)O show the lowest firing voltage which is less than that of MgO by 20V. The chemical composition to have lowest firing voltage is MgO:SrO:CaO ratio of 6:2:2. The mixture of MgO-Alkaline earth metal oxides films showed good transmittance properties within the visual range.
Diesel engines have the advantages of higher thermal efficiency and lower CO2 emissions than gasoline engines, but have the disadvantages that particulate matter (PM) and nitrogen oxides (NOx) emissions are greater than those of gasoline engines. In particular, nitrogen oxides (NOx) emitted from diesel engines generates secondary ultrafine dust (PM2.5) through photochemical reactions in the atmosphere, which is fatal to humans. In order to reduce nitrogen oxides (NOx), pre-treatment systems such as EGR, post-treatment systems such as LNT and Urea SCR have been actively studied. The Urea SCR consists of an injection device injecting urea agent and a catalytic device for reducing nitrogen oxides (NOx). The nitrogen oxide (NOx) reduction performance varies greatly depending on the urea uniformity in the exhaust pipe. In this study, spray characteristics according to the spray hole structure were confirmed, and the influence of spray uniformity on spray characteristics was studied through engine evaluation.
In this study, the reduction kinetics and behaviors of oxides in the water-atomized iron powder have been evaluated as a function of temperature ranging $850-1000^{\circ}C$ in hydrogen environment, and compared to the reduction behaviors of individual iron oxides including $Fe_2O_3$, $Fe_3O_4$ and FeO. The water-atomized iron powder contained a significant amount of iron oxides, mainly $Fe_3O_4$ and FeO, which were formed as a partially-continuous surface layer and an inner inclusion. During hydrogen reduction, a significant weight loss in the iron powder occurred in the initial stage of 10 min by the reduction of surface oxides, and then further reduction underwent slowly with increasing time. A higher temperature in the hydrogen reduction promoted a high purity of iron powder, but no significant change in the reduction occurred above $950^{\circ}C$. Sequence reduction process by an alternating environment of hydrogen and inert gases effectively removed the oxide scale in the iron powder, which lowered reduction temperature and/or shortened reduction time.
Thin film electrodes have been intensively studied for active materials and current collectors to enhance the electrochemical performance. Here, porous structures of nickel-based oxide films, consisting of nickel oxide and copper (II) oxide, which was derived from the copper substrate during the annealing process, were deposited on metallic copper foils. The half-cell tests revealed excellent capacity retention after $80^{th}$ charge/discharge cycles. Some films showed an excess of the theoretical capacity of nickel oxides, which mainly originate from partially oxidized copper substrates during annealing. These results exhibit that both a preparation method of an active materials and partially oxidized current collectors could be important roles to apply thin film electrodes.
This is the study on diffusion of ceramic body oxide compounds to glaze. For ceramic bodies, no ferrous oxides contain white ware, celadon, and 3 wt% iron oxides contained white ware was used in this experiment. These ceramic bodies were glazed by transparency glaze, iron oxides contained glaze, and glaze made by pine tree ash that treated in 1240 degree, under reduction condition for an hour. An electron probe microanalyzer(EPMA) was used to study diffusion of oxides and to calculate distance of ceramics bodies. As a result, only iron oxide and magnesium oxide from the body diffused to glaze, and also made a band which shown very thin layer of iron oxide and magnesium oxide between the body and glaze. The densest band of iron oxide formed 100 to $150{\mu}m$ in the glaze, and the densest band of magnesium oxide was found 50 to $100{\mu}m$ in the glaze. Therefore, it could be concluded that iron oxide in the body is diffused to the glaze and it affects the color of glaze, even though iron oxide exists in the glaze. Furthermore, the thickness of the glaze has an effect on the color of celadon.
In this paper, a number of supported metal oxides and perovskite type catalysts were investigated for the NOx reduction from the diesel engine exhaust gas. All catalysts were made into pellets type with diameter of 3-4 mm alumina(Al$_2$O$_3$) as a supporter. These samples were tested by real diesel exhaust gas which contains CO, hydrocarbons and soot in the temperature range of 150~55$0^{\circ}C$ with the $3300h^{-1}$ space velocity (SV). Among the results, several promising catalysts showed NOx conversion above 50% in the temperature range of 150-35$0^{\circ}C$. From these results supported metal oxides catalysts and perovskite type could be recommended for the practical application to the automobile exhaust treatments.
We have investigated the slurry induced metallic contaminations of undoped and doped silicate oxides surface on CMP cleaning process. The metallic contaminations by CMP slurry were evaluated in four different oxide films, such as plasma enhanced tetra-ethyl-orthyo-silicate glass(PE-TEOS), O3 boro-phos-pho-silicate glass(O3-BPSG), PE-BPSG, and phospho-silicate glass(PSG). All films were polished with KOH-based slurry prior to entering the post-CMP cleaner. The Total X-Ray fluorescence(TXRF) measurements showed that all oxide surfaces are heavily contaminated by potassium and calcium during polishing which is due to a CMP slurry. The polished O3-BPSG films presented higher potassium and calcium contaminations compared to PE-TEOS because of a mobile ions gettering ability of phosphorus. For PSG oxides, the slurry induced mobile ion contamination increased with an increase of phosphorus contents. In addition, the polishing removal rate of PSG oxides had a linear relationship as a function of phosphorus contents.
Kim, Kyung-Sun;Lee, Kwan-Hee;Cho, Ung-In;Choi, Jae-Shi
Bulletin of the Korean Chemical Society
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제7권1호
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pp.29-35
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1986
An empirical formula for semiconductive metal oxides is proposed relating nonstoichiometric value x to a temperature or an oxygen partial pressure such that experimental data can be represented more accurately by the formula than by the well-known Arrhenius-type equation. The proposed empirical formula is log x = A + $B{\cdot}1000/T\;+\;C{\cdot}$exp$(-D{\cdot}1000/T)$ for a temperature dependence and $log\;{\times}\;=a\;+b{\cdot}log\;Po_2\;+\;c{\cdot}$exp$(-d{\cdot}log\;Po_2)$ for an oxygen partial pressure dependence. The A, B, C, D and a, b, c, d are parameters which are evaluated by means of a best-fitting method to experimental data. Subsequently, this empirical formula has been applied to the n-type metal oxides of $Zn_{1+x}O,\; Cd_{1+x}O,\;and\;PrO_{1.8003-x}$, and the p-type metal oxides of $CoO_{1+x},\; FeO_{1+x},\;and\;Cu_2O_{1+x}$. It gives a very good agreement with the experimental data through the best-fitted parameters within 6% of relative error. It is also possible to explain approximately qualitative characters of the parameters A, B, C, D and a, b, c, d from theoretical bases.
Background: The chemical characterization of metallic alloys and oxides is conventionally carried out by wet chemical analytical methods and/or instrumental methods. Instrumental neutron activation analysis (INAA) is capable of analyzing samples nondestructively. As a part of a chemical quality control exercise, Zircaloys 2 and 4, nimonic alloy, and zirconium oxide samples were analyzed by two INAA methods. The samples of alloys and oxides were also analyzed by inductively coupled plasma optical emission spectroscopy (ICP-OES) and direct current Arc OES methods, respectively, for quality assurance purposes. The samples are important in various fields including nuclear technology. Methods: Samples were neutron irradiated using nuclear reactors, and the radioactive assay was carried out using high-resolution gamma-ray spectrometry. Major to trace mass fractions were determined using both relative and internal monostandard (IM) NAA methods as well as OES methods. Results: In the case of alloys, compositional analyses as well as concentrations of some trace elements were determined, whereas in the case of zirconium oxides, six trace elements were determined. For method validation, British Chemical Standard (BCS)-certified reference material 310/1 (a nimonic alloy) was analyzed using both relative INAA and IM-NAA methods. Conclusion: The results showed that IM-NAA and relative INAA methods can be used for nondestructive chemical quality control of alloys and oxide samples.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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