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Further Kinetic Studies of Solvolytic Reactions of Isobutyl Chloroformate in Solvents of High Ionizing Power Under Conductometric Conditions

  • Lim, Gui Taek;Lee, Yeong Ho;Ryu, Zoon Ha
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제34권2호
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    • pp.615-621
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    • 2013
  • Solvolyses of isobutyl chloroformate (4) in 43 binary solvent mixtures including highly aqueous media, water, $D_2O$, $CH_3OD$, 2,2,2-trifluoroethanol (TFE) as well as aqueous 1,1,1,3,3,3-hexafluoro-isopropanol (HFIP) solvents were performed at $45^{\circ}C$, in order to further investigate the recent results of D'Souza, M. $J^1$. et al.; solvolyses of 4 are found to be consistent with the proposed mechanism ($Ad_E$). The variety of solvent systems was extended to comprise highly ionizing power solvent media ($Y_{Cl}$ > 2.7 excepted for aqueous fluorinated solvents and pure TFE solvent) to investigate whether a mechanistic change occurs as solvent compositions are varied. However, in case of 18-solvent ranges having aqueous fluorinated solvent systems (TFE-$H_2O$ and HFIP-$H_2O$) and/or having $Y_{Cl}$ > 2.7 solvent systems, the solvent effect on reactivity for those of 4 are evaluated by the multiple regression analysis as competition with $S_N2$ - type mechanism. And in pure TFE and 97 w/w % HFIP solvents with high $Y_{Cl}$ and weak $N_T$, these solvolyses are understood as reactions which proceed through an ionization ($S_N1$) pathway.

벼 직파재배(直播栽培) 양식(樣式)에 따른 잡초발생양상(雜草發生樣相) 과 경합특성(競合特性) - 제(第) 2 보(報). 직파재배(直播栽培) 벼와 잡초(雜草)와의 경합(競合) (Emergence of Weed Species and Their Competitive Characteristics in Direct-Seeded Rice (Oryza sativa) - 2. Durations of Weed Competition with Direct-Seeded Rice)

  • 허상만;조이기;권삼열
    • 한국잡초학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.289-297
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    • 1995
  • 벼 직파재배(直播栽培) 두 양식(樣式)(건답직파(乾畓直播), 담수직파(湛水直播))하(下)에서 효율적(效率的)인 잡초방제(雜草防除) 체계(體系)를 확립(確立)하기 위하여 잡초생장(雜草生長)과 잡초(雜草)의 경합(競合)에 대한 벼의 수량(收量)과 수량구성요소(收量構成要素)의 반응(反應)에 대한 결과(結果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1. 잡초(雜草)의 신장은 건답(乾畓)과 담수직파(湛水直播)에서 파종후(播種後) 45일(日)경부터 벼의 신장(伸張) 생장(生長)을 앞질러 광(光)과 공간(空間)에 대한 경합(競合)을 나타내기 시작했으며, 파종후(播種後) 75일(日) 이후(以後)부터는 가장 큰 초장(草長)의 차이를 나타냈다. 2. 잡초(雜草)의 건물(乾物) 생산량(生産量)은 건답(乾畓)과 담수직파(湛水直播)에서 모두 파종후(播種後) 30일(日) 이후(以後)부터 급격히 증가(增加)하여 벼와의 경합(競合)을 시작하는 시점(始点)으로 사료되었으며, 생육기간(生育期間)이 진전(進前)됨에 따라 담수직파(湛水直播)에서보다 건답직파(乾畓直播)에서 잡초(雜草)의 생장속도(生長速度)가 조금 더 빨랐다. 3. 경합기간(競合期間)이 벼의 생장(生長)에 미치는 영향은 건답(乾畓), 담수직파(湛水直播) 모두 파종(播種) 후(後) 75일(日)까지의 경합(競合)에서 수량구성요소(收量構成要素) 및 수량(收量)에 유의차(有意差)가 없었으나 75일(日) 이후부터는 감소하는 경향이 뚜렸하였고, 수량(收量)에 대한 영향 역시 경합기간(競合期間)이 75일(日) 이후부터는 크게 감소하였다. 무잡초유지기간(無雜草維持期間)은 파종(播種) 후(後) 30일간, 잡초발생허용기간(雜草發生許容期間)은 파종(播種) 후(後) 75일까지로 나타나, 잡초방제(雜草防除) 요구기간(要求期間)은 파종(播種) 후(後) 30~75일(日)까지 45일간(日間)이었다. 4. 잡초(雜草)의 생장량(生長量)이 수량구성요소(收量構成要素) 및 수량(收量)에 미치는 영향은 건답직파(乾畓直播)에서 주수(株數)는 피, 알방동사니, 미국가막사리에서, 수수(穗數), 수당영화수(穗當穎花數), 천립중(千粒重), 수량(收量)은 피, 여뀌, 여뀌바늘, 알방동사니, 마국가막사리, 너도방동사니 생장량(生長量)과 고도의 부(負)의 상관(相關)을 나타냈다. 담수직파(湛水直播)에서의 피는 단위면적당(單位面積當) 주수(株數), 수수(穗數), 수당입수(穗當粒數), 수당영화수(穗當穎花數), 수량(收量)에서 고도의 부(負)의 상관(相關)을 나타냈으며, 등숙율(登熟率)은 알방동사니에서 부(負)의 상관(相關)을 보였고, 그 외의 초종(草種)들은 영향이 적었다.

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Influence of microenvironment on the spatial distribution of Himantormia lugubris (Parmeliaceae) in ASPA No. 171, maritime Antarctic

  • Choi, Seung Ho;Kim, Seok Cheol;Hong, Soon Gyu;Lee, Kyu Song
    • Journal of Ecology and Environment
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    • 제38권4호
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    • pp.493-503
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    • 2015
  • This study analyzed how spatial distribution of Himantormia lugubris is affected by the microenvironment in the Antarctic Specially Protected Area (ASPA) No. 171 located in the Barton Peninsula of King George Island that belongs to the maritime Antarctic. In order to determine the population structure of H. lugubris growing in Baekje Hill within ASPA No. 171, we counted the individuals of different size groups after dividing the population into 5 growth stages according to mean diameter as follows: ≤ 1 cm, 1-3 cm, 3-5 cm, 5-10 cm, and ≥ 10 cm. The count of H. lugubris individuals in each growth stage was converted into its percentage with respect to the entire population, which yielded the finding that stages 1 through 5 accounted for 32.8%, 25.3%, 15.9%, 22.5%, and 3.5%, respectively. This suggests that the population of H. lugubris in ASPA No. 171 has a stable reverse J-shaped population structure, with the younger individuals outnumbering mature ones. The mean density of H. lugubris was 17.6/0.25 m2, mean canopy cover 13.3%, and the mean dry weight 37.8 g/0.25 m2. It began to produce spore in the sizes over 3 cm, and most individuals measuring 5-10 cm were adults with sexually mature apothecia. The spatial distribution of H. lugubris was highly heterogeneous. The major factors influencing its distribution and performance were found to be the period covered by snow, wind direction, moisture, size of the substrate, and canopy cover of Usnea spp. Based on these factors, we constructed a prediction model for estimating the spatial distribution of H. lugubris. Conclusively, the major factors for the spatial distribution of H. lugubris were snow, wind, substrate and the competition with Usnea spp. These results are important for understanding of the distribution in the maritime Antarctic and evolution of H. lugubris that claims a unique life history and ecological niche.

인터넷 포탈의 성공적인 분석: 인수합병 사례를 중심으로 (The Analyses of Successful Strategy for Internet Portals: From the Analyses of M&A Cases)

  • 채수완;권성우;유병준
    • 경영정보학연구
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    • 제9권2호
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    • pp.85-108
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    • 2007
  • 인터넷을 활용한 비즈니스의 영역이 확대됨에 따라 인터넷 포탈이 주목 받고 있다. 점차 인터넷 포탈이 종합화, 대형화 되어가면서 그 역할 또한 커지고 있다. 이제 고객의 다양한 욕구와 변화된 경영환경 속에서 인터넷 포탈의 성공전략에 대한 논의가 필요한 시점이 되었다. 따라서 본 논문에서는, 인수합병을 통한 인터넷 포탈의 성공요인들을 제시하고자한다. 이를 위하여, 본 연구에서는, 국내외 주요 인터넷 포탈 기업들의 사례를 정성적 연구방법론을 바탕으로 분석하였다. 연구변수로는 인터넷 포탈의 기본적인 성공요인 2가지와 지속적인 성장을 위한 인수합병의 성공요인 3가지를 선정된 사례에 각각 적용하여 분석을 실시하였다. 분석결과, 독점적 컨텐츠를 확보하는 것과 임계점 이상의 가입자 규모를 확보하는 것이 인터넷 포탈의 성공을 위해 동시에 만족되어야 할 가장 중요한 성공요인들임을 확인하였다. 또한, 인수합병의 성공요인 분석을 통해 효율적인 인수합병 방안을 제시하고 있다.

논에 발생되는 주요 일년생잡초 발생에 수도 생육 및 수량에 미치는 영향 (Studies on Competition between Major Annual Weeds and Rice in Transplanted Paddy Field)

  • 김순철;허훈;박래경;제상율
    • 한국작물학회지
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    • 제22권1호
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    • pp.52-60
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    • 1977
  • 1976년 5월부터 10월까지 영남작물시험장의 1$\textrm{m}^2$ Concreat pot에서 답에 발생되는 주요 일년생 잡초인 물달개비 (Monochoria vaginalis), 사마귀풀(Aneilema japonicum)여뀌바늘(Ludwigia prostrata)과 수도품종 Tongil, Milyang 2002를 공시하여 잡초발생밀도를 달리하였을때, 수도에 미치는 영향을 조사하였던 결과, 1) 잡초발생이 많아짐에 따라 수도의 엽신, 엽면적, 엽초, 수중이 감소하였는데, 여뀌바늘이 수도에 미치는 피해정도가 가장 컸다. 한편, 수도 품종별 잡초와의 경쟁력은 초고가 큰 사마귀풀과 여뀌바늘에 있어서는 간장이 큰 Milyang2002, 초고가 낮은 물달개비에 있어서는 분얼력이 강한 Tongi니 경쟁력이 강하였다. 2) 잡초발생에 따른 수도질소함량은 엽신이 가장 높고 다음이 이삭, 엽초의 순이었고 수도와 잡초가 흡수한 전질소량을 비교하여보면, 1$\textrm{m}^2$당 잡초발생수 625본구에서 여뀌바늘은 약90%, 물달개비는 약65%, 사마귀풀은 약40%~65%가 잡초에 의해 흡수되었다. 3) 잡초발생이 많아짐에 따라 수도의 출수기가 빨라지고, 간장이 짧아졌는데 1$\textrm{m}^2$당 25본까지는 차리가 없었으나 125본이상에서는 출수기가 1~5일 빨라졌고, 간장은 1$\textrm{m}^2$당 잡초발생수 625본구에서 약 10cm정도 단축되었다. 4) 잡초발생에 따른 수도수량 감소정도는 여뀌바늘이 가장 컸는데 1$\textrm{m}^2$당 625본 발생에서, 여뀌바늘의 Tongil에서 50%, Milyang2002에서 80%, 물달개비는 Tongil, Milyang2002다같이 약55~60%. 사마귀풀은 약 40~50%의 수량이 감소되었는데 이들 수량감소의 주요 요인은 Milyang2002에서는 수수가 가장 강한 요인이었고, 그다음이 일수립수였다. 그러나 Tongil에에서는 수수, 일수립수 다같이 비슷한 강도의 감수 요인이었다. 그러나 이들 수수, 일수립수가 감소 하였는데 반하여 천립중, 등숙비율은 보상작용으로 오히려 증가되는 경향을 보였다.

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흰쥐 뇌내(腦內)의 무수카린성 콜린 수용체의 이질성(異質性) (Multiple Binding Affinities for Muscarinic Acetylcholine Receptors in Rat Brain)

  • 이종화
    • 대한약리학회지
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    • 제23권2호
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    • pp.101-111
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    • 1987
  • 중추신경계 특히 뇌내(腦內)의 무수카린성 콜린 수용체 (mAchR)에 대한 수용체 특성의 연구의 하나로, 물리 화학적 성상에 다른 두 종류의 콜린길항제를 사용하여 서로 다른 두 형태의 조직에서 약물의 작용양상 및 다른 약물과의 상호작용을 정초하였다. 실험동물로는 흰쥐를 일정기간 규정사료를 사육하였고, 사용한 Radioactive ligands는 $(^3H)$ QNB와 $(^3H)$ NMS였으며 그외에 다른 수종의 길항제 또는 효능제와의 치환작용을 brain homogenates와 intact brain cell aggregates에서 관찰하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. $(^3H)$ QNB와 $(^3H)$ NMS는 모두 질량작용의 법칙에 비례하여 수용체와의 결합에서 높은 친화력과 포화를 보였으며 또한 높은 결합 능력을 나타내었다. 더욱이 homogenates 제제와 intact cell aggregates제제에서의 결과 사이에는 유사한 점이 많았다. 2. Homogenates제제를 사용한 실험에서, 제 3 급아민콜린길항제인 QNB, atropine과 scopolamine 또는 제 4 급 암모늄골린 길항제인 methylatropine과 methylscopolamine을 사용하여 위의 radioactive ligands와의 치환작용을 검토하였다. $(^3H)$ NMS 실험군에서는 제 3 급아민 및 제 4 급 암모늄길항제 모두가 구조의 구별없이 질량작용의 법칙에 따라 치환되었으나 $(^3H)$ QNB 실험군에서는 제 4급 암모늄콜린 길항제들을 단일성(unity)이 아닌 높고 낮은 두 종류의 친화도를 가진 결합부위의 양상을 나타내었다. 또 비특이성 콜린길항제인 pirenzepine을 사용한 실험군에서는 두 ligands을 모두 치환시켰고 서로 다른 결합부위가 있음을 보였다. 3. Intact cell aggregates 제제를 사용한 실험에서, $(^3H)$ NMS와 $(^3H)$ QNB 모두 homogenates 제제에서와 같은 양상의 반응을 보였다. 또 $(^3H)$ NMS를 radioligand로 하여 수종의 콜린길항제와 수종의 콜린 효능제를 사용하여 약물 상호작용으로 수용체의 성질을 검토하였다. 그 결과 콜린 길항제들은 질량작용의 법칙에 따라 치환되었으나 콜린 효능제 투여군에서는 높고 낮은 두 종류의 다른 친화력의 결항부위를 나타내었다. 4. 위의 실험의 결과로,(a) 친유성콜린 길항제인 $(^3H)$ QNB는 친수성 콜린길항제인 $(^3H)$ NMS보다 훨씬 높은 결합능력을 보였으며 이것으로 수용체 특히 mAchR의 존재 장소 또는 mAchR의 형상의 일부는 세포막 표면 뿐 아니라 세포막내의 어떤 부위와도 관계가 되는 것으로 간주되는데 이것이 $(^3H)$ QNB가 $(^3H)$ NMS보다 높은 최대 결합능력 $(B_{max})$을 나타낼 이유이다. (b) 두 종류의 다른 제제에서 우리는 같은 양상의 결과를 관찰하었기에 결점이 많은 homogenates 제제보다는 intact cell aggregates 제제를 수용체 연구에 대한 새로운 실험모형(experiment model)으로 사용할 수 있는 가능성을 제시하고자 한다.

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Isolation and Characterization of a Novel Calcium/Calmodulin-Dependent Protein Kinase, AtCK, from Arabidopsis

  • Jeong, Jae Cheol;Shin, Dongjin;Lee, Jiyoung;Kang, Chang Ho;Baek, Dongwon;Cho, Moo Je;Kim, Min Chul;Yun, Dae-Jin
    • Molecules and Cells
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    • 제24권2호
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    • pp.276-282
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    • 2007
  • Protein phosphorylation is one of the major mechanisms by which eukaryotic cells transduce extracellular signals into intracellular responses. Calcium/calmodulin ($Ca^{2+}/CaM$)-dependent protein phosphorylation has been implicated in various cellular processes, yet little is known about $Ca^{2+}/CaM$-dependent protein kinases (CaMKs) in plants. From an Arabidopsis expression library screen using a horseradish peroxidase-conjugated soybean calmodulin isoform (SCaM-1) as a probe, we isolated a full-length cDNA clone that encodes AtCK (Arabidopsis thaliana calcium/calmodulin-dependent protein kinase). The predicted structure of AtCK contains a serine/threonine protein kinase catalytic domain followed by a putative calmodulin-binding domain and a putative $Ca^{2+}$-binding domain. Recombinant AtCK was expressed in E. coli and bound to calmodulin in a $Ca^{2+}$-dependent manner. The ability of CaM to bind to AtCK was confirmed by gel mobility shift and competition assays. AtCK exhibited its highest levels of autophosphorylation in the presence of 3 mM $Mn^{2+}$. The phosphorylation of myelin basic protein (MBP) by AtCK was enhanced when AtCK was under the control of calcium-bound CaM, as previously observed for other $Ca^{2+}/CaM$-dependent protein kinases. In contrast to maize and tobacco CCaMKs (calcium and $Ca^{2+}/CaM$-dependent protein kinase), increasing the concentration of calmodulin to more than $3{\mu}M$ suppressed the phosphorylation activity of AtCK. Taken together our results indicate that AtCK is a novel Arabidopsis $Ca^{2+}/CaM$-dependent protein kinase which is presumably involved in CaM-mediated signaling.

인체 무게 중심 분할에 따른 500m 숏트트랙 스피드 스케이팅 출발 기술 분석 (Analysis of the 500M Short track speed skating starting motion according to the center of gravity position ratio)

  • 백진호;정남주;한기훈;이용구;윤동섭;이용식
    • 한국운동역학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.199-215
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    • 2003
  • The purpose of this study was to attempt new starting motion and supply present starting motion in the 500M short track speed skating according to the center of gravity position. The center of gravity position ratio was divided starting motion into five(type A : front 80%-back 20%, type B front 70%-back 30%, type C : front 50%-back 50%, type D : front 30%-back 70%, type E : front 20%-back 80%). The three dimension motion analysis with DLT(direct linear transformation) method was executed using two video cameras. The following conclusion was that It was appear that reaction and execution time in starting motion was the most short in type B. It was characteristic that step of skaters was shorten and center of gravity position ratio was not effect to change of the step in each event. It was appear that the displacement of type D and type E were longer than that type A and type B during the starting motion. It was appear that skill types of center of gravity position ratio to the front were lower than that to the back and contract a posture. Observing the above, it was conclusion that skill type B of center of gravity position ratio to the tent was more effect than that to the back. But it is important that these skill type was most used to the competition and estimate the result.

에틸, 프로필, 이소프로필, 부틸, 이소부틸 파라벤의 In Vitro 검색시험 연구에서의 내분비독성 (Oestrogenic Activity of Parabens In Vitro Estrogen Assays)

  • 이성훈;김선중;박정란;조은혜;안남식;박준석;황재웅;정지윤;이영순;강경선
    • 한국식품위생안전성학회지
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    • 제21권2호
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    • pp.100-106
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    • 2006
  • ER와 리포터 유전자인 $\beta$-galactosidase가 도입된 효모재조합검색시험법을 이용하여 파라벤류의 내분비계 장애작용을 검색하였다. 양성대조 시험물질로 앞의 시험법들과 동일하게 E2와 BPA를 설정하여 파라벤류의 에스트로젠성을 비교분석 하였다. E2의 경우 $10^{-9}M$에서 가장 활성이 높게 관찰되었고, BPA의 경우 $10^{-7}M$에서 에스트로젠성이 가장 높았다. 파라벤의 경우 이소프로필파라벤이 $10^{-9}M$에서 $10^{-3}M$까지 시험하였을 때, 농도 의존적으로 에스트로젠성이 증가하였으며, $10^{-9}M$의 경우 가장 강력한 에스트로젠성을 보였다. 또한 양성대조군인 E2와 비교하였을 때, $10^{-7}M$에서 $10^{-3}M$까지의 이소프로필파라벤은 오히려 E2보다 높은 내분비계 장애작용이 검색되었다. 이소프로필파라벤을 제외한 나머지 파라벤류의 경우 $10^{-4}M$$10^{-5}M$의 프로필파라벤과 $10^{-3}M$$10^{-4}M$의 에틸파라벤에서 에스트로젠성이 관찰되었다. 또한 MCF-7세포주는 사람의 유방암 세포이면서 $ER{\alpha}$가 존재하여 에스트로젠 또는 에스트로젠 유사물질이 ER와 반응하여 세포의 성장을 유도하게 된다. 이번 연구에서 파라벤의 시험 이전에 이미 내분비계 장애물질로 널리 알려진 BPA와 체내에 존재하는 강력한 에스트로젠이면서 BPA보다 활성이 1000배정도 높다고 알려진 E2를 양성대조군으로 설정하여 MCF-7세포의 성장을 관찰하였다. 72시간동안 BPA와 E2를 다양한 농도로 MCF-7세포에 노출한 후 DNA 양을 측정하였더니, E2의 경우 $10^{-9}M$에서 대조군보다 약 2.5배의 세포성장을 관찰할 수 있었으며, BPA의 경우 $10^{-8}M$에서 대조군 보다 약 2.2배의 세포성장을 관찰할 수 있었다. 에틸파라벤의 경우 $10^{-7}M$에서 $10^{-4}M$까지 농도 의존적으로 MCF-7세포의 성장을 증가시켰고, $10^{-4}M$이 대조군에 비해 세포성장이 약 2.2배에 달하여 양성대조군과 비슷하면서 높은 에스트로젠 유사반응을 보였다. 프로필파라벤, 부틸파라벤, 이소부틸파라벤과 이소프로필파라벤의 경우 $10^{-5}M$의 농도에서 2배 이상의 세포성장이 유도되었고, 이소프로필파라벤의 경우 RPE값이 약 104%에 이르는 등, 내분비계 장애작용이 검색되었다. 한편, 본 연구팀은 ER에 대한 파라벤의 시험관 내 상경적 결합력을 측정하기 위해 $ER{\alpha}$$ER{\beta}$ competition binding assay kit를 사용하여 시험하였다. 이 시험법은 E2와 비교하여 파라벤류의 $ER{\alpha}$$ER{\beta}$에 반응하는 시험물질의 RBA(relative binding affinities) 값을 측정하였다. 파라벤의 $ER{\alpha}$ 상경적 결합시험의 경우. E2의 $IC_{50}$의 값이 $4.29{\times}10^{-9}$이었고, 이소부틸파라벤의 경우 $4.5{\times}10^{-7}$에 달하여 RBA값이 0.952가 계산되었다. 이전 연구에 의해 밝혀진 BPA의 경우 RBA값이 0.333인데 반하여, 이소부틸파라벤은 약 3배가 높은 내분비계 장애작용이 검색되었다. 파라벤의 $ER{\beta}$ 상경적 결합시험의 경우. $ER{\alpha}$와 마찬가지로 이소부틸파라벤이 $1.94{\times}10^{-7}M$$IC_{50}$값을 가지면서 RBA값이 0.471이 계산되었다. 이것은 파라벤이 $ER{\alpha}$$\beta$모두와 결합을 할 수 있고 E2와 경쟁적으로 결합을 할 수 있으며 이는 내분비계를 방해할 수 있다는 것을 다시 한번 뒷받침 해주고 있다. 덧붙여 본 연구팀의 결과는 이소부틸파라벤의 경우 경쟁적으로 결합하는 능력 또한 내분비계교란물질로 잘 알려진 BPA만큼의 능력을 가지고 있는 것으로 나타났다. 결론적으로 in vitro적 방법으로 파라벤류들의 에스트로젠성을 측정한 결과 이미 보고된 연구와 비슷하게 화학 구조적으로 더 길거나 분지된 알킬기를 가지는 파라벤일수록 에스트로젠성이 더 강하게 나타났다. 따라서, 식품이나 화장품 등의 보존제로 사용되는 이 화학물질의 과다한 노출은 정상적인 내분비계에 큰 영향을 미칠 가능성이 있다고 판단된다.

$BCl_3$ 계열 유도결합 플라즈마를 이용한 사파이어 기판의 식각 특성 (Plasma Etching Characteristics of Sapphire Substrate using $BCl_3$-based Inductively Coupled Plasma)

  • 김동표;우종창;엄두승;양설;김창일
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.363-363
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    • 2008
  • The development of dry etching process for sapphire wafer with plasma has been key issues for the opto-electric devices. The challenges are increasing control and obtaining low plasma induced-damage because an unwanted scattering of radiation is caused by the spatial disorder of pattern and variation of surface roughness. The plasma-induced damages during plasma etching process can be classified as impurity contamination of residual etch products or bonding disruption in lattice due to charged particle bombardment. Therefor, fine pattern technology with low damaged etching process and high etch rate are urgently needed. Until now, there are a lot of reports on the etching of sapphire wafer with using $Cl_2$/Ar, $BCl_3$/Ar, HBr/Ar and so on [1]. However, the etch behavior of sapphire wafer have investigated with variation of only one parameter while other parameters are fixed. In this study, we investigated the effect of pressure and other parameters on the etch rate and the selectivity. We selected $BCl_3$ as an etch ant because $BCl_3$ plasmas are widely used in etching process of oxide materials. In plasma, the $BCl_3$ molecule can be dissociated into B radical, $B^+$ ion, Cl radical and $Cl^+$ ion. However, the $BCl_3$ molecule can be dissociated into B radical or $B^+$ ion easier than Cl radical or $Cl^+$ ion. First, we evaluated the etch behaviors of sapphire wafer in $BCl_3$/additive gases (Ar, $N_2,Cl_2$) gases. The behavior of etch rate of sapphire substrate was monitored as a function of additive gas ratio to $BCl_3$ based plasma, total flow rate, r.f. power, d.c. bias under different pressures of 5 mTorr, 10 mTorr, 20 mTorr and 30 mTorr. The etch rates of sapphire wafer, $SiO_2$ and PR were measured with using alpha step surface profiler. In order to understand the changes of radicals, volume density of Cl, B radical and BCl molecule were investigated with optical emission spectroscopy (OES). The chemical states of $Al_2O_3$ thin films were studied with energy dispersive X-ray (EDX) and depth profile anlysis of auger electron spectroscopy (AES). The enhancement of sapphire substrate can be explained by the reactive ion etching mechanism with the competition of the formation of volatile $AlCl_3$, $Al_2Cl_6$ or $BOCl_3$ and the sputter effect by energetic ions.

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