Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2015.08a
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pp.61.1-61.1
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2015
Nanoscale semiconductor plasma processing has become one of the most challenging issues due to the limits of physicochemical fabrication routes with its inherent complexity. The mission of future and emerging plasma processing for development of next generation semiconductor processing is to achieve the ideal nanostructures without abnormal profiles and damages, such as 3D NAND cell array with ultra-high aspect ratio, cylinder capacitors, shallow trench isolation, and 3D logic devices. In spite of significant contributions of research frontiers, these processes are still unveiled due to their inherent complexity of physicochemical behaviors, and gaps in academic research prevent their predictable simulation. To overcome these issues, a Korean plasma consortium began in 2009 with the principal aim to develop a realistic and ultrafast 3D topography simulator of semiconductor plasma processing coupled with zero-D bulk plasma models. In this work, aspects of this computational tool are introduced. The simulator was composed of a multiple 3D level-set based moving algorithm, zero-D bulk plasma module including pulsed plasma processing, a 3D ballistic transport module, and a surface reaction module. The main rate coefficients in bulk and surface reaction models were extracted by molecular simulations or fitting experimental data from several diagnostic tools in an inductively coupled fluorocarbon plasma system. Furthermore, it is well known that realistic ballistic transport is a simulation bottleneck due to the brute-force computation required. In this work, effective parallel computing using graphics processing units was applied to improve the computational performance drastically, so that computer-aided design of these processes is possible due to drastically reduced computational time. Finally, it is demonstrated that 3D feature profile simulations coupled with bulk plasma models can lead to better understanding of abnormal behaviors, such as necking, bowing, etch stops and twisting during high aspect ratio contact hole etch.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.11
no.6
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pp.185-199
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1994
This study has been performed to present a new automatic tool wear measurement by digital image processing. The purpose of this paper is to develop an automatic tool wear measuring system based on the image processing which can be applied to the quasi-real time measurement of the characteristics of insert tip in turning. Tool wear monitoring is one of the key-problems, for the development of control systems of modern unmanned factory which are not completely solved now. In oredr words at present complete qualitative and quantitative information on tool wear morphology is required, at least on the following aspects : flank wear, its dimensions and distribution on the maximum and mean values on VB pqrqmeter in the various zones of the wearland. crater wear, its main dimensions and values of KT parameters. This research has been performed to this technique made possible by designing a proper lighting system to the worn tool with following features : The flank wear is measured by observing the active cutting part from a proper direction and by lighting the wearland by a diffuser optic system. The crater wear is visualized by lighting the tool by a He-Ne gas laser system developed in this study. By means of this system it is research to evaluate classical parameters of tool wear and to have complete information about tool wear morphology.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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v.7
no.4
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pp.96-103
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1998
With the advance of processing technology , so as to spare fuel, piston heads used in automobile reciprocating engine have complex 3-dimension, with respect to shape such as ovality, profile, eccentricity, offset, recess. Therefore, coming out of the existing process work used master cam. the process work is performed using a CNC lathe. For a precision processing, the processing work is need to make study of high speed feed gear synchronized with the rotative speed of main spindle. And then the high speed feeding system must maintain high dynamic stiffness, high speed and high positioning accuracy . In this paper, in order to achieve high speed cutting tool feeding. The linear brushless DC motor is used for satisfying this process work. The ball bush and turicite is used as the guidance of the feed gear system. Also linear encoders, digital servo amplifiers and controller are used for controlling driving motor. This paper presents the design and simulation of the new tool feed system for noncircular machining.
The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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v.31
no.5A
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pp.493-500
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2006
This paper presents the efficient structure and parameter optimization of downlink beamforming transmitter in OFDMA/TDD system. To design downlink beamforming transmitter for multiple transmit antennas, an efficient beamforming structure for multiple users and the choice of word-length of each block are critical in the aspect of its performance and hardware complexity. We propose an efficient beamforming scheme, which stores the weights of subcarriers into memory without user identification at the receiver of base station and calculates the weights for corresponding user in a subcarrier unit of IFFT input at high speed. Also, we obtain the word-length of main data path and other design parameters by fixed-point simulation analysis. The proposed architecture could reduce the memory size proportional to the maximum number of users per frame, and the processing time of an OFDM symbol at the receiver of base station without the need of additional processing time for calculating the weights at the transmitter.
The Transactions of the Korea Information Processing Society
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v.6
no.8
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pp.2000-2007
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1999
Recently, DDS (Distributed Database System) has been often implemented on VAN (Value Added Network) as we know the amazing expansion of information network. DDS can yield significant cost and response time advantages over centrailzed systems for geographically distributed organizations. However, inappropriate design can result in high cost and poor response time. In a DDS design, the main problem is 1) how to select proper computer, and 2) how to allocate data fragment into proper nodes. This paper addresses DDS design problem of selecting the proper class of computers and the allocating data files on VAN. Also, the formulated model includes tow objectives, the operating and investment cost. GA (Genetic Algorithm) is developed to solve this mathematical formulation. A numerical experiment shows that the proposed method arrives at a good solution.
In the textile industry located in Gyeonggi-do, 85% of small-sized firms have less than 10 employees; in addition, the most of them are characterized by a vendor relying specialization system that conducts foundry from the vendor that managed marketing, textile design development, and quality checks according to unit stream. The breakaway of these vendors accelerated over the last 7 years; however, industry survival is at stake because the specialization system and orders have collapsed. The following four main policies must be implemented to overcome industry hardship. Policies have been derived from survey and analysis (present condition and trends) from industrial statistics and related policies in advanced and developing countries. First, a policy to promote cooperation between small-sized foundry unit-streams. Second, unification of the marketing support function with a textile design and development support system. Third, the introduction of policy support-management system customized according to developmental stages (tall process${\rightarrow}$fabric production${\rightarrow}$sales${\rightarrow}$clothing production sales). Fourth, foundation of a control tower that puts these tasks in a vehicle and runs them and the division of roles with the central government. We must propel main tasks to manifest the developmental potential (develop eco-friend dyeing and processing technologies, change to the young next CEO in business environment, and grow the of knit market) of the Gyeonggi Textile Industry in a short period to present a condition where these four main policies are running.
In this paper, the design methodology of information security is analyzed to implement the ubiquitous city (u-City). The definition, concept, and main u-services of u-City are presented. The main components, functio ns and offering services of u-City management center are presented, and the laws and network security requirements related to protect the personal information in collecting, processing, and exchanging are also analyzed. Three step security levels of Router/Switch, Firewall/VPN, and IPS are applied where main functions of in terception of abnormal packets($1^{st}$ level), access control for each service($2^{nd}$ level), and real-time network monitoring($3^{rd}$ level) are performed. Finally, application cases are presented to validate the security of personal information in providing the u-City services.
The proportion of agricultural products handled through the Agricultural Products Processing Center (APC) is also steadily increasing every year, and in the case of Seongju Korean melon, a total of 10 APCs of Nonghyup and farming association corporations are in operation, and the distribution ratio is about 60% based on total production. In this study, Seongju Korean melon was selected as a target to analyze the environment load during carrying (production farm ~ APC) in the production area and the transport environment load during distribution of domestic fruits, and to analyze the environmental load for handling at APC. The vertical average vibration intensity (overall Grms of 1~250 Hz) of truck transport measured at three transport routes from Seongju Korean melon producer ~ APC, Seongju ~ Seoul and Seongju ~ Jeju was about three times larger than that in the lateral direction and 4.5 times larger than that in the longitudinal direction, respectively. The frequency of occurrence of high-amplitude events (G) in the vertical direction compared to the measuring time was deeply related to pavement conditions in the order of unpaved farm-roads, concretepaved farm-roads, and asphalt-paved main-roads, but overall Grms for the entire frequency band is believed to have a greater impact on vehicle traveling speed than road conditions. On the other hand, the difference in the size and direction of the vibration intensity measured by the forklift truck's main-body and the attachment (fork carrier) during handling at Seongju Korean melon APC was clear, and the vibration intensity of the forklift truck's main-body was largely affected by the stiffness of the fork and the mast according to the handling weight. Based on the field-data of the transport environment during domestic distribution measured through this study, it is believed that it is possible to develop a lab-based simulation protocol for appropriate packaging design.
Korean Journal of Computational Design and Engineering
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v.17
no.2
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pp.97-110
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2012
High performance sensors and modern data logging technology with real-time telemetry facilitate system fault diagnosis in a very precise manner. Fault detection, isolation and identification in fault diagnosis systems are typical steps to analyze the root cause of failures. This systematic failure analysis provides not only useful clues to rectify the abnormal behaviors of a system, but also key information to redesign the current system for retrofit. The main barriers to effective failure analysis are: (i) the gathered data (event) logs are too large in general, and further (ii) they usually contain noise and redundant data that make precise analysis difficult. This paper therefore applies suitable pre-processing techniques to data reduction and feature extraction, and then converts the reduced data log into a new format of event sequence information. Finally the event sequence information is decoded to investigate the correlation between specific event patterns and various system faults. The efficiency of the developed pre-filtering procedure is examined with a terminal box data log of a marine diesel engine.
Weight reduction while maintaining functional requirements is one of the major goals in the automotive industry. The use of lightweight magnesium alloys offers great potential for reducing weight because of the low density of these alloys. However, the formability and the surface quality of the final magnesium alloy product for auto-body structures are not acceptable without a careful optimization of the design parameters. In order to overcome some of the main formability limitations in the stamping of magnesium alloys, a new approach, the so-called "hybrid technology", has been recently proposed for body-in-white structural components. Within this approach, necessary level of mechanical joining can be obtained through the use of lightweight material-steel adhesion promoters. This paper presents the development process of an automotive hybrid hood assembly using magnesium alloy sheets. In the first set of material pairs, the selected materials are magnesium alloy AZ31B alloy and steel(SGCEN) as inner and outer panels, respectively. In order to optimize the design of the inner panel, the stamping process was analyzed with the finite element method (FEM). Laser welding by CW Nd:YAG were used to join the magnesium alloy sheets. Based on the simulation results and mechanical test results of the joints, the determination of die design variables and their influence on formability were discussed. Furthermore, a prototype based on the proposed design was manufactured and the static stiffness test was carried out. The results demonstrate the feasibility of the proposed hybrid hood with a weight reduction of 25.7%.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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