Preparation of $Al_2O_3/NiO/Al_2O_3$ Multi-layer Films for Nano-Floating Gate Memory by ALD
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
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- pp.184-184
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- 2006