• 제목/요약/키워드: Mophology control

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2단계 증착 방법이 AlN 박막의 물성 및 체적 탄성파 소자의 특성에 미치는 영향 (Effects of two-step deposition on the property of AlN films and the device characteristic of AlN-based FBARs)

  • 조동현;정준필;이진복;박진석
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1577-1579
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    • 2003
  • AlN thin films are prepared on Si (111) substrate by RF magnetron sputtering. Two-step deposition method is proposed to obtain AlN thin films with high c-axis (002)-TC value and low surface roughnesses. For all the deposited AlN films, the c-axis (002)-orientation, surface mophology, and roughness are characterized in terms of deposition conditions FEAR devices with Al/AlN/Mo/Si(111) configuration are also fabricated. From the frequency response characteristics, the return loss and electromechanical coupling contant($k_t{^2}$) are estimated.

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초음파로 형성된 치근단 역충전와동의 정화도 및 와벽형태 (CLEANLINESS AND WALL MOPHOLOGY OF ULTRASONIC ROOT-END RETROGRADE CAVITY)

  • 김성교;이재환;백승무
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제22권2호
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    • pp.536-545
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    • 1997
  • 본 연구의 목적은 초음파를 이용하여 치근단역충전와동을 형성하는 경우 와동 내벽의 정화도 및 형태를 평가하기 위함이다. 발거된 상악 중절치 20개를 대상으로 근관충전 후 치근단 3 mm를 치아 장축에 직각되게 절단 제거한 다음, 저속의 round bur를 이용한 군을 대조군으로 하고 제2 및 제6 의 출력 단계의 초음파를 이용한 군을 실험군으로 하여 치근단 역충전와동을 형성하고 주사전자현미경 하에서 근관 잔사 및 도말층의 분포와 와벽형태를 검사하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 제2 및 제6의 출력 단계의 초음파 기구로 형성한 역충전와동에서는 저속 round bur로 형성한 와동에 비해 도말층의 분포는 적은 것으로 나타났고 (p<0.01), 근관 잔사의 량에는 유의한 차이가 나타나지 않았다(p>0.05). 저속 round bur로 형성된 와동은 비교적 평활한 와벽을 보인 반면, 초음파로 형성된 와동에서는 계단식의 층을 보이는 와벽의 양상을 나타내었다.

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수열합성법을 이용한 큐빅과 로드형의 탄산칼슘 합성 (Synthesis of Cubic and Rod Shapes CaCO3 by Hydrothermal Method)

  • 강국현;전상철;현미호;이동규
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제17권6호
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    • pp.255-261
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    • 2016
  • 탄산칼슘은 뛰어난 물리 화학적 특성, 다양한 결정성, 많은 매장량 등으로 인한 경제성 등 때문에 고무, 플라스틱, 종이, 식품 첨가제 및 중화제 등 여러 분야에 걸쳐 응용되고 있다. 특히, 탄산칼슘의 백색도 및 물리적 특성은 입자의 크기 및 형상에 의존하기 때문에 구조 및 형태를 조절하는 연구가 최근 주목 받고 있다. 본 논문은, 수열합성법 및 자기조립법을 이용하여 염화칼슘과 탄산칼슘을 이용해 다양한 형상과 결정구조를 갖는 탄산칼슘을 합성하였다. 탄산칼슘의 구조 및 형태는 pH 및 전구체의 농도를 조절함으로써 제어할 수 있으며, 특히 pH 조절은 탄산칼슘의 형상 조절 및 결정성 변화에 중요한 요인으로 나타났다. 다양한 조건을 통한 실험 결과, 칼사이트 결정형을 가지며 큐빅 형상을 지닌 탄산칼슘은 pH 7에서 나타났고, 아라고나이트와 칼사이트상을 동시에 가지며 로드형상을 갖는 탄산칼슘 입자는 pH 7 이상에서 나타났다. 연구 결과 입자의 생성과정 분석을 통해 탄산칼슘 입자의 형성 과정을 확인할 수 있었다. 탄산칼슘의 물리 화학적 특성은 SEM, XRD, EDS, FTIR 및 TG/DTA를 통해 확인하였다.