SIMS Depth Profiling Analysis of Cl in $TiCl_4$ Based TiN Film by Using $ClCs_2^+$ Cluster Ions
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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- pp.161-161
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- 2012