• 제목/요약/키워드: Material Erosion

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Cu 배선의 평탄화를 위한 ECMD에 관한 연구 (Electro-chemical Mechanical deposition for the planarization of Cu film)

  • 정석훈;서헌덕;박범영;이현섭;정재우;박재홍;정해도
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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    • pp.649-650
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    • 2005
  • 반도체는 고집적화, 고속도화, 저전력화를 목적으로 발전하고 있다. 이를 위하여 design rule의 감소, 새로운 물질과 프로세스의 적용 등 많은 연구가 이루어지고 있으며, RC delay time을 줄이기 위한 Cu 와 저유전율 재료의 적용이 그 대표적인 예라 할 수 있다. Cu 배선은 기존의 Al 배선에 비하여 높은 전자이동 (electro-migration)과 응력 이동 (stress-migration) 저항을 가짐으로써 전기적인 성능 (electrical performance) 에서 이점을 가지고 있다. 반도체에서의 Cu 배선 구조는 평탄화된 표면 및 배선들 사이에서의 좋은 전기적인 절연성을 가져야 하며, 이는 디싱(dishing)과 에로젼(erosion)의 중요한 인자가 된다. 기존의 평탄화 공정인 Cu CMP(Chemical Mechanical Polishing)에 있어서 이러한 디싱, 에로전과 같은 결함은 선결되어져야 할 문제로 인식되고 있다. 따라서 본 연구에서는 이러한 결합들을 감소시키기 위한 새로운 평탄화 방법으로 Cu gap-filling 을 하는 동시에 평탄화된 표면을 이루는 ECMD(Electro-Chemical Mechanical Deposition) 공정의 전기적 기계적 특성을 파악하였다.

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Development of Innovative Technologies for Enhancing Low Flow Discharge and Reducing Turbid Material from Overcrowded Forest Plantations by Intensive Thinning in Japan

  • Otsuki, Kyoichi;Kasahara, Tamao;Onda, Yuichi
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2012년도 학술발표회
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    • pp.18-18
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    • 2012
  • In Japan, about 67% of the land is covered by forests and about 41% of them consist of plantations. About 35% of the plantations consist of old-aged plantations of older than 50 yearsand the percentage is projected to 67% in ten years' time. Although the trees of these plantations are supposed to be cut for timber production, most of them remain unmanaged and thus overcrowded mainly due to declining domestic forest industry. Since the forests are mostly located in headwater watershed, there are growing concerns about the degradation of water resources by these unmanaged plantations. To understand the ecohydrological processes in these plantations and examine the effect of intensive 50-60 % thinning to increase infiltration rate and reduce overland flow and soil erosion by recovering understory vegetation, the JST-CREST project "Development of Innovative Technologies for Increasing in Watershed Runoff and Improving River Environment by the Management Practice of Devastated Forest Plantation (Representative: Yuichi Onda)" has been launched since 2009. The ultimate objective of this project is to provide potential scenario to enhance low flow discharge in drought period and reduce turbid material in high flow period. We have been conductingintensive field observation campaign in five research sites across Japan. In Fukuoka site, integrated ecohydrological observations have been conductedin two contrastive watersheds since 2010. Intensive 50% thinning was conducted from January to April 2012 and comparative studies of ecohydrological processes before and after thinning have been started. The interim results from all the sites of this project will be presented in the 3rd International Congress for Forest and Water in a Changing Environment held in Fukuoka during 18-20 September, 2012 (http://www.forest.kyushu-u.ac.jp/~ecohydrol/3ForestWater/index.html).

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The Ethnobotanical Knowledge on Sedge Plants in Korea (Cyperaceae)

  • Chung, Kyong-Sook;Kang, Shin-Ho
    • 한국자원식물학회:학술대회논문집
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    • 한국자원식물학회 2019년도 추계학술대회
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    • pp.20-20
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    • 2019
  • Sedge family is second largest family in the Korean flora with more than 240 taxa, following Aster family (about 300 taxa). Although high species diversity, a very limited number of taxa has been utilized for ethnobotanical usages. In the study, previous researches on Cyperaceae ethnobotanical information are documented and analyzed for future research directions on the taxa. A total number of seven taxa has been used for medicinal, food, and material purposes: Carex boottiana Hook. & Arn., Cyperus amuricus Maxim., Cyperus esculentus L., Cyperus exaltatus Retz., Cyperus rotundus L., Eleocharis kuroguwai Ohwi, and Bolboschoenus maritimus (L.) Palla. Underground parts such as tubers are used with medicinal purpose, and aboveground portions such as leaves and stems provide materials for various tools and foods for people and animals. They are all native to Korea, except C. esculentus, which is introduced from Mediterranean areas for anti-erosion materials. The ethnobotanical value of C. esculentus has been well recognized from ancient times, for example, starch grains in USA (excavations at the Mashantucket Pequot Reservation) and Tiger nut milk (Horchata de chufa in Spain). Among material sources, C. exaltatus has a long history in the Korean peninsula from Three Kingdoms of Korea (57 BC~668 AD). C. rotundus is distributed widely in Asia, Africa, Europe, and America, and utilized for medicines, food, and materials. In addition, Eleocharis kuroguwai is only one taxon utilized for ethnobotanical uses among fifteen Eleocharis Korean native species. The number of species with ethnobotanical uses is small in sedge family, but the family has long been utilized accompanying long human history. Cyperus papyrus L., the source of papyrus paper (Egypt in the Nile Delta), is also a member of sedge family. Sedge family has contributed to human societies in various aspects but, the cultural, botanical, ecological values of family members have been underestimated.

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연소시험에서 산소와 연료 비에 따른 탄화규소로 코팅된 탄소/ 탄소 복합재의 삭마 메커니즘 (Ablative Mechanism of SiC Coated Carbon/carbon Composites with Ratio of Oxygen to Fuel at Combusion Test)

  • 장은희;김정백;주혁종
    • 공업화학
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    • 제18권3호
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    • pp.227-233
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    • 2007
  • 탄소/탄소 복합재는 우수한 열충격 저항성, 낮은 밀도뿐만 아니라, 초고온에서도 높은 강성과 강도를 가지는 독특한 소재이다. 그러나, 탄소/탄소 복합재의 적용에 있어서 심각한 결함이 있는데, 높은 온도에서 산화되는 환경에서는 취약한 산화 저항을 나타낸다는 것이다. 탄화규소 코팅은 탄소재의 산화를 보호하는데 이용된다. 본 연구에서는 4방향성 탄소/탄소 복합재의 삭마 거동을 시험하기 위해 액체연료 로켓 엔진을 사용하여 연소시험을 하였다. 탄소/탄소 복합재는 기지 전구체로 석탄 핏치를 사용하였고, $2300^{\circ}C$에서 열처리 하였다. 고밀도화 과정을 반복하여 시편의 밀도는 $1.903g/cm^3$에 달했다. 4방향성 탄소/탄소 복합재를 노즐 형태로 가공한 후, 산화 저항성을 개선하기 위하여 pack-cementation 방법으로 노즐 표면에 탄화규소를 코팅하였다. 탄화규소로 코팅된 노즐의 삭마 특성은 연료와 산소의 비율에 따라 측정하였다. 또한 연소시험 후 노즐의 삭마된 현상은 주사전자현미경으로 관찰하고, 삭마 메커니즘을 논의하였다.

인공 Bio-reef에 의한 해변침식방지 (Coastal Protection with the Submerged Artificial Bio-reefs)

  • 이훈;이중우;이학승;김강민
    • 한국항해항만학회:학술대회논문집
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    • 한국항해항만학회 2004년도 추계학술대회
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    • pp.159-166
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    • 2004
  • 바다와 육지의 경계에 있는 해변은 매우 동적인 해역으로 여기에 해수의 운동이 퇴적물, 육지의 바위 또는 인공구조물과 상호 작용한다. 심한 태풍이나 폭풍이 야기한 파랑의 영향으로부터 해변의 침식을 막거나 지연시키기 위해 영구적인 구조물을 설치하지만 해양경관을 해침은 물론 이의 파급효과로 또 다른 침식현상이 일어나기도 한다. 파가 부숴지는 쇄파대와 쇄파선 밖의 외해에서 표사의 이동 및 침식을 가속시키는 관련 에너지를 고려할 때에는 파고 및 파의 주기를 고려하여야 한다. 본 연구에서는 이러한 부차적인 영향을 나타내지 않으면서 파력을 줄일 수 있는 해저 구조물로 인공 Bio-reef를 도입하고 이를 통한 해양생태계의 복원의 예와 아울러 수치모델을 도입하여 가장 근원이 되는 파랑의 저감효과를 분석하여 적용가능성을 제시하고자 하였다. 해변을 보호하기 위한 새로운 기술은 인공적 및 자연적 켈프 또는 해양식물을 식생시킨 해저리프에 의한다. 연안리프의 형상을 공학적으로 접근하여 각각의 파랑저감력을 최적화할 수 있다 높고 넓은 긴 인공 리프는 파랑에너지를 막을 수 있는 좋은 장벽이 되나 공사재료의 양, 항해위험, 건설방법 및 다른 인자에서 리프의 전체 설계에 대해 공학적인 고려가 필요하다.

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터널 및 지중매설물 시공에 따른 지반함몰 발생 원인 및 대책에 대한 지반공학적 조사 연구 (Geotechnical investigation on causes and mitigation of ground subsidence during underground structure construction)

  • 최신규;백승훈;안준범;권태혁
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제18권2호
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    • pp.143-154
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    • 2016
  • 최근 국내 빈번하게 발생되고 있는 지반함몰 현상의 원인, 현황, 대책에 대하여 지반공학적인 접근 방법으로 조사하였다. 국내 발생된 지반함몰은 대부분 터널 굴착 공사와 지중매설관의 손상에 의한 것으로 나타났다. 용산역과 석촌 지하차도 지반함몰 사례와 같이, 굴착 공사 중 지반함몰은 지하수와 토사의 과다 유출이 주된 원인으로 나타났다. 특히, 충적층과 같은 연약지반에서의 기계식 굴착 시, TBM 굴착이 멈춘 지점에서 지반함몰 위험이 큰 것으로 나타났다. 서울시에서 발생된 지중매설관 손상으로 인한 지반함몰 사고를 종합하였을 때, 시공 시의 부주의, 노후화, 연약지반에서의 관의 부등침하 등이 지반함몰의 원인으로 나타났다. 터널 굴착 공사에 의한 지반함몰은 공사 시 발생되는 지하수, 토사의 이동에 대한 모니터링을 통해 대비할 수 있다. 지중매설관 손상으로 인한 지반함몰은 지중매설관의 생애주기 분석 및 유지관리 혹은 관 상부의 토압 분산 및 토압 지지력 증대를 통하여 대비할 수 있을 것으로 판단된다.

TGase 첨가 바이오폴리머의 침식특성 연구 (Erosion Characteristics of TGase-added Biopolymers)

  • 김강현;김승현;김도희;신종호
    • 한국지반환경공학회 논문집
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    • 제24권9호
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    • pp.5-13
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    • 2023
  • 대표적 사면 보강재료인 시멘트 계열의 보강재는 지반주입 또는 지표 도포 시 지반 및 지하수의 오염이 발생할 수 있다. 이에 따라 친환경 바이오폴리머를 사용한 사면 보강재료가 기존의 재료를 대체할 수단으로 관심받고 있으나, 현재 사용되고 있는 바이오폴리머는 지하수 또는 강우 환경에 노출되면 쉽게 용해되어 강도가 감소되는 문제가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 본 연구에서는 카제인나트륨과 Transglutaminase(TGase, C20H16N4O2S2)의 단백질 교차결합을 이용하여 바이오폴리머의 내수성을 증가시켰으며, 사면 보강재료로서 사용성과 적용성을 평가하기 위해 강우사면시험을 수행하였다. 카제인나트륨만으로 보강한 경우 강우로 인해 카제인나트륨이 용해되어 1시간 만에 사면이 완전히 파괴되었다. 반면 TGase를 소량(0.5%) 첨가하여 보강한 사면은 내수성이 증가하여 강우 지속시간 80시간이 지나도 붕괴되지 않음을 관찰하였다. TGase 소량 첨가로 인한 강도 및 내수성 증가가 나타났으며, 친환경 보강재로서의 적용성을 확인하였다.

도동서원 중정당 전면 담장의 보수를 위한 진단학적 보존 상태 분석 (A Diagnostic Analysis on the Conservation Status for the Maintenance of the Front Wall of Jungjeongdang Area of Dodong-Seowon)

  • 김규연
    • 한국전통조경학회지
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    • 제37권1호
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    • pp.1-11
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    • 2019
  • 본 연구는 도동서원 중정당 전면 담장의 보수를 위한 진단학적 보존 상태 분석을 하기 위해 수행되었다. 연구는 사진측량 및 도면화, 담장의 재료 및 보존 상태 조사, 담장의 보존 상태 분석 및 평가의 과정으로 진행되었으며, 연구결과는 다음과 같다. 첫째, 사진측량의 경우, 각 사진을 중첩되게 촬영하여, 사진들의 왜곡을 보정한 후 합성하였고, 이를 바탕으로 담장의 실측 도면을 마련하였다. 둘째, 담장의 재료 및 보존 상태의 경우, 담장은 와편담 형식이며, 머리 부분의 재료는 기와와 진흙, 석회이며, 몸통 부분의 재료는 진흙과 기와이다. 진흙은 자갈, 모래, 지푸라기를 섞어 사용되었다. 기초 부분에는 부정형의 자연석과 진흙이 사용되었다. 둘째, 담장에 나타나는 손상은 기초 부분의 침식 현상이 가장 두드러지게 나타나고 있으며, 몸통 부분에는 분해 현상이 일부 나타나고 있다. 머리 부분과 기초 부분에는 전체적으로 생물학적 파티나가 나타나고 있으며, 몸통 일부에는 지의류와 같은 식물이 집중 분포하고 있다. 머리 부분 전반에는 이물질이 쌓여 있고, 일부 기와는 깨지거나 유실되었다. 동쪽 담장의 일부 구간에는 깊은 균열이 집중적으로 위치하고 있다. 셋째, 담장의 보존 상태 분석 및 평가의 경우, 기초 부분의 침식 현상과 몸통 부분의 분해 현상은 방치할 경우 담장에 물리적 손상을 지속적으로 가할 가능성이 있어 즉각적인 조치가 필요하다고 판단된다. 생물학적 파티나와 식물의 분포는 담장에 큰 문제를 야기하고 있지 않는 것으로 보이나, 미학적인 문제를 고려해 감소시킬 필요가 있다. 깨지거나 유실된 기와는 교체가 필요하며, 동쪽 담장의 깊은 균열은 지반침하로 발생된 것으로 보이며 추가적인 손상을 막기 위해 담장 하부 지반 강화가 필요할 것으로 판단된다.

원자력발전소 습분분리재열기 튜브 원격장검사 기술 개발 (Development of Remote Reld Testing Technique for Moisture Separator & Reheater Tubes in Nuclear Power Plants)

  • 남민우;이희종;김철기
    • 비파괴검사학회지
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    • 제28권4호
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    • pp.339-345
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    • 2008
  • 원자력발전소 열교환기 튜브의 대부분은 구리, 티타늄, 인코넬합금 등의 비자성체로 제작되어 있으나 2차 터빈계통의 습분분리재열기(moisture separator & reheater), 급수가열기 등의 튜브는 고압, 고온 등의 열악한 운전조건에서 상대적으로 고온 강도가 우수한 탄소강 또는 페라이트계열 스테인레스강 등의 자성체로 제작되어 있다. 특히 습분분리재열기 튜브와 같은 열교환 매체가 증기인 경우 열전달 능력을 증가시키기 위해서 핀 튜브를 사용한다. 탄소강 또는 페라이트계열 스테인레스강 등의 자성체 튜브는 고온, 고압에서 강도가 우수하지만 운전 중에 증기 커팅, 침식, 기계적 진동 마모, 응력부식균열 등의 사용 중 결함이 발생하여 발전소 정상운전에 지장을 초래할 수 있기 때문에 전열관의 건전성 평가를 위한 주기적인 비파괴검사의 수행이 필요하다. 하지만 자성체 열교환기 튜브는 투자율이 높은 전기적 특성으로 인하여 기존의 와전류검사기술로는 비파괴검사가 어렵기 때문에 원격장검사기술을 적용해야 한다. 따라서 본 연구에서는 원자력발전소 습분분리재열기세관의 현장적용에 필요한 검사기술을 개발하기 위해서 원격장탐촉자, 인공결함 시험편 및 탐촉자 구동장치를 설계하였으며, 이를 활용하여 발전소 현장 검사에 적용하였다.

지오콤 비탈면 보호공법의 활용에 관한 실험적 연구 (The Experimental Study on Reinforced Slope with Geocomb)

  • 안원식;김철문;김억기;김영섭
    • 한국지반환경공학회 논문집
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    • 제13권1호
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    • pp.37-43
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    • 2012
  • 일반적으로 수면과 접해 있는 호안이나 제방의 법면은 강우 침투로 인해 지반이 포화되어 침식에 약하고 유수로 인한 붕괴가 발생하기 쉽다. 따라서 사면 및 호안 제방을 축조할 경우, 비탈면 침식 및 세굴로 인해 붕괴가 발생하지 않도록 법면보호용 보강재를 설치해야 한다. 본 논문에서는 이러한 법면보호 보강재 중에서 기존의 3차원 지반보강재인 지오셀의 단점을 보완하고, 보다 친환경적인 보강재로 개발된 지오콤의 원지반과의 마찰특성, 수평투수능력, 식생의 뿌리활착 능력을 파악하기 위해 실내시험을 수행하였다. 중형전단시험 결과, 지오콤 보강지반의 내부마찰력은 기존 보강지반의 강도정수보다 증가하는 것으로 나타났고, 수평투수시험에서도 기존의 보강재보다 수평투수계수가 큰 것으로 나타났다. 이러한 결과는 셀 끝단의 구조가 기존 보강재와 달리 날카로운 돌기를 형성하고 있고, 셀의 내부표면이 망상 구조를 형성하고 있기 때문으로 판단된다.