Characterization of an ultra precision grinding plate for GMR head manufacturing is performed by measuring frictional forces between the grinding plate and the advanced ceramic Two kinds of methods of producing the precision grinding plates are presented: texturing and micro-channeling. Texturing is effective in terms of production time but micro-channeling excels in quality control. It is found that the frictional coefficient of a precision grinding plate decreases as the impregnation of diamond grain onto the precision-grinding plate progresses, and remains unchanged once the impregnation process is successfully completed, even after 100 revolutions of the precision-grinding plate against the advanced ceramic under 40 N of normal force. Therefore, the measurement of the frictional coefficient can replace costly and time-consuming process of estimating the level of impregnation of diamond grain on the precision-grinding plate, which has been performed by using scanning electron microscope, and be employed as an index to determine the level of impregnation of diamond grain.
지금까지의 기계산업의 발달은 대규모의 플랜트 혹은 대형기계 개발 등 대형화를 추구해왔다. 그러나, 최근 에너지와 환경에 대한 인식과 정보 통신, 전자산업, 생명산업의 발달로 소형화와 미세화의 기술 개발이 요구되고 있다. 그 예로 크기가 micron혹은 sub-millimeter 단위인 초소형기계 (Micro Machine)이 등장하게 되었고, 이러한 부품 및 시스템을 제작하는 미세 가공 기술을 Micro Machining이라고 할 수 있다.(중략)
As consumer in optics, electronics, aerospace and electronics industry grow, the demand for ultra-precision aspheric surface lens increases higher. To enhance the precision and productivity of ultra precision aspheric surface micro lens, The development of ultra-precision grinding system and manufacturing properties for the aspheric surface micro lens are described. In the work reported in this paper, and ultra-precision grinding system for manufacturing the aspheric surface micro lens was developed by considering the factors affecting the surface roughness and profiles accuracy. And this paper deals with mirror grinding of an aspheric surface micro lens by resin bonded diamond wheel and spherical lens of BK7. It results was that a form accuracy of $3\;{\mu}m$ P-V and a surface roughness of $0.1\;{\mu}m\;R_{max}$.
This study deals with the truing of diamond wheel fur the manufacture of micro v-shaped grooves with fine sharp edges in the grinding. Fine micro v-shaped grooves are key components to fabricate LGP(light guide plate), optical fiber connector and so on. Conventional v-shaped groove methods such as etching and lithography are difficult to make grooves with accuracy and cutting by lathe is difficult to select target materials. Therefore, as a preliminary stage to developing the grinding technology that will be expected fabrications for micro 3-dimensional structure of high effectivity and accuracy and freed up the restrictions of machinability to the materials for micro v-shaped grooves, truing is carried out with resin bond diamond wheel and electroforming diamond wheel using a cup-type truer. From the experimental results, it is found that the effects according to working direction of the cup-type truer and the restrainable methods of plastic deformation that is generated at wheel edge are examined. As a result, fine micro v-shaped diamond wheel was obtained, which are applicable to micro grinding for optical devices.
The high precision spindle is essential fer mass and low cost production of aspherical glass lens. Especially, in the grinding process of micro glass lens the performance of the spindle determine the machined surface quality. For the aspheric micro glass lens grinding, we design and make a high precision spindle. We use air bearings for high speed and low motion errors of the spindle. And the driving mechanism is an air turbine to remove heat generation. In this study, we make basic performance requirements of the spindle through benchmarking. And we confirm the requirements by basic machining test. We test air consumption, static stiffness, run-out and vibration of the spindle.
With increasing the needs for micro and precision parts, micro machining technology using micro tools has been studied to fabricate a small part with high density such as electronics, optics, communications, and medicine industry more than before. Though these micro tools have developed rapidly, it is difficult to apply them to micro fabrication technologies, because of the inherent manufacturing. In this study, micro tools (WC) to produce micro structures and parts were manufactured by cylindrical grinding machine employing ELID (Electrolytic In-process Dressing) technique and the micro tools are fabricated as square shape with the dimension less than 100${\mu}{\textrm}{m}$. With the micro tools on the same machine, characteristics of micro grooving and drilling are evaluated. Also we compare normal micro machining with ultrasonic micro machining on the vibration table. It is confirmed that the developed micro tools are fully applicable to micro grooving, micro drilling and free form cutting.
One of the recent changes in machining technology is rapid application of micro- and high precision grinding processes. A fine groove generation is necessary for the fabrication of optics, electronics and semiconductor parts. Slot grinding is very efficient for the generation of micro ordered groove with hard and brittle materials. In the process of slot grinding, chipping at the sharp edges and microcracks of the ground grooves are inevitable defects. Chipping should be reduced for the improvement of surface integrity. Mechanical contact with diamond grits causes microcracks at the grooves. This damage resides subsurface, and can be the cause of failure of the punch die. This paper deals with chipping generation at the sharp edges, surface integrity of side groove and fracture strength is related to the microcracks in the slot grinding.
With increasing the needs for micro and precision parts, micro machining technology using micro tools has been studied to fabricate a small part with high density such as electronics, optics, communications, and medicine industry more than before. Though these micro tools have developed rapidly, it is difficult to apply them to micro fabrication technologies, because of the inherent manufacturing. In this study, micro tools(wc) to produce micro structures and parts were manufactured by cylindrical grinding machine employing ELID(Electrolytic In-process Dressing) technique and good dimensional accuracy was achieved. Furthermore we researched the characteristics of machining on the micro drilling using micro drills and manufactured micro tools. Finally it is confirmed that manufactured micro tools can be used for micro machining.
A new dressing technique with utilizes electrolytic phenomenon for realizing effective mirror surface grindings with metal bonded super-abrasive wheels is called “Electrolytic In-process Dressing Grinding”. This technique enabled metal bonded micro-grain wheels, such as micro-grain cast iron fiber bonded wheels, to be used for mirror surface finish processes effectively. But this technique requires a lot of knowledge and experience to perform. And the condition of dressing is variable according to the time. Therefore adaptation of Monitoring and Control technique is needed.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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