The machining method by using end-milling tool has been applying in machining structures of various shapes because of the availability. Recently, all kinds of industries based on the parts of micro shape are developing, and the demands of mechanical micro machining technology are Increasing suddenly to produce these parts. According to such changes, the technology of the micro end-milling machining is applying as one of the most important machining means. This research is to aim at developing machining technology for various micro structures using micro end-mill. This paper introduces micro mechanical machining system with ultra precision, and demonstrates methods manufacturing all sorts of parts and moldings for industry and examples of applicable machining by using micro end-milling tool of micro sizes from hundreds to tens in diameter.
As a fundamental study on developing elements with micro shape, micro mold parts machining and experiment of injection molding using it were performed. The ultra precision micro machining system with high functionality was fabricated, and utilized in the machining of micro parts. By using this machining system and micro end-mill tool, a micro circle column structure of high aspect ratio, diameter 60 $\mu\textrm{m}$, height 500 $\mu\textrm{m}$, was fabricated. And a micro lens molds were fabricated by using ball end-mill tool of 300 $\mu\textrm{m}$ diameter and diamond fly-cut tool of 150 $\mu\textrm{m}$ radius. A micro injection molding machine, which is clamping force 1.75 ton, injection capacity 2.8cc, was fabricated for injection molding experiment using micro molds. The injection molding experiment was performed by using the injection molding machine, micro cylinder structures and lens molds. This paper introduces these micro machining system and injection molding machine and demonstrates examples of injection molding using fabricated molds.
Micro parts are usually used of producing by micro-electro-mechanical systems(MEMS). In this paper, we present some fundamental results concerning on the MEMS, extrusion condition on the micro forming characteristics and new micro forward extrusion machine has been developed. In the first step, we manufactured micro dies in two kinds of sections. One is a circle section, another is a cross section. The process for fabricating micro dies combines a deep UV-lithography, anisotropic etching techniques and metal electroplating with bulk silicon based on Ni with a thickness of $50{\mu}m$. The outer diameter of Ni-micro dies is 3mm and the diameter of extrusion section is $270{\mu}m$ for a cross section, $500{\mu}m$ for a circle section. The low linear density polyethylene(LLEPD) in the shape of a pellet has been used of micro extrusion. The billet was placed in a container manufactured by electric discharge machining and extruded through the micro die by a piezoelectric actuator. The micro extrusion has succeeded in a forming such micro parts as micro bars, micro cross shafts.
한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part 1
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pp.34-35
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2006
The development of Micro MIM as a new manufacturing process for metallic micro parts made of advanced functional materials has been the subject of considerable research over the last years. This paper addresses important quality aspects on processing of new materials by Micro-MIM. Three examples of new functional materials that can be processed are reviewed in this paper. The first example is two-component-Micro-MIM to obtain multi-functional devices. A micro positioning encoder consisting of a magnetic / non-magnetic material combination is presented. The second issue is series production of the replicate of the smallest human bone in the ear (stapes) from Titanium as an example of medical application. Quality assurance and reproducibility in terms of injection moulding parameters are addressed. In the third part, first results on the processing of the shape memory alloy NiTi by Micro-MIM are presented. Potential applications include biocompatible devices and transportation, for example automotive and aerospace. Processing routes and initial microstructures obtained are discussed.
In this study, micro electrochemical machining method was introduced for accomplishment the fabrication technology of functional parts and smart structures using the Ni-Ti shape memory alloy. From the experimental result, the micro part which has very fine surface could be achieved by use of micro electrochemical process with point electrode method. Concretely, the optimal performance of micro electrochemical process in Ni-Ti SMA was obtained at the condition of approximately 100% of current efficiency and high frequency pulse current. That is, much finer surface integrity and shape memory effect can be obtained at the same condition mentioned above.
With increasing the needs for micro and precision parts, micro machining technology using micro tools has been studied to fabricate a small part with high density such as electronics, optics, communications, and medicine industry more than before. Though these micro tools have developed rapidly, it is difficult to apply them to micro fabrication technologies, because of the inherent manufacturing. In this study, micro tools (WC) to produce micro structures and parts were manufactured by cylindrical grinding machine employing ELID (Electrolytic In-process Dressing) technique and the micro tools are fabricated as square shape with the dimension less than 100${\mu}{\textrm}{m}$. With the micro tools on the same machine, characteristics of micro grooving and drilling are evaluated. Also we compare normal micro machining with ultrasonic micro machining on the vibration table. It is confirmed that the developed micro tools are fully applicable to micro grooving, micro drilling and free form cutting.
Micro forming is a suited technology to manufacture very small metallic parts(several $mm{\sim}{\mu}m$). Al5083 superplastic alloy with very small grains has a great advantage in achieving micro deformation under low stress due to its relatively low strength at a specific high temperature range. Micro forming of $Zr_{62}Cu_{17}Ni_{13}Al_8$ bulk Metallic glass(BMG) as a candidate material for this developing process are feasible at a relatively low stress in the supercooled liquid state without any crystallization during hot deformation. In this study, the micro formability of Al5083 superplastic alloy and bulk metallic glass, $Zr_{62}Cu_{17}Ni_{13}Al_8$, was investigated with the specially designed micro vibration forming system using pyramid-shape, V-shape and U-shape micro die pattern. With these dies, micro vibration forming was conducted by varying the applied load, time. Micro formability was estimated by comparing the hight of formed shape using non-contact surface profiler system. The vibration load effect to metal flow in the micro die and improve the micro formability of Al5083 superplastic alloy and $Zr_{62}Cu_{17}Ni_{13}Al_8$ bulk Metallic glass(BMG).
It is well-known that the micro fabrication technology of micro parts are the high energy beam or silicon-based micro machining method such as LIGA Process, Laser machining, photolithography and etching technology. But, for fabricating complex 3-D structure it is better to use mechanical machining. This machining method by the mechanical machine tool with nanometer accuracy is getting attention in some field-especially micro optics machining such as grating, holographic lens, micro lens array, fresnel lens, encoder disk etc.. In this study, we survey the micro fabrication by mechanical cutting method and set up the mechanical micro machining system. And we carried out micro cutting experiments for micro parts with v-shape groove.
Recently, expansion of micro-technology parts requires micro-precision machining technology. Micro-groove machining is important to fabricate micro-grating lens and many micro-parts such as microscope lens, fluidic graphite channel etc. Conventional groove fabrication methods such as etching and lithography have some problems in efficiency and surface integrity. But, mechanical micromachining methods using single crystal diamond tools can reduce these problems in chemical process. For this reason, microfabrication methods are expected to be very efficient, and widely studied. This study deals with machinability in micro-precision V-grooves machining of nickel plated layer using non-rotational single crystal diamond tool and 3-axis micro stages. Micro V-groove shape, chip formation and tool wear were investigated for the analysis of machinability of Ni plated layer.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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