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Cu oxide의 형성과 H(hfac) 반응을 이용한 Cu 박막의 건식식각 (Cu dry etching by the reaction of Cu oxide with H(hfac))

  • 양희정;홍성진;조범석;이원희;이재갑
    • 한국재료학회지
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    • 제11권6호
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    • pp.527-532
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    • 2001
  • O$_2$plasma와 H(hfac)을 이용한 Cu 박막의 건식 식각을 조사하였다. 휘발성이 큰 Cu(hfac)$_2$$H_2O$를 탈착시키기 위하여 $O_2$ Plasma를 이용한 Cu 박막의 산화와 생성된 Cu 산화막을 H(hfac)과의 반응으로 제거하는 공정으로 식각을 수행하였다. Cu 박막의 식각율은 50-700 /min의 범위를 보였으며, 기판온도, H(hfac)/O$_2$ 유량비, plasma power에 따라 변하였다. Cu 박막의 식각율은 기판온도 215$^{\circ}C$보다 높은 온도구간에서 RF power가 증가함에 따라 증가하였고, 산화 공정과 H (hfac)과의 반응이 균형을 이루는 최적의 H (hfac)/O$_2$ 유량비는 1:1임을 확인하였다. Ti mask를 사용한 Cu Patterning은 유량비 1 : 1, 기판온도 25$0^{\circ}C$에서 실시하였고, 30$^{\circ}$외 taper slope를 갖는 등방성 etching profile을 얻을 수 있었다. Taper angle을 갖는 Cu 건식 patterning은 고해상도의 대면적 thin film transistor liquid-crystal(TFT-LCDs)를 위래 필요한 것으로써 기판온도, RF power, 유량비를 조절한 one-step 공정으로부터 성공적으로 얻을 수 있었다.

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밀리미터파 대역에서 Via Fence를 이용한 PCB 기판용 유전체 도파관 필터 설계 (Dielectric Waveguide Filters Design Embedded in PCB Substrates using Via Fence at Millimeter-Wave)

  • 김봉수;이재욱;김광선;강민수;송명선
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제15권1호
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    • pp.73-80
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    • 2004
  • 본 논문에서는 기존의 도파관 필터, 즉 내부가 공기로 채워진 밀리미터파 도파관 필터를 기본적인 도파관 변수 계산치로부터 일반 PCB 기판상에 구현하는 방법을 소개한다. 이를 위해서는 기존 도파관 필터의 구조에서 수직으로 배치된 모든 도체구조를(접지용 도체벽, 신호제어용 도체판) via를 사용해 대체해야 한다. 이를 위해 side wall과 도파관 내부 폴들을 via의 연속적인 나열과 via지름 크기의 조절을 통해 구현한다. 이를 통해 얻을 수 있는 장점은 사용될 기판 유전율의 제곱근에 비례하여 전체 크기가 x, y, z축으로 축소되며 특히 z축으로는 더 큰 축소가 가능하다. 또한 기존의 규모가 큰 금속성 도파관 필터를 제작할 필요없이 PCB상에 대량의 제작이 용이하기 때문에 훨씬 저렴하게 제작할 수 있다. 마지막으로 모듈의 소형화를 위해 요즘 한창 각광받는 LTCC 공정과 같은 다층기판 제작시 한층을 사용해 제작될 수 있다는 점에서 유리하다. 이 새로운 도파관 필터를 평가하기 위해 40 GHz 대역에서 2.5 %의 대역폭을 가지는 3차 chebyshev 대역통과필터가 사용되었으며 이에 사용된 PCB 기판은 유전율이 2.2이고 두께가 10 mil인 RT/duroid 5880이다. 설계 후 측정 결과 전체 입/출력단에서 삽입 손실이 2 ㏈ 정도이며 반사손실이 -30 ㏈ 이하의 우수한 특성을 얻을 수 있었다.

면역결핍누드쥐에 이식된 neuroblastoma에서의 물질전달에 미치는 인자의 특성 (The Characterization of Mass Transfer Factors in Neuroblastoma Implanted in Immunosuppressed Nude Rats)

  • 이종빈
    • 대한의용생체공학회:의공학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.41-50
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    • 1994
  • 단세포군항체(monoclonal antibody)를 이용한 항암제치료법이 다각적인 방면으로 실험되고 있으나, 환자에 주입된 단세포군항체중에서 실제의 암전달량은 언제나 기대치에 미치지 못하고 있다. 그러므로, 효과적인 항암제치료와 조기암진단을 위하여 암내부에서의 물질전달에 미치는 인자들의 포괄적인 측정이 필요하였다. 본 실험에서는 면역결핍누드쥐에 이식된 neurobastoma의 물질전달환경을 이해하기 위하여 성장특성과 포도당대사속도(GMR)를 측정하였으며, 세포간체액압력(IFP), 국부혈액속도(BPR)와 pH를 높이 2cm의 암에서 반경방향으로 측정하였다. 성장특성으로써 체적배가시간을, 세포활동성으로써 GMR를 측정하였더니, 각각 8.1일 (SD 0.44일), 23.53 mg/min/100g(SD 3.54 mg/min/100 g)이었다. 암중심 IFP는 암부피가 커짐에 따라 증가하여 높이 3cm의 암에서는 12.3mmHg(SD 2.6mmHg)이 되었다. 반경방향에 따른 IFP, BPR, pH를 특정한 결과, 암중심에 접근할수록 IFP는 증가되었고, 반면에 BPR과 pH는 감소되었다. 이로써 암내부에서의 증가된 IFP, 감소된 BPR과 pH가 단세포군항체와 그 공합체의 내부전달을 저해하는 원인으로 작용할 수 있다는 사실이 제시되었으며, 이들 인자들을 적당한 기술로 조절하여 더 많은 단세포군항체를 암내부로 전달시킬 수 있을 것으로 판단된다.

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내현적 주의와 재정향이 탐지과제 수행에 미치는 영향 (The effects of endogenous attention and reorienting on performance of detection task)

  • 고재형;김신우;이형철
    • 감성과학
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    • 제15권1호
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    • pp.37-46
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    • 2012
  • 내현적 주의와 재정향이 탐지과제 수행에 미치는 영향을 반응촉진과 회귀억제를 통해 탐색하였다. Posner와 Cohen(1980)의 고전적인 탐지패러다임에서는 단서를 제시하고 일정한 자극제시시차 후 그 단서와 같거나 또는 다른 위치에 나타나는 표적에 대한 탐지수행을 관찰한다. 본 연구에서는 내현적 주의를 유발하기 위해 단서가 표적에 대해 예측력을 가지도록 조작하였고, 단서자극과 표적 사이에 새로운 단서(재정향단서)를 삽입하여 재정향을 유도하였다. 실험 1에서는 재정향단서가 제시되는 시기를 초기, 중기, 후기로 구분하여 실험을 실시하였다. 그 결과 재정향이 제시되는 시기별로 자극제시시차(150ms, 400ms, 850ms)에 따라 다른 양상의 반응촉진 및 회귀억제가 발생하였으나, 해석 가능한 일정 패턴을 확인하기는 어려웠다. 하지만 재정향이 초기에 발생한 실험조건을 재분석한 결과, 반응촉진과 회귀억제가 자극제시시차에 따라 교차하여 나타나는 단순탐지과제의 전형적인 결과를 얻을 수 있었다. 실험 2에서는 실험 1에서 재정향이 초기에 발생하는 조건에 대한 추가 실험을 실시하였다. 실험 결과, 자극제시시차가 짧을 때는 반응촉진이 발생하였으며 자극제시시차가 길때는 회귀억제가 발생하였다. 이 결과는 단서자극이 표적에 대한 예측력을 가질 때 자극제시시차가 긴 조건에서 회귀억제가 사라진다는 기존의 보고(Wright & Richard, 2000)와 반대되는 결과이다. 이 결과는 최초 단서가 제시된 후 회귀억제의 효과가 소멸되기 전에 매우 빠르게 제시되는 재정향단서는 이중 회귀억제를 가져온다는 것을 제안한다. 본 연구는 내현적 주의에 의해 특정한 위치에 주의를 할당할 때에도 반복적으로 빠르게 제시되는 단서자극은 회귀억제를 극대화함으로써 내현적 주의를 상쇄할 수 있음을 시사한다.

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안드로이드 앱 추천 시스템을 위한 Sybil공격과 Malware의 관계 분석 (Relationship Analysis between Malware and Sybil for Android Apps Recommender System)

  • 오하영
    • 정보보호학회논문지
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    • 제26권5호
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    • pp.1235-1241
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    • 2016
  • 스마트 폰에서 활용할 수 있는 다양한 앱 (Apps)들의 개수가 기하급수적으로 증가함에 따라 개인 맞춤형 앱들을 추천해주는 시스템이 각광받고 있다. 하지만, 다양한 목적으로 악성 앱 (Malware)을 제작하여 구글 플레이(GooglePlay) 사이트에 등록 후 배포하는 경우가 동시에 증가함에 따라 사용자들은 만족도 하강의 단순 피해부터 개인정보 노출 및 금전 탈취 등 심각한 수준의 많은 피해까지 겪고 있다. 또한, 소셜 네트워크가 발전함에 따라 물리적인한 사용자가 많은 거짓 계정들을 만들어서 구글 플레이 사이트의 각 앱의 평점 (rating)들을 조작하는 시빌 공격(Sybil)도 존재할 수 있다. 이때까지 악성 앱과 시빌 공격 연구는 독립적으로 진행되어 왔다. 하지만 실시간으로 발전하고 있는 지능화된 공격 종류들을 고려했을 때 악성 앱 제작자가 구글 플레이 사이트에 노출 된 평점까지 조작 후 인지도를 높여서 결국 악성 앱을 다운받도록 유도하는 지능화된 공격의 유무를 판단하는 것이 중요하다. 따라서, 본 논문에서는 구글 플레이어 사이트를 직접 크롤링하고 시빌 공격과 악성 앱의 상관관계를 실험적으로 밝힌다. 실험결과, 구글 플레이어 사이트에서는 아직 시빌과 악성 앱의 상관관계가 낮음을 알 수 있었다. 이는 악성 앱 배포자가 인지도 및 평점까지 다수 조작하여 많은 사람들에게 노출되면 다양한 Anti-Virus (AV) 벤더들에게 오히려 더 빨리 탐지되어 목적을 달성할 수 없기 때문에 이를 고려하지 않았거나, 악성 앱 배포자가 악성 앱을 만들고 배포하는 것에만 초점을 두고 사이트 인지도 및 평점 조작까지는 아직 동시에 고려하지 않음으로 해석될 수 있다.

유아용 교재․교구 인증에 관한 유아교육현장 인식 및 요구에 대한 연구 (A Study on the Perception and Need of Early Childhood Education Field on Authentication of Teaching Materials and Implements for Young Children)

  • 강영식;박정환
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제15권2호
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    • pp.793-800
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    • 2014
  • 본 연구는 유아용 교재 교구 인증에 관한 유아교육현장 인식 및 요구를 알아보는데 목적을 갖고, 대전광역시 소재 유치원과 어린이집에 종사하고 있는 교사와 원장 350명을 대상으로 2013년 9월 21일부터 30일까지 설문조사 하였다. 분석결과 첫째, 유아용 교재 교구 평가인증에 대한 인식을 분석한 결과 먼저 전체 59.4%가 유아용 교재 교구 평가인증이 필요하며, 32.9%는 교육현장 인식도가 높다고 생각하는 것으로 나타났다. 또한 전체 39.4%가 교육현장 요구도가 높다고 하였으며, 45.1%가 유아용 교재 교구 평가인증에 대한 제도의 도입 시 기대효과가 높은 것으로 나타났다. 둘째, 전반적인 유아용 교재 교구 평가인증 요구도를 분석한 결과 교육적 측면, 기능적 측면, 영역적 측면 순으로 요구도가 나타났다. 또한 각 영역별로 교육적 측면에 있어서는 사회적 발달 중점, 기능적 측면에 있어서는 안전성 중점, 영역적 측면에 있어서는 언어발달 중점이 가장 높게 나타났다. 이같은 결과는 유아용 교재 교구의 다양성으로 인해 교육적 측면과 기능적 측면에서 사회적 발달촉진과 안전성 측면에서 평가인증된 교재 교구를 사용함으로써 유아들의 쌓기놀이, 읽기자료, 조작자료, 만들기 도구 등 실험관찰 도구의 사용이 높아지면서 품질보증이 가능한 교재 교구에 대한 높은 평가인증이 요구됨을 실증해 준 것으로 평가할 수 있다.

운반기체와 Ligand의 첨가가 MOCVD Cu 증착에 미치는 영향에 관한 연구 (A Study of carrier gas and ligand addition effect on MOCVD Cu film deposition)

  • 최정환;변인재;양희정;이원희;이재갑
    • 한국진공학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.197-206
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    • 2000
  • (hfc)Cu(1,5-COD)(1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4-pentadionato Cu(I) 1,5-cyclooctadine) 증착원을 이용하여 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) Cu박막을 형성하였고, 운반기체가 MOCVD Cu 증착 특성에 미치는 영향에 관하여 조사하였다. 증착된 Cu 박막은 $H_2$ 운반 기체를 사용한 경우 Ar을 운반기체로 사용한 경우에 비하여 증착률의 증가와 더불어 낮은 비저항을 갖는 박막을 얻을 수 있었다. 또한 표면 거칠기의 개선과 강한 (111) 우선 배향성을 나타내는 박막을 얻을 수 있었으나 접착성의 경우에 있어서는 H$_2$운반 기체를 사용한 경우 감소하는 결과를 나타내었다. 이러한 접착성 감소의 원인은 AES분석에서 확인된 바와 같이 박막내부에 존재하는 F의 영향인 것으로 사료된다. H(hfac) ligand의 첨가 효과에 대하여 조사한 결과에서는 Ar 운반 기체를 사용한 경우 H(hfac)첨가시 증착률의 향상이 이루어졌으나 $H_2$운반 기체의 경우 큰 변화를 나타내지 않았고, 비저항의 경우에는 운반 기체와 관계없이 감소하는 결과를 보여 H(hfac) 사용이 증착 특성 개선에 효과적으로 나타났다. 따라서 본 연구에서는 운반기체 변화 및 H(hfac) ligand의 첨가 실험을 통해 MOCVD Cu의 증착기구를 조사하였으며, 이러한 공정조건의 변화가 Cu 박막의 표면거칠기 개선과 동시에 비저항을 낮추는 역할을 하는 것으로 나타났다.

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A Pilot Clinical Study on the Accuracy and Safety of Ultrasound-guided Gyeontonghyeol (BP-LE6) Acupuncture: A Prospective Randomized, Single Blinded Crossover Study

  • Kim, Jong Uk;Kim, Bo Hyun;Kim, Seok Hee;Shin, Jin Hyeon;Choi, Yoo Min;Song, Beom Yong;Yook, Tae Han;Jeon, Young Ju;Lee, Sanghun
    • Journal of Acupuncture Research
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    • 제36권4호
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    • pp.272-276
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    • 2019
  • Background: The purpose of this study was to assess the accuracy and safety of procedures using ultrasound equipment for acupuncture treatment. Methods: A pilot, prospective randomized, single blinded, crossover clinical study on the accuracy and safety of ultrasound-guided Gyeontonghyeol (BP-LE6) acupuncture treatment was conducted. Patients (n = 13) with shoulder pain were randomly divided into 2 groups. During Visit 1, ultrasound-guided BP-LE6 acupuncture was administered to the experimental group. In the control group, patients received BP-LE6 acupuncture (without checking ultrasound images) by manipulating the ultrasound probe as if administering ultrasound-guided acupuncture. Visit 2 was arranged within 7-14 days and the remaining procedures, other than those administered in Visit 1, were performed. In both the experimental group and control group, the number of needle insertions, and time required for the treatment to result in the patients feeling de-qi was recorded. The numeric rating scale (NRS) score for shoulder pain was recorded before and after the acupuncture treatment. Results: The number of needle insertions was $5.31{\pm}3.50$ times in the experimental group, and $6.62{\pm}3.38$ times in the control group, however, there was no statistically significant difference between the groups (p > 0.05). The mean time required to perform the procedure was $151.54{\pm}48.59$ seconds in the experimental group and $86.69{\pm}37.17$ seconds in the control group, which was statistically significantly different (p < 0.05). The changes observed in numerical rating scale scores between groups were not statistically significantly different. Conclusion: Although there was no statistically significant difference, administering acupuncture using ultrasound guidance may lead to accurate needling with a reduced number of needle insertion attempts. A large-scale clinical study of better design should be conducted in the future.

Coordinative movement of articulators in bilabial stop /p/

  • Son, Minjung
    • 말소리와 음성과학
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    • 제10권4호
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    • pp.77-89
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    • 2018
  • Speech articulators are coordinated for the purpose of segmental constriction in terms of a task. In particular, vertical jaw movements repeatedly contribute to consonantal as well as vocalic constriction. The current study explores vertical jaw movements in conjunction with bilabial constriction in bilabial stop /p/ in the context /a/-to-/a/. Revisiting kinematic data of /p/ collected using the electromagenetic midsagittal articulometer (EMMA) method from seven (four female and three male) speakers of Seoul Korean, we examined maximum vertical jaw position, its relative timing with respect to the upper and lower lips, and lip aperture minima. The results of those dependent variables are recapitulated in terms of linguistic (different word boundaries) and paralinguistic (different speech rates) factors as follows. Firstly, maximum jaw height was lower in the across-word boundary condition (across-word < within-word), but it did not differ as a function of different speech rates (comfortable = fast). Secondly, more reduction in the lip aperture (LA) gesture occurred in fast rate, while word-boundary effects were absent. Thirdly, jaw raising was still in progress after the lips' positional extrema were achieved in the within-word condition, while the former was completed before the latter in the across-word condition. Lastly, relative temporal lags between the jaw and the lips (UL and LL) were more synchronous in fast rate, compared to comfortable rate. When these results are considered together, it is possible to posit that speakers are not tolerant of lenition to the extent that it is potentially realized as a labial approximant in either word-boundary condition while jaw height still manifested lower jaw position in the across-word boundary condition. Early termination of vertical jaw maxima before vertical lower lip maxima across-word condition may be partly responsible for the spatial reduction of jaw raising movements. This may come about as a consequence of an excessive number of factors (e.g., upper lip height (UH), lower lip height (LH), jaw angle (JA)) for the representation of a vector with two degrees of freedom (x, y) engaged in a gesture-based task (e.g., lip aperture (LA)). In the task-dynamic application toolkit, the jaw angle parameter can be assigned numerical values for greater weight in the across-word boundary condition, which in turn gives rise to lower jaw position. Speech rate-dependent spatial reduction in lip aperture may be able to be resolved by means of manipulating activation time of an active tract variable in the gestural score level.

창업가정신과 창업의도에 관한 연구: 패널데이터 회귀모형을 중심으로 (A Study on the Relationship between Entrepreneurship and Entrepreneurial Intention: Focusing on Panel Data Regression Model)

  • 이준범
    • 벤처창업연구
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    • 제14권1호
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    • pp.1-15
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    • 2019
  • 본 연구의 목적은 창업가정신과 창업의도의 관련성을 실증적으로 분석하는 것이다. 이러한 관련성은 많은 선행연구들에서 개념적으로 다루어졌으며, 실증적으로도 검증되어왔다. 하지만 본 연구는 다음과 같은 네 가지 점에서 기존 연구들과 차별화된다. 첫째, 창업의도의 개념적 정의(직업선택과정에서의 창업의사결정)에 부합하도록, 창업을 취업에 대한 상대적인 개념으로써 조작화하여, 창업의도 변수를 측정하였다. 둘째, 직업선택이라는'구체적인 행동'에 대한 선호를 묻는 설문을 활용하였다는 점에서 창업에 대한 선호를 단선적으로 묻는 기존의 연구들과 구별된다. 셋째, 한국고용정보원의 청년 패널데이터를 이용하여 논의 및 분석의 기회를 확장하였다. 넷째, 이타적 성향을 창업가정신의 범주에 함께 포함시켰다. 실증분석 결과, 성취욕구가 강하고 내부통제성향이 높으며 위험감수성이 높고 자율적 성향이 많을수록, 창업의도가 높은 것으로 나타났다. 그러나 혁신성과 적극성은 창업의도와 통계적으로 관련이 없는 것으로 나타났다. 한편, 이타적 성향은 창업의도와 음(-)의 관계를 가지는 것으로 나타났다. 이러한 본 연구의 실증분석 결과는 민간부문의 투자자들과 정부의 창업정책 담당자들이 가진 유인체계와 관련하여 의미있는 시사점을 제공할 수 있다.