• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.100.2-100.2
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• 2015

반도체 산업이 성장하고 기술이 향상됨에 따라 소자의 소형화가 이루어지고 있다. 공정법으로는 atomic layer deposition (ALD), chemical vapor deposition (CVD) 등이 있다. 이러한 공정을 이용하여 수십 nm까지 미세화가 진행되고 있으며, 복잡한 구조의 박막을 실현하기 위해 전구체의 개발이 활발히 진행되고 있다. 전구체의 특성을 비실시간으로 분석하는 방법으로는 질량 분석법, 가스크로마토그래피, 적외선 분광법 등이 있다. 전구체의 특성을 실시간으로 분석하기 위해 Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR)내에 attenuated total reflectance (ATR)를 거치시켰다. 본 연구는 구조를 개선한 ATR-FTIR을 이용하여 Tris-(dimethylamino) Zirconium (CpZr) 전구체의 흡착 거동을 분석하였다. ATR용 crystal은 Ge crystal을 사용했으며, 온도를 각각 30, 40, $50^{\circ}C$에서 CpZr 전구체의 흡착특성을 연구했다. 흡착성을 증가시키기 위해 Ge crystal 표면에 $ZrO_2$나노입자를 분포시켜 흡착특성을 비교 분석하였다. 또한 CpZr 전구체가 흡착된 Ge crystal 표면에 오존가스를 주입시킨 후 변화를 관찰하였다. Ge crystal표면에 나노입자를 분포시켜 CpZr 전구체를 흡착한 결과 나노입자를 분포시키지 않았을 때 보다 흡착강도가 높게 나타났다. 또한 CpZr 전구체가 흡착된 Ge crystal 표면에 오존가스를 주입한 결과 C-H 결합이 분해됨을 확인했다.

• Proceedings of the Korean Society of Dyers and Finishers Conference
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• 2011.03a
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• pp.56-56
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• 2011

알코올 환원법(alcohol reducing process)은 화학적 환원제가 필요하지 않은 화학합성법으로 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소프로판올, 부탄올 등 C1-C4의 알코올류, 에틸렌 글라이콜, 디에틸렌 글라이콜, 프로필렌 글라이콜과 같은 글리콜류 등이 용매이자 환원제로써 사용된다. 전형적으로 금속 전구체를 상기의 알코올류나 글리콜류에 용해 또는 분산시킨 후 그 용액을 환류 조건하에서 가열하게 되면 금속 이온과 용매간의 산화, 환원반응에 의하여 금속이온이 금속원자로 환원되며, 환원된 금속 입자들은 핵 행성과 성장 과정을 거쳐서 입자를 형성하게 된다. 본 연구에서는 알코올환원법을 이용하여 나노크기의 은입자제조를 시도하였고, 이를 PET 칩과의 마스터배치 제조을 시도하였으며, 이의 항균성능을 연구 고찰하였다. 30 ~ 80 nm의 은파우더를 제조할 수 있었으며, 우수한 항균성능을 갖는 Ag/PET 마스터배치를 제조할 수 있었다. 이를 활용하여 나노은입자기반의 항균섬유을 제조하여 이를 활용한 기모경편성물 제조의 기초데이타로 활용이 가능하리라고 사료된다.

• Proceedings of the Korean Society of Dyers and Finishers Conference
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• 2011.03a
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• pp.86-86
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• 2011

나노소재기술은 기존 소재로는 얻을 수 없는 새로운 기능 및 특성을 나타낼 수 있어 산업전반에 적용할 수 있는 최첨단집적기술이다. 그러나 나노입자를 섬유에 첨가하여 기능성 섬유를 생산하는 경우 응집이 발생하는 등의 다양한 문제점이 발생하는데 이를 극복하기 위해서는 사이즈 분포를 제어하는 기술, 표면처리를 통해 분산성을 향상시키는 기술, 나노입자와 섬유와의 상용성을 개선하는 기술 등이 해결되어야 한다. 본 연구에서는 고기능성 및 고부가가치 경편파일 니트 원단을 개발하기 위해 은(Silver) 나노입자가 균일하게 분산된 M/B(Master Batch)를 제조하였으며, 이를 PET와의 용융 혼합 방사함으로써 0.5denier(75D/144F)급 원사에 99.9%의 영구적인 항균/소취 기능을 부여하였다. 또한 개발된 극세사를 이용하여 다양한 경편파일 원단을 설계하고, 기모, 염색 및 날염 등의 공정을 거쳐 나노기술융합형 화학섬유소재를 이용한 기능성 침장 제품을 개발하였다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.03a
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• pp.243-243
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• 2003

무기 나노 입자와 유기물간의 균일한 화학적 결합으로 제조된 나노 구조형 재료는 수많은 용도에 부응할 수 있는 기계적, 전기적 및 광학적 특성을 설계, 제조하는데 유용한 방법으로 사용되고 있다. 이중 화학적 습식 졸-겔 공정은 나노 구조형 유/무기 하이브리드 재료 제조에 매우 효과적인 방법으로 알려져 있으며 내부식성 금속 코팅막, 내 스크래치 코팅막 제조에 활용되고 있다. 그러나 무기 나노 졸 입자와 유기물과의 매개로 작용하는 커플링제와의 하이브리드 과정에 대한 정보는 극히 조금 알려져 있다. 본 연구에서는 알루미나 나노 졸과 GPS((3-glycidoxypropyl-triethoxysilane)와의 하이브리드 생성 과정을 이온 전도도 측정으로 관찰한 결과를 보고하고자 한다. 알루미나 나노 졸은 Al(NO$_3$)$_3$.9$H_2O$ 수용액에 NH$_4$OH를 가하여 침전물을 얻고 여과 및 수세하여 졸 입자의 함량이 약 5 wt%가 되게 이온교환수와 해교제인 초산을 소량 가하여 10$0^{\circ}C$에서 약 50시간 열처리하는 방법으로 제조하였다. 알루미나 졸 입자와 GPS와의 결합 과정을 reactor FT-IR로 시간에 파라 연속적으로 분석하여 그 반응 경로를 이온 전기전도와 비교하여 논의 될 것이다. 아래 그림 1은 알루미나 나노 졸에 GPS를 첨가한 후 시간에 따라 얻어진 이온 전기전도도를 나타낸 그림이다.

• Particle and aerosol research
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• v.11 no.4
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• pp.93-98
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• 2015

Particles which generated from plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) during thin film deposition process can affect to the process yield. By using light extinction method, ISPM can measure particles in the large-diameter pipe (${\leq}300mm$). In our research, in-situ particle monitor (ISPM) sensor was installed at the 300 mm diameter exhaust-line to count the particles in each size. In-house flange for mounting the transmitting and receiving parts of ISPM was carefully designed and installed at a certain point of exhaust line where no plasma light affect to the light extinction measurement. Measurement results of trend changes on particle count in each size can confirm that ISPM is suitable for real-time monitoring of vacuum process.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.10 no.1
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• pp.87-92
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• 2001

Magnetic Fe-Co(C) nanocapsules and Fe-Co nanoparticles were prepared by arc-discharge in two kinds of atmospheres, i.e. methane and a mixture of ($H_2$+Ar), respectively. Characterization and magnetic properties of this two kinds of ultrafine particles were investigated systematically by means of X-ray diffraction, Mssbauer spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, transmission electron microscopy, energy disperse spectroscopy analysis, chemical analysis, oxygen determination and magnetization measurement. Effects of carbon element, decomposed from a methane atmosphere in carbon arc process, on phase structures, magnetic states and surface characterization were studied in comparison to that of Ar element. Two ultrafine particles showed a little difference in the weight ratio of (Fe/co) and the size for Fe-Co nanoparticles was about two times bigger than Fe-Co(C) nanocapsules. The saturation magnetization of Fe-Co (C) nanocapsules was about 8% higher than that of Fe-Co nanoparticles while their phase constitutions were similar. Although no carbon could be detected by XRD measurement because of extremely thin shells on the surfaces of the cores, it is still believed that they are carbon and oxygen layers.

• Polymer(Korea)
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• v.31 no.1
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• pp.20-24
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• 2007

The preservation of biological activity of protein drugs in formulation is still a major challenge for successful drug delivery. Lipase was encapsulated in poly (D,L-lactide- co-glycolide) PLGA nano-particles using a w/o/w solvent evaporation technique. The lipase-containing PLGA/poly (vinyl alcohol) (PVA) nanoparticles were characterized with regard to morphology, size, size distribution, lipase-loading efficiency, in vitro lipase release, and stability of lipase activity. The size of nanoparticles increased as polymer concentration was increased. The size of particles was not significantly affected by the PVA concentration; on the other hand, the particle size distribution was the narrowest when 4% of PVA was used. In optimum conditions, we possessed nanoparticles that characterized 72.5% of encapsulation efficiency, $198.3{\pm}13.8 nm$ size diameter. During the initial burst phase, the in vitro release rate was very fast, reaching 83% within 12 days. Until days 6, enzyme activity increased as the amount of lipase released was increased.

• Clean Technology
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• v.19 no.3
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• pp.212-218
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• 2013

The microparticles of 2-hydroxypropyl-${\beta}$-cyclodextrin (HP-${\beta}$-CD) were prepared using aerosol solvent extraction system (ASES) by employing supercritical carbon dioxide as an antisolvent, The effects of various process parameters such as temperature, pressure, solution concentration and solution flow rate on the formation of HP-${\beta}$-CD microparticles were investigated. The HP-${\beta}$-CD microparticles prepared by the ASES process were observed to consist of agglomerates of nano-sized (50-200 nm) particles. When an aqueous solution of ethanol was used as a solvent for HP-${\beta}$-CD, the HP-${\beta}$-CD particles were found to be spherical in shape and to become larger as the water content increased. It was confirmed that the micronization of HP-${\beta}$-CD using the ASES process could enhance the inclusion efficiency of ibuprofen/HP-${\beta}$-CD complexes significantly.

• Analytical Science and Technology
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• v.29 no.5
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• pp.225-233
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• 2016

The chemical engrafting of polymers on particle surface, plays an important role on selective partitioning of micro/nano-particles in the separated layers of liquid media, such as aqueous two phase systems (ATPSs). Three polymers, dextran, poly (ethylene glycol) and albumin were chosen and chemically conjugated to the polystyrene (PS) magnetic microparticle surface. The attachment of long-chained polymer chains which may switch the partition behavior, can be simply performed by S_N2 substitution of various polymers having primary amine functional groups, with p-toluenesulfonyl (tosyl)-activated polystyrene magnetic micro-particles. The surface modification of microparticle was probed by infrared microscopy. The distinctive peak represents N-H stretching vibration mode for microparticles after the reaction and it is common for all three polymers examined. The locations of main peaks are similar for all micro-particles but different and distinguishable in fingerprint region.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.45 no.6
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• pp.611-618
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• 2007

We demonstrate the sol-gel coating technique of colloidal clusters for producing hollow micro-particles with complex morphologies. Cross-linked amidine polystyrene (PS) microspheres were synthesized by emulsifier-free emulsion copolymerization of styrene and divinylbenzene. The amidine PS particles were self-organized inside toluene-in-water emulsion droplets to produce large quantities of colloidally stable clusters. These clusters were coated with thin silica shell by sol-gel reaction of tetraethylorthosilicate (TEOS) and ammonia, and the organic polystyrene cores were removed by calcination at high temperature to generate nonspherical hollow micro-particles with complex morphologies. This process can be used to prepare hollow particles with shapes such as doublets, tetrahedra, icosahedra, and others.