In this study, we have been examined nano Injection Molding process which can improve transcription of 100nm-level pattern. We changed the various parameter (temperature of injection mold, clamp force, temperature of nozzle) which can be influence for improving transcription. And we measured and analyzed shapes of 100nm-level pattern by Automic Force Microscope for proving transcription. We made the Blu-ray Disc sample for proving transcription. And we measured HF-Signal and jitter. As a result, when the temperature of mold is more than $120^{\circ}C$ and the clamp force is more than 10 ton, We reached over 95 percent of transcription compared with stamper pattern. And we reached in-spec. value for HF-Signal and Jitter. Then we reached over 95 percent of transcription compared with stamper pattern.
한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part 1
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pp.36-37
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2006
This study aims to investigate the usage of nano-scale particles in a micro metal injection molding ($\mu$-MIM) process. Nanoscale particle is effective to improve transcription and surface roughness in small structure. Moreover, the effects of hybrid micro/nano particles, Cu/Cu and SUS/Cu were investigated. Small dumbbell specimens were produced using various feedstocks prepared by changing binder content and fraction of nano-scale Cu particle (0.3 and $0.13{\mu}m$ in particle size). The effects of adding the fraction of nano-scale Cu powder on the melt viscosity of the feedstock, microstructure, density and tensile strength of sintered parts were discussed.
Nanopowders provide better details for micro features and surface finish in powder injection molding processes. However, the small size of such powders induces processing challenges, such as low solid loading, high feedstock viscosity, difficulty in debinding, and distinctive sintering behavior. Therefore, the optimization of process conditions for nanopowder injection molding is essential, and it should be carefully performed. In this study, the powder injection molding process for Fe nanopowder has been optimized. The feedstock has been formulated using commercially available Fe nanopowder and a wax-based binder system. The optimal solid loading has been determined from the critical solid loading, measured by a torque rheometer. The homogeneously mixed feedstock is injected as a cylindrical green body, and solvent and thermal debinding conditions are determined by observing the weight change of the sample. The influence of the sintering temperature and holding time on the density has also been investigated. Thereafter, the Vickers hardness and grain size of the sintered samples have been measured to optimize the sintering conditions.
In this paper, we present reusable quartz master fabricated by electron-beam lithography and dry etching process of quartz, and results of injection molding based on the reusable quartz master for the manufacturing of nano-scale information media. Since patterned structures of photoresist can be easily damaged by separation (demolding) process of nickel stamper and master, a master with photoresist cannot be reused in stamper fabrication process. In this work, we have made it possible of the repeated use of master by directly patterning on quart in nickel stamper fabrication process. We have designed and fabricated four different specimens including 100nm, 140nm 200nm and 400nm pit patterns. In addition, both intaglio and embossed carving patterns are fabricated for each specimen. In the preliminary test of injection molding, we have fabricated polycarbonate patterns with varying mold temperature. We have experimentally verified the fabrication process of the reusable quart master and possibility of quartz master as direct stamper.
Recently, many researches on the development of super-hydrophobic surface have been concentrated on the fabrication of nano-patterned products. Nano-patterned mold is a key to replicate nano-patterned products by mass production process such as injection molding and UV molding. The present paper proposes the new fabricating method of nano-patterned mold at low cost. The nano-patterned mold was fabricated by electroforming the anodic aluminum oxide membrane filled with UV curable resin in nano-hole by capillary phenomenon. As a result, the final mold with nano-patterns which have the holes with the diameter of 100~200 nm was fabricated. Furthermore, the UV-molded products with clear nano- patterns which have the pillars with the diameter of 100~200nm were achieved.
We injection molded a thin type of plate and wedge type of plate with micro prizm patterns on its surface and investigated the fidelity of replication of the micro pattern depending on the process parameter such as mold temperature, melt temperature, injection rate or packing pressure. The size of the $90^{\circ}$ prizm pattern is $50{\mu}m$ and the size of the plate is about $335mm{\times}213mm$ and $400mm{\times}400mm$. The thicknesses are 2.6mm and 0.7mm at each edge of the wedge type of plate and 1mm at each edge of the thin type of plate. The fidelity of the replication turned out quite different according to the process parameters and location of the patterns on the plate. We measured the cavity pressure and temperature in real-time during the molding to analyze the effect of the local melt pressure and temperature on the micro pattern replication.
The injection molding process has high accuracy and good reproducibility that are essential for mass production at low cost. Conventional molding processes typically use the water-based mold heating and air cooling methods. However, in the nano injection molding processes, this semi-active mold temperature control results in the several defects such as air-flow mark, non-fill, sticking and tearing, etc. Therefore, in order to control temperature of the molds actively and improve the quality of the molded products, the novel nano injection molding system, which uses active heating and cooling method, has been introduced. By using the Peltier devices, the temperature of locally adiabatic molds can be controlled dramatically and the quality of the molded patterns can be improved.
The injection molding is very effective process for various plastic products due to its high productivity. It is also good fur precise products like optical parts. Various thermoplastic materials are also available with this injection molding process. In recent, however, as the overall size of the product increases and micro or nano scale of patterns are applied to the products, we now have some problems such as low fidelity of the replication of the pattern, high molding pressure, or warpage from the in-mold stress. Injection/compression molding is studied to overcome those problems in molding large thin plate with micro pattern array on its surface. An injection compression mold is designed to 3 pieces mold for side gate. We install 4 pressure transducers and 9 thermocouples to measure the melt pressure and surface temperature in the cavity during the process. As a result, the maximum molding pressure for injection compression molding is reduced to 1/3 compared to injection molding and the uniformity of the pressure in the cavity is enhanced by about 15%.
Metal Injection Molding(MIM) is a technology without any mechanical processing, which is a promising area backed up by nano powder technology developed in late 1990's. The market was about 24 billion U$ in 1999. Many applications are made in process development, uses, powder making, hindering and sintering, of which order is in terms of the number of patents. This technologies are mainly developed by US firms, and applied by Japanese firms. Europe and Korea are still catch-up stage. More efforts should be made in this field because new opportunities are opening, thanks to nano technology.
In recent years, many researches on new storage media with high capacity and information are developing. For manufacture of optical storage with high capacity, the injection molding process is generally used. In order to increase the filling ratio of the injection molding structure, the injection molding process required for high injection pressure, packing pressure and temperature control of the mold. However, conventional injection molding process is difficult to increase the filling ratio using injection master with the range of several nanometers and high aspect ratio. In order to improve and increase filling ratio of nano-structure with high aspect ratio, the active temperature control of injection mold was used. Experimental conditions were used injection pressure, time and temperature. Consequently, by using the peltier device into injection mold, we carried out the efficient and active temperature control of mold at low cost.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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