미세입자 분사가공 비 평면 마스크의 레이저 주사 패턴에 따른 형상정밀도
(Shape Accuracy according to Laser Beam Exposure Patterns of Non-planar Mask for $\mu$ -ATM)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.913-914
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- 2009