• 제목/요약/키워드: Mixed abrasive slurry(MAS)

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세리아 연마제 첨가에 따른 산화막 CMP 특성 연구 (A Study on the Oxide CMP Characteristics According to the $CeO_2$ Abrasive Adding)

  • 한상준;이영균;박성우;서용진;이우선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.542-542
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    • 2008

  • 본 논문에서는 기존에 상용화된 슬러리에 비해 새로운 혼합 연마제 슬러리의 우수성을 입증하고, 최적화 된 공정기술을 연구의 기반으로 활용하고자 Silica slurry에 $CeO_2$ 연마제를 혼합하여, 어떠한 연마 특성을 나타내는지 알아보았고, AFM, EDX, XRD, TEM 분석을 통해 그 가능성을 비교 분석하였다.

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