Fabrication of Monolithic Spectrometer Module Based on Planar Optical Waveguide Platform using UV Imprint Lithography (UV 임프린트 공정을 이용한 평판형 광도파로 기반의 집적형 분광 모듈 제작)
-
- Journal of the Microelectronics and Packaging Society
- /
- v.22 no.3
- /
- pp.73-77
- /
- 2015