• 한국분무공학회지
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• 제13권1호
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• pp.34-41
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• 2008

Molecular dynamic simulations have been carried out to study the effect of the nano-structure substrate and its temperature on cluster laminating. The interaction between substrate molecules and liquid molecules was modeled in the molecular scale and simulated by the molecular dynamics method in order to understand behaviors of the liquid cluster on nano-structure substrate. In the present model, the Lennard-Jones potential is applied to mono-atomic molecules of argon as liquid and platinum as nano-structure substrate to perform simulations of molecular dynamics. The effect of wettability on a substrate was investigated for the various beta of Lennard-Jones potential. The behavior of the liquid cluster and nano-structure substrate depends on interface wettability and function of molecules force, such as attraction and repulsion, in the collision progress. Furthermore, nano-structure substrate temperature and beta of Lennard-Jones potential have effect on the accumulation ratio. These results of simulation will be the foundation of coating application technology for micro fabrication manufacturing.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.396-400
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• 2003

A new synthesis process for nano laminating Ti$_3$SiC$_2$ has been developed using TiCx (x=0.67) and Si powder as starting materials by a reaction hot pressing. Bulk Ti$_3$SiC$_2$ was fabricated using a green body consisting of TiCx and Si by a hot pressing under the pressures of 25 MPa at 1420-1550 $^{\circ}C$ for 90 min. The synthesized Ti$_3$SiC$_2$ was consisting of only TiCx and Ti$_3$SiC$_2$. The relative density of sintered bulk Ti$_3$SiC$_2$ was increased as the hot pressing temperature was increased, which was mainly due to the increase in TiCx contents in synthesized Ti$_3$SiC$_2$. The synthesized Ti$_3$SiC$_2$ bulk was consisted of nano sized lamella structure of 20-100 nm in thickness. It was found that TiCx particles in Ti$_3$SiC$_2$ would increase the 3-point bending strength of synthesized Ti$_3$SiC$_2$ bulk. The maximum 3-P. bending strength of synthesized Ti$_3$SiC$_2$ bulk was more than 800 MPa. The Vickers hardness of synthesized Ti$_3$SiC$_2$bulk was as low as 5 Gpa, which was decreased with the indentation load. The quasi-plastic deformation behaviors were observed around indentation mark on Ti$_3$SiC$_2$.

• 한국세라믹학회지
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• 제40권1호
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• pp.87-92
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• 2003

출발 물질로 TiCx(x=0.67)와 Al 분말을 사용하여 800~150$0^{\circ}C$ 온도 구간에서 상압 또는 가압 반응으로 Ti$_3$AlC$_2$를 합성하였다. 출발 물질로 TiCx(x=0.67)와 Al 분말을 사용한 반응 합성에서는 Ti-Al intermetallic compound 또는 Al-C compound와 같은 중간 형성물은 형성되지 않았으며 Ti$_3$AlC$_2$을 합성할 수 있었다. TiCx(x=0.67)와 용융 Al의 직접 반응으로 80$0^{\circ}C$에서는 Ti$_2$AlC 상이 합성되었으며, 1200~150$0^{\circ}C$ 반응온도 구간에서는 Ti$_3$AlC$_2$ 상이 우선적으로 합성되었다. 저온에서 합성된 Ti$_2$AlC 상은 고온에서 TiC와 반응으로 Ti$_3$AlC$_2$ 상으로 합성되었다. 본 연구에서는 출발 물질로 TiCx와 Al을 사용한 Ti$_3$AlC$_2$ 상의 합성기구를 제시하였다. 합성된 Ti$_3$AlC$_2$의 미세구조는 Ti$_3$AlC$_2$ 상으로 이루어진 결정립이 45~120nm크기로 적층된 구조를 갖는다.

• 폴리머
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• 제29권4호
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• pp.418-421
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• 2005

본 연구에서는 나노/마이크로 소자 및 MEMS 제작에 활용가능하고 또한 수십 마이크로미터 크기의 3차원 곡면을 가진 형상을 제작하기 유리한 이광자 광중합을 이용한 다중조사 복셀 매트릭스 스캐닝법(multi-exposure voxel matrix scanning method)에 의한 나노 복화공정을 개발하였다. 이 공정을 통하여는 높이에 따라 14가지의 색을 가진 등고선으로 표현된 3차원 자유곡면 형상을 적층방식이 아닌 단일 층으로 3차원으로 제작할 수 있다. 여기서 수광각도가 1.25인 집광렌즈를 사용하여 레이저의 조사시간에 따라 1.2 um에서 6.4 um까지 변하는 복셀의 높이 차이를 이용하여 3차원 곡면 제작이 가능하다. 본 연구의 유용성을 검토하기 위하여 몇 가지 3차원 곡면형상을 초미세 입체 패터닝 공정에서 사용하는 일반적인 적층방식을 사용하지 않고 단층으로 제작하여 시간을 단축하였다.