• 제목/요약/키워드: Nb-Si-B

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기판온도가 Nb2O5/SiO2 버퍼층위에 증착한 ITO 박막의 광학적 및 전기적 특성에 미치는 영향 (Effect of Substrate Temperature on the Optical and Electrical Properties of ITO Thin Films deposited on Nb2O5/SiO2 Buffer Layer)

  • 정양희;강성준
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제20권5호
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    • pp.986-991
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    • 2016
  • 본 연구에서는 $Nb_2O_5/SiO_2$ 두개의 버퍼층위에 기판온도 (상온~$400^{\circ}C$) 에 따른 ITO 박막을 DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착하여 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. 기판온도가 상승함에 따라 그레인 크기 증가에 기인한 결정성 향상 때문에 비저항이 낮아지는 경향을 나타내었다. 기판온도 $400^{\circ}C$ 에서 증착한 ITO 박막이 $3.03{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm$ 의 비저항과 $86.6{\Omega}/sq.$의 면저항으로 가장 우수한 값을 나타내었다. 광학적 특성을 측정한 결과, 기판온도가 상승함에 따라 가시광 영역 (400~800nm) 에서의 평균 투과도는 증가하였으며 색도 ($b^*$) 값은 감소하였다. $400^{\circ}C$에서 증착한 ITO 박막의 평균 투과도와 색도 ($b^*$) 는 85.8% 와 2.13 으로 버퍼층이 삽입되지 않은 ITO 박막의 82.8% 와 4.56 에 비해 상당히 향상된 결과를 나타내었다. 이를 통해 $Nb_2O_5/SiO_2$ 두개의 버퍼층을 도입한 ITO 박막은 인덱스 매칭 효과로 인해 투과도 및 색도 ($b^*$) 등의 광학적 특성이 현저히 향상되었음을 확인할 수 있었다.

Electromagnetic Wave Absorption Characteristics of Nanocrystalline FeCuNbSiB Alloy Flakes/Polymer Composite Sheets with Different Flake Thickness

  • Lee, Tae-Gyu;Kim, Ju-Beom;Noh, Tae-Hwan
    • Journal of Magnetics
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    • 제14권4호
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    • pp.155-160
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    • 2009
  • This study examined the effects of a decrease in thickness of magnetic alloy flakes on the electromagnetic wave absorption characteristics of nanocrystalline $Fe_{73.5}Cu_1Nb_3Si_{15.5}B_7$ (at.%) alloy flakes/polymer composite sheets available for a quasi-microwave band. The thickness of FeCuNbSiB alloy flakes decreased to 1-2 $\mu$m with increasing milling time up to 24 h, and the composite sheet including alloy flakes milled for 24 h exhibited considerably enhanced power loss properties in the GHz range compared to the sheets having non-milled alloy powders. Although a considerable increase in loss factor upon milling was observed in the narrow frequency range of 4-6 GHz, there was no correlation between the complex permeability and flake thickness. However, the complex permittivity increased with increasing milling time, and there was good agreement between the milling time and the frequency dependences of the complex permittivity and power loss.