• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2006.06a
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• pp.302-304
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• 2006

This paper deals with a novel autocalibration method of three-axis micromachined accelerometers applied to a new intelligent putter for golfers. This putter can help golfers monitor and analyze their putting posture and therefore modify their putting action to get better score and enjoy their lives through golf. The micromachined accelerometers to get information of the motion are the essential part of the putter to measure the three-axis acceleration as accurately as possible. This paper presents autocalibration algorithm to find the offset and sensitivity of accelerometers only by using six different static measurement data. The experimental results shows the validity of the algorithm for the new smart putter.

• 전기의세계
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• v.41 no.11
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• pp.8-15
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• 1992

요즘 자기 스스로 움직이면서 간단한 동작을 명령대로 수행하는 마이크로 머신을 만드는 꿈과같은 이야기를 현실에 한발 가까이 하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 즉, IC칩을 제작하는 미세반도체 소자 제조공정으로 수십 내지는 수백미크론 크기의 기계구조물이나 모터, 액츄에이터를 실리콘 기판 위에 제작하는 것이 가능하게 되었다. 이러한 연구분야는 1980년대 중반부터 미국, 일본, 유럽등지에서 시작되었다. 이 연구분야를 IEEE에서는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)라 부르며, 매년 2월 IEEE주최로 이에 관한 International conference가 열리고 있고, 이분야에 대한 Journal도 1992년부터 발행하고 있다. MEMS를 미국에서는 NSF(National Science Foundation)에서 일본에서는 통산성에서 지원하고 있으며 현재 재료, 제작기술, 소자(센서, 액츄에이터), 시스템, 응용, 마이크로 이공학등에 관한 연구가 진행되고 있다. 이 분양의 파급효과는 의공학이나 유전자공학 뿐만이 아니라 공학에도 매우 크리라 예상된다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2003.07a
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• pp.408-411
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• 2003

최근 활발하게 연구가 진행되고 있는 마이크로 인덕터는 자기 데이터 저장을 위한 헤드, 자기장 센서, 마이크로 변압기와 휴대폰의 수동 소자와 같은 다양한 분야에 이용되고 있다. 마이크로 인덕터를 제작하기 위해 UV-LIGA 공정을 개발하였다. 도금 공정을 이용하여 마이크로 인덕터의 철심과 구리선 제작하였다. 도금 공정을 위해 필요한 마이크로 몰드는 여러 종류의 thick photoresist를 이용하여 저응력 공정으로 제작하였다. 도금 공정을 이용하여 toroid형 마이크로 인덕터를 제작하였다. 도금 공정에서 발생 할 수 있는 응력을 최소화할 수 있는 공정을 개발하였다.

• Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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• v.14 no.5
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• pp.35-40
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• 2005

An experimental Investigation of the basic characteristics of a micro-cantilever sensor was performed by inspecting the amplitude and frequency characteristics of a commercial tuning fork (TF). Application of acetone and ethanol with a volume of $1{\mu}l$ on the tine of a vibrating tuning fork causes immediate response in its amplitude and frequency characteristics. It has been shown that the tuning fork has ability to recognize a chemical agent with high sensitivity. The theoretical sensitivity of mass loading is in the range of $\~0.1Hz/ng$. Quartz tuning forks are routinely made using standard microfabrication process, thus suggesting the possibility of microfabrication of micro quart sensors.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2004.05a
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• pp.120-122
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• 2004

Wearable input device that can make free-space typewriting possible is introduced. We named this device as $SCURRY^{TM}$. To measure the angular velocity of hand and the acceleration rates at the ends of fingers, we buried MEMS inertial sensors in this keyboard. We processed sensor signals to get the information on hand movement and finger-click motion. With this signal processing, apparent finger movements were depicted over the virtual keyboard shown on output device of a target computing system. In this paper, a finger-click recognition method is proposed to improve the recognition performance for finger clicking of $SCURRY^{TM}$. The proposed method is composed of three parts including feature extraction part, valid click part, and cross-talk avoidance part. The experiments were conducted to verify the effectiveness and efficiency of the proposed algorithms.

• Journal of the Korean Society of Mechanical Technology
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• v.13 no.4
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• pp.93-99
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• 2011

This paper presents a new type of optical silicon accelerometer using deep reactive ion etching (DRIE) and micro-stereolithography technology. Optical silicon accelerometer is based on a mass suspended by four vertical beams. A vertical shutter at the end of the mass can only moves along the sensing axis in the optical path between two single-mode optical fibers. The shutter modulates intensity of light from a laser diode reaching a photo detector. With the DRIE technique for (100) silicon, it is possible to etch a vertical shutter and beam. This ensures low sensitivity to accelerations that are not along the sensing axis. The microstructure for sensor packaging and optical fiber fixing was fabricated using micro stereolithography technology. Designed sensors are two types and each resonant frequency is about 15 kHz and 5 kHz.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2021.11a
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• pp.753-755
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• 2021

본 논문에서 기존의 치아가공기는 회전하는 모터를 사용하여 구성하였으나 이러한 모터는 정밀도, 반복정밀도가 50um 이하로 가공물 가공시에 치기공사나 치과의사가 사람에 맞추어 다시 작업을 해야하는 불편함과 시간적, 작업자의 피로도를 높일수 있는데 이러한 모터에 스크류나 밸트를 연결하여 선형적으로 움직일 수 있는 리니어모듈과 리니어모터를 적용하게되면 20um수준의 고정밀의 위치제어가 가능한 5축 치아가공기를 만들 수 있었다. 또한 MEMS센서를 이용하여 스핀들의 상태를 모니터링 하고 임계값을 지정하여 이상 신호 발생시 모터를 멈추어 위험상황에 대해서 인공지능기법을 이용하여 정지하거나 관리자에게 알림을 주어 효과적으로 5축치아가공기를 운영할 수 있도록 하였다.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2022.11a
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• pp.282-283
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• 2022

본 논문에서 기존의 혈액투석기는 회전하는 모터를 사용하여 구성하였으나 이러한 모터는 정밀도, 반복정밀도가 50um 이하로 가공물 가공시에 치기공사나 치과의사가 사람에 맞추어 다시 작업을 해야하는 불편함과 시간적, 작업자의 피로도를 높일수 있는데 이러한 모터에 스크류나 밸트를 연결하여 선형적으로 움직일 수 있는 리니어모듈과 리니어모터를 적용하게되면 20um수준의 고정밀의 위치 제어가 가능한 혈액투석기를 만들 수 있었다. 또한 MEMS센서를 이용하여 모터의 상태를 모니터링하고 임계값을 지정하여 이상 신호 발생시 모터를 멈추어 위험상황에 대해서 인공지능기법을 이용하여 정지하거나 관리자에게 알림을 주어 효과적으로 혈액투석기를 운영할 수 있도록 하였다.

• Journal of the Korean GEO-environmental Society
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• v.14 no.8
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• pp.45-51
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• 2013

In the construction site of underground buildings which have severe environment such as dust, noise, vibration, the technology of rescue the builders in the construction site when accident occurs by tracking the location of the builders and express the mission of supervisor smoothly. In this study, in order to acquire the location information of the builders in the construction site of underground buildings by using MEMS INS and air pressure sensor, we firstly performed the field test in construction site, analyzed the location and the elevation accuracy based on the detected results, and then verified its practicality and rationality after all. As a result, we could acquire worker's position-accuracy within 10m in horizontal direction and 4m in vertical direction. Therefore we could judge availability in construction fields of underground structure.

• 한국HCI학회:학술대회논문집
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• 2008.02a
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• pp.337-341
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• 2008

This paper presents a vibrotactile space mouse which use pin-type vibrotactile display modules and a gyroscope chip. This mouse is a new interface device which is not only an input device as an ordinary space mouse but also a tactile output device. It consists of a space mouse which use gyroscope chip and vibrotactile display modules which have been developed in our own laboratory. Lately, by development of vibrotactile display modules which have small size and consume low power, vibrotactile displays are available in small sized embedded systems such as wireless mouses or mobile devices. Also, development of new sensors like miniature size gyroscope by MEMS technology enables manufacturing of a small space mouse which can be used in the air not in a plane. The vibrotactile space mouse proposed in this paper recognizes motion of a hand using the gyroscope chip and transmits the data to PC through Bluetooth. PC application receives the data and moves pointer. Also, 2 by 3 arrays of pin-type vibrotactile actuators are mounted on the front side of the mouse where fingers of a user's hand contact, and those actuators could be used to represent various information such as gray-scale of an image or Braille patterns for visually impared persons.