• 대한화학회지
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• 제43권4호
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• pp.412-417
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• 1999

실리콘 웨이퍼 중의 금속 불순물을 유도결합플라스마-질량분석기(ICP-MS)로 분석하기 위한 시료의 전처리 방법으로 마이크로파 분해법과 산분해법을 비교하였다 $HNO_3$-HF 혼합용액을 실리콘 웨이퍼 시료에 가하고 마이크로파 분해법과 산분해법으로 용해시킨 후, 용액의 실리콘 매트릭스는 증발 용기 안에서 Si-F의 형태로 증발시켜 분석하였다. 실제 시료에 spike한 Ni, Cr 및 Fe의 회수율은 두 전처리 방법에서 95∼106%였다. Cu의 경우는 산분해법이 회수율이 더 좋았고, Zn의 경우는 마이크로파 분해법으로 전처리 한 경우의 회수율이 더 좋았다. Spin coater로 Fe를 오염시킨 실리콘 웨이퍼를 산분해법과 마이크로파 분해법으로 전처리하여 ICP-MS로 분석한 결과, Fe의 농도는 위의 두 전처리 방법에서 거의 차이가 없었다.

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 2003년도 somma/kms meeting
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• pp.90-90
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• 2003

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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• pp.75-75
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• 2009

• 한국세라믹학회:학술대회논문집
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• 한국세라믹학회 2003년도 춘계총회 및 연구발표회 초록집
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• pp.95.1-95
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• 2003

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2015년도 제46회 하계학술대회
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• pp.1281-1282
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• 2015

본 논문에서는 원편광 초고주파를 이용한 무전극 플라즈마 광원 기술과 광원의 특성을 논의한다. 특히 비회전 무전극 플라즈마 광원을 Solar Simulator용 광원으로 적용하여 그 특성을 설명한다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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• pp.170-170
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• 2003

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2003년도 제25회 학술발표회 초록집
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• pp.204-204
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• 2003

• 한국윤활학회:학술대회논문집
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• 한국윤활학회 2001년도 제33회 춘계학술대회 개최
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• pp.327-333
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• 2001

DLC films due to their extreme properties have attracted a lot of attention. In this study, the films were prepared on High Speed Steel (SKH2) by microwave plasma assisted CVD method using CH4. Every friction test under the normal load 2,5N and sliding velocity of 20,25mm/s in high vacuum (5${\times}$10$\^$-5/ Torr). The films were analyzed with Raman spectroscopy. The films failed immediately in vacuum due to high friction. Wear volume of DLC coated disks decreased more than that of non-DLC coated disks. Also, hardness of the films is about 600HV.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 초록집
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• pp.142-143
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• 2009

Ar/$CH_4$ 마이크로웨이브 플라즈마 하에서 나노결정다이아몬드 박막의 미세구조 형성 과정에 대하여 연구하였다. 실리콘 기판 위에 불균일 핵생성을 위해 만든 스크래치 자리에 생성된 나노결정 크기의 다이아몬드 입자는 시간의 경과에 따라 성장하고 이웃하고 있는 입자들 간에 접촉이 일어나 표면을 완전히 채우게 되면 다이아몬드 박막이 형성되고 지속적인 박막 두께의 성장이 일어나게 된다. 입자들의 높이(혹은 직경)는 증착시간의 제곱근에 비례하는 것으로 나타났다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.376-376
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• 2016

Poly(ethylene oxide) (PEO)/functionalized bacterial cellulose nanowhiskers (f-BCNW) (0.1 wt%) composite nanofibers were fabricated by electrospinning process and the thermomechanical properties were significantly enhanced more than the PEO and PEO/bacterial cellulose nanowhiskers (BCNW) (0.1 wt%) composite nanofibers. The functionalization of BCNW (f-BCNW) was performed by microwave plasma treatment for effects of nitrogen functionalization of chemically-driven BCNW. The N-containing functional groups of f-BCNW enhanced chemical bonding between the hydroxyl groups of the polymer chains in the PEO matrix and diameter size of PEO/f-BCNW (0.1 wt%) composite nanofibers were decreased more than PEO and PEO/BCNW (0.1 wt%) composite nanofibers on the same concentration. The strong interfacial interactions between the f-BCNW nanofillers and polymer matrix were improved the thermomechanical properties such as crystallization temperature, weight loss and glass transition temperature (Tg) compared to PEO and PEO/BCNW composites nanofibers. The results demonstrated that N2 plasma treatment of BCNW is very useful in improving thermal stability for bio-applications.