• 제목/요약/키워드: Optical transmittrance

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졸-겔법에 의한 강유전 BST 박막의 제조 및 특성(II) - 초음파의 효과 (Fabrication and Properties of ferroelectric BST thin films prepared by sol-gel method (II) - effect of ultrasound on properties of thin film)

  • 이진홍;박병옥;이승엽
    • 한국결정성장학회지
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    • 제11권6호
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    • pp.252-258
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    • 2001

  • ($Ba_{0.7}Sr_{0.3})TiO_3$박막을 ITO-coated glass 기판위에 spin-coating법으로 제조하였다. 제조된 용액을 초음파 bath 내에서 초음파 처리하여 균일화를 촉진시킨 후 박막을 제조하여 초음파 처리하지 않은 용액으로 제조한 박막과의 비교를 통하여 초음파 효과를 알아보았다. 용액의 초음파 처리로 박막의 결정화 온도를 다소 낮추었으며 박막의 표면이 보다 균일하고 치밀화되었고 거칠기도 8.4nm에서 5.6nm로 더 낮아졌다. 그리고 박막의 투광성 및 전기적 특성 또한 용액의 초음파 처리로 인하여 향상되었다.

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