MOD법에 의해 제조된 $NO_x$ 가스용 반도체 박막센서의 특성
(Characteristics of Semiconductor Thin Film $NO_x$ Sensor Fabricated by MOD Method)
-
- 한국전기전자재료학회논문지
- /
- 제11권11호
- /
- pp.1001-1006
- /
- 1998