RF스퍼터링법을 이용한 강유전체 $LiNbO_3$ 박막의 제작과 특성연구
(The study on characteristics and fabrications of ferroelectric $LiNbO_3$ thin films using RF sputtering)
-
- 대한전기학회:학술대회논문집
- /
- 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 D
- /
- pp.1352-1354
- /
- 1998