A case study regarding improving fine variation detecting rate of the machine through optimizing EWMA control charts in semiconductor manufacturing process (EWMA 관리도 최적화를 통한 반도체 제조 공정의 설비 미세변동 감지력 향상에 관련 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2013.05a
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- pp.643-644
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- 2013