Calculations of radical and ion densities in a $CF_4$ plasma using global model
(글로벌 모델에 의한 $CF_4$ 플라즈마에서의 라디칼 및 이온 밀도 계산)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.7 no.4
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- pp.374-380
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- 1998