Wafer scale micro mirror array with high surface quality for small form factor (SFF) optical pick-up was fabricated by micro UV-molding. To replicate micro mirror array for SFF optical pick-up, a high- precision mold was fabricated using micro-machining technology. Wafer scale micro mirror array was UV-molded using the mold and then the process was optimized experimentally. The surface flatness and roughness of UV-molded micro mirror array were measured by white light scanning interferomety system and analyzed the transcribing characteristics. Finally, the measured flatness of UV-molded micro mirror away for SFF optical pick-up, which was fabricated in the optimum processing condition, was less than 70nm.
Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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2005.05a
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pp.47-50
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2005
In this study, micro mirror array for small form factor optical pick-up was replicated by micro UV-molding. First, mold for micro mirror array was fabricated using micromachining. Also, to analyze the characteristics of the surface quality, flatness of replicated mirror surface were measured by white light scanning inteferometry system. The results show that the micro mirror array with a sufficient surface quality can be obtained by polymer replication process.
An experimental method is presented to maximize the replication quality of UV-molded micro-optical components. It is important to maximize the replication quality, because one can obtain the replicated micro-optical components with desired properties by accurate control of the shape. In the present study, a simple technique to avoid micro-air bubbles was first suggested. The effects of the UV-curing dose and the compression pressure on the replication quality of UV-molded structure were examined experimentally. Finally, as a practical application of the process design method, microlens arrays with diameters between 8 ${\mu}m$ and 96 ${\mu}m$ were fabricated by the present method, and the replication quality and the optical properties of the replicated microlens were measured and analyzed.
UV-molded microlens arrays with high replication quality were fabricated using a parametric design method. It is important to maximize the replication quality, because one can obtain the replicated micro-optical components with desired properties by accurate control of the shape. In the present study, nickel mold inserts for microlens arrays with lenses having diameters between $3\mu\textrm{m}$ and $230\mu\textrm{m}$ were fabricated by electroforming process. An UV-molding system was designed and constructed, a simple technique to avoid micro-air bubbles was first suggested, and the effects of the compression pressure and UV-curing dose on the replication quality of UV-molded microlens arrays with a diameter of $14\mu\textrm{m}$ were examined experimentally. Finally, geometrical and optical properties of the replicated microlens arrays were measured and analyzed.
Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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2005.05a
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pp.51-54
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2005
Light Guide Plate (LGP) of LCD-BLU(Back Light Unit) is manufactured by forming optical pattern with $5\~100um$ in diameter on the LGP by means of sand blasting or etching method. However, in order to improve the luminance of LCD-LGP, the design of optical pattern has introduced UV inclined-exposure process in this study. This micro-optical pattern, which has asymmetric elliptical column shaped pattern, can change low viewing-angle to high viewing-angle, as well as it contribute to diffusion of light. As a result, this type of micro-optical pattern can introduce the highly luminance. The PR structure obtained in the stage of lithography has asymmetric elliptical column shape and it is processed into a micro-optical pattern. Optical design with this kind of micro-optical pattern, mold fabrication by electroplating and LGP molding with injection molding are under way.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2004.10a
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pp.840-843
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2004
UV molding is a process for integrating micro/nano polymeric optical components on optoelectronic modules. In the present study, a microlens array for vertical cavity surface emitting laser(VCSEL) to fiber coupling was designed, integrated and tested. At the design stage, design variables ware optimized to maximize the coupling efficiency, and tolerance analysis was carried out. At the integration stage, the UV transparent mold was fabricated and the microlens array on VCSEL array was integrated by UV molding process. Finally the coupling efficiency of VCSEL to fiber was measured and analyzed.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2005.06a
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pp.1493-1496
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2005
In this paper, we describe a simple, precise and low cost method of fabricating PDMS stamp for UV embossing. It is important to improve the replication quality of stamp because the accuracy of fabricated structure is related to that of the stamp in UV embossing. The PDMS stamp has been fabricated by the replica molding technology with ultrasonic vibration to eliminate micro-air bubbles during the fabrication process of PDMS stamp. Also, this fabrication to use ultrasonic vibration promotes PDMS solution to fill into micro channel and edge parts. We report the fabrication of an optical core using UV embossing with fabricated PDMS stamp. This fabricated core is $7\;\mu{m}\;at\;depth,\;6\;\mu{m}\;at\;width.\;This\;measured\;value\;has\;the\;difference\;below\;1\;\mu{m}$compared to the original stamp. The surface roughness of core is about 14 nm root mean square. This is satisfactory value to use low-loss optical waveguide. Our successful demonstration of precise replica technology presents an alternative approach for the stamp of UV embossing.
Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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2005.10a
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pp.91-94
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2005
With increasing demands for large-scale micro-optical components in the field of digital display, the establishment of large-scale fabrication technology fur polymeric patterns has become a priority. The starting point of any polymer replication process is the mold, and the mold often has flat surface. However, It is very hard to replicate large-scale micro patterns using the flat mold, because the cost of large-scale flat mold was very high, and some uniformity and releasing problems were often occurred in large scale flat molding process. In this study, a UV roll imprinting system to overcome the financial and fabrication issues of large-scale pattern replication process was designed and constructed. As a practical example of the system, a lenticular lens with radius of curvature of $223{\mu}m$ and pitch of $280{\mu}m$, which was used to provide wide viewing angle in projection TV, was designed and fabricated. The roll stamper was fabricated using direct machining process of aluminum roll base. Finally, the shape accuracy and uniformity of roll imprinted lenticular lens sheet were measured and analyzed.
Recently, according to the rapid development of display, many display applications, such as, cellular phone, navigation, monitor and LCD TV have been changed from CRT type to LCD type. BLU(Back Light Unit) is one of main parts in LCD unit and generally, it consists of a light source, a reflective sheet, a LGP(Light Guide Plate), a diffuser sheet, and two prism sheets. The most important component of BLU is a light guide plate, which diffuses the input light to the TFT-LCD module uniformly. The LGP is usually made by injection molding process, and it has numerous optical micro patterns on the surface. In the present study the micro-patterned stamper which has cylindrical shape was fabricated by using the UV-LiGA process. And the replication characteristics have been compared among three different kinds of injection molding process; general injection molding, injection/compression molding and RHCM(Rapid Heating and Cooling Molding). Average replication ratios of CIM and ICM were 19.1% and 64.6%, respectively. On the other hand, the average replication ratio of RHCM process showed the higher value of 98.4% among these. It show that maintaining the mold surface above $T_g$ could increase the replication ratio of micro patterns substantially.
In this study, waffle type barrier ribs for counter electrode discharge cells were prepared via micro-molding process. The master mold was prepared by UV lithography and working mold was manufactured by replicating the master mold. The UV paste used in this study consisted of ceramic powders for the barrier ribs, binder, hardener, and dispersant was filled into cavities of a polymeric mold by action of capillary pressure developed between mold and paste. The results demonstrated a possibility of one-step process for the manufacturing of waffle type barrier ribs embedded with sustaining electrodes.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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