• 제목/요약/키워드: Nano-Accelerometer

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탄소나노튜브 기반의 나노-가속도계에 관한 연구 (A Study on Nano-Accelerometer based on Carbon Nanotube)

  • 송영진;이준하
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제10권1호
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    • pp.91-95
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    • 2009
  • 나노튜브를 기반으로 한 용량성 나노 가속도계에 대한 특성을 고전적인 분자동역학 시뮬레이션을 이용하여 연구하였다 외부에서 공급된 힘을 이용하여 나노튜브의 위치를 제어할 수 있었고, 해당하는 위치에 의한 커패시턴스의 변화를 통하여 피드백 센싱을 할 수 있었다. 에너지 소모 측면을 고려하면, 나노 가속도계의 진동 특성은 초기 변위와는 무관하였으며, 이러한 측정 시스템은 진동하는 커패시턴스를 추적하여 가속도를 결정하고, 이것은 또한 공급된 힘과 용량성 힘, 반데르발스 힘, 결합력, 반발력과 같은 힘들이 균형을 이루는 위치를 결정할 수 있다.

나노갭 트렌치 공정을 이용한 가속도센서 제작 (Fabrication of the accelerometer using the nano-gap trench etching)

  • 김현철;권희준
    • 한국정보전자통신기술학회논문지
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    • 제9권2호
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    • pp.155-161
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    • 2016
  • 본 논문은 광 도움 전기화학적 식각으로 나노갭 트렌치 구조를 형성하고 이를 이용해서 정전 용량형 가속도 센서를 설계하고 제작한 것에 대한 연구이다. 정전 용량형 가속도 센서의 감도를 증가시키기 위해 스프링에 연결된 관성질량과 연결된 전극과 감지전극 사이의 간격을 좁혀 커패시턴스의 변화량을 증가시키고 있다. 이를 실현시키기 위해 광-도움 전기화학적 식각을 이용하였고 ANSYS 프로그램을 이용하여 구조해석을 실시하여 $1mm{\times}mm$ 크기의 초소형 정전 용량형 가속도 센서를 설계하였다. 광-도움 전기화학적 식각의 실험 변수인 빛의 세기, dc 전압, 용액의 조성, 피치 등을 고려하여 가속도 센서는 제작 되었다. 최적 공정 조건은 dc전압 2V, Blue LED 20mA, 49wt%HF:DMF:D.I.Water=1:20:10, 피치 $20{\mu}m$이며, 폭 344nm, 깊이 $11.627{\mu}m$의 나노갭 트렌치가 형성되었다.

나노 다이아몬드 코팅박막의 기계적 특성 평가를 위한 계측시스템의 개발 (Development of the Measurement System for Evaluating Mechanical Properties of Nano-diamond Coated Film)

  • 권현규;이소진;권용민
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제18권1호
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    • pp.25-31
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    • 2019
  • In this study, a new adhesion evaluating equipment and data processing methods were developed to overcome some limitations of existing evaluating equipment. Nano-diamond coated tool is a specimen of experiment. When applying frictional force and shear force on the specimen by a rotating polishing pad, delamination occurs at a moment. During each experiment, the vibration, load, and torque is obtained by accelerometer, loadcell and torque s+ kpensor. Frictional force and coefficient of friction are obtained by calculating torque and load. Based on FFT transformation, acceleration is processed and analyzed. As a result, the moment of delamination and the load at that time can be detected by the new developed equipment and measurement system. Finally, we call this load as an Adhesion force.

A Study on MTL Device Design and Motion Tracking in Virtual Reality Environments

  • Oh, Am-Suk
    • Journal of information and communication convergence engineering
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    • 제17권3호
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    • pp.205-212
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    • 2019
  • Motion tracking and localization devices are an important building block of motion tracking systems in a virtual reality (VR) environment. This study is about improving the accuracy of motion and location for enhancing user immersion in experience type VR environment to position tracking technique. In this study, we propose and test a design of such a device. The module data test of the attitude and heading reference system shows that the implementation with the MPU-9250 sensor is successful and adequate to be used with short operation time. We consider various sensor hardware dependencies of VR, and compare various correction methods and filtering methods to lower the motion to photon (MTP) time that user movement is fully reflected on the display using sensor devices. The Kalman filter is used to combine the accelerometer with the gyroscope in the sensing unit.

MEMS 센서를 활용한 건설현장 작업자 위치/안전 정보 추적 시스템 개발 (Development of Location/Safety Tracking System for Construction Site Workers by Using MEMS Sensors)

  • 김진영;안성수;강준희
    • 전자공학회논문지 IE
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    • 제49권1호
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    • pp.12-17
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    • 2012
  • 유비쿼터스 기술의 발전과 더불어 다양한 응용 분야가 대두되고 있으며 특히 건설 현장 분야는 유비쿼터스 기술 및 시스템을 도입 하였을 때 많은 기대효과를 얻을 수 있는 분야이다. 건설 현장에는 항상 많은 위험요소가 존재 하며 특히 추락 사고가 높은 발생 비율을 차지하고 있다. 이러한 사고를 방지하기 위해서 안전교육 및 안전장비 착용 등 다양한 노력을 기울이고 있다. 본 연구에서는 무선 회로 (TOA, RSSI)를 구성하여 작업자의 안전정보 및 위치정보를 실시간으로 모니터링 할 수 있는 시스템을 설계하고 제작하여 측정하였다. 산업용 장비에서 많이 사용되는 ATmega128 MCU를 사용하였으며, 무선 회로를 위해서는 나노트론사의 NanoPan 5357 모듈과 TI사의 CC2500 칩셋을 사용하였다. 또한, 주변환경 정보를 취득하기 위해서 3축가속도 및 압력 MEMS센서를 적용하였다. 이를 통해 작업자의 이동여부 및 고도정보를 판단할 수 있도록 시스템을 개발하였다. 응용소프트웨어는 NI사의 Labview 소프트웨어를 이용하여 개발을 진행하였다. 작업자가 위험지역에서 안전장비(안전고리)를 착용하지 않을 경우 서버 관리자와 작업자에게 경고 알람을 울리도록 시스템을 개발하였다.