Ion-Induced Changes in a $Se_{75}Ge_{25}$ Inoaganic Resist for Focused Ion Beam Microlithgraphy
(집속 이온빔 마이크로리소그라피를 위한 비정질 $Se_{75}Ge_{25}$ 무기질 레지스터의 이온 유기 변화)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 1992.05a
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- pp.30-33
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- 1992