We propose an improvement method for a $\underline{G}ate$$\underline{OX}ide(GOX)$ thinning at the edge of $\underline{S}hallow$$\underline{T}rench$$\underline{I}solation(STI)$, when STI is adopted to Dual Gate Oxide(DGOX) Process. In the case of SOC(System On-a-Chip), the DGOX process is usually used for realizing both a low and a high voltage parts in one chip. However, it is found that the severe GOX thinning occurs from at STI top edge region and a dent profile exists at the top edge of STI, when conventional DGOX and STI process carried out in high density device chip. In order to overcome this problem, a new DGOX process is tried in this study. And we are able to prevent the GOX thinning by H2 anneal, partially SiN liner skip, and a method which is merged a thick sidewall oxide(S/O) with a SiN pull-back process. Therefore, a good subthreshold characteristics without a double hump is obtained by the prevention of a GOX thinning and a deep dent profile.
We performed the geotechnical experiments of the hydraulic conductivity and compressive strength test with the stabilized soil in the laboratory, proved that it is useful to use the stabilized soil as an alternative for natural clay soil. Also, for mixing adding materials in the stabilized soil, it was determined that 1) the optimal mixing ratio of cement : bentonite : stabilizing agent was 90:60:1 of mass ratio(kg) for 1㎥ with soil, 2) it was also possible to use low quality bentonite(B\circled2) classified by swelling grade because of little difference from results of the hydraulic conductivity and compressive strength test with high quality bentonite(B\circled1). According to the results of the fixation ability of heavy metals(Pb$^{2+}$, Cu$^{2+}$, Cd$^{2+}$, Zn$^{2+}$) with soil and additives, authors can conclude that the higher pH condition had the more removal efficiency of heavy metals. B\circled1 and cement had especially high removal efficiency of heavy metals in a whole pH because of high alkalinity.alinity.
A lot of water is using in the paper mill for dilution, washing, sealing, and other process operation. As the regulation of water environment has been more tightened than ever before, water management in the paper mill becomes the most important task. Topics on reducing fresh water and increasing recycling water have been studied. Further, an interest in zero-effluent system has been increased. The pH of waste water in paper mill is usually weak acidic or neutral. The waste water in the paper mill includes water insoluble organic materials that are not easy to be dissolved in the water, inorganic materials that never react with water and chemical additives that are used to recycled fiber. This study investigated on the effect of various materials used in paper mill on COD. This data could be used to control the environmental load in paper mill. COD caused by raw materials and NBDCOD (Non Bio Degradable COD) after the activated sludge process are investigated in this study. Results obtained in this study can be used in a simulation program designed to control environmental load in the paper mill.
Ceramic femoral heads in the total hip replacement have been developed to reduce the polyethylene liner wear. Alumina and zirconia (3Y-TZP) are using in clinical application worldwide and there are many good test reports. However, alumina has a risk of catastrophic failure, and zirconia has the low temperature degradation in spite of enhanced fracture toughness. Recently, novel zirconia/alumina composite having low temperature degradation-free character and high fracture tough . was developed and it leads the lower wear 3f polyethylene than alumina and zirconia. In the present study, in order to optimise the microstructure of low temperature degradation (LTD)-free zirconia/alumina composite for the best wear resistance of polyethylene, various compositions of (LTD)-free zirconia/alumina composites were fabricated, and the sliding wear of UHMWPE against these novel composites were examined and compared with that against alumina and zirconia ceramics used for total hip joint heads.
Recently, waste landfills built on seashores have been increased because of the easy availability of broad area near the urban communities. To evaluate the performance of the marine clay landfill liner numerical contaminant transport analyses are performed by selecting the typical section of a waste landfill built on seashores and using hydraulic conductivity data obtained from the site. Also, the laboratory electrical resistivity test and the in-situ corrosion test are performed in order to analyze the influence of the soil and leachates composing the landfills on the construct ion materials. From the results of contaminant transport analyses, it is shown that the leachates can be migrated faster through narrow pervious channels than the wide homogeneous pervious tedium and the importance of good quality barriers to prevent the contaminant migration is recognized. In the laboratory electrical resistivity test all the earth materials except the cover soils saturated with distilled water have small resistivities, which shows a high potential of corrosivity of soils composing landfills. However, the degree of corrosion of specimens buried in the landfills was not so severe except the zinc and carbon steel specimens. This apparently conflict results present the necessity of the investigation of other major factors and the long term in-situ corrosion test.
In SRM drive, the ON OFF angles of each phase switch should be accurately controlled in order to control the torque and speed stably. The accuracy of the switching angles is dependent upon the resolution of the encoder and the sampling period of the microprocessor, that are used to provide the information of the rotor position and to control the SRM power circuit, respectively. However, as the speed increases, the amount of the switching angle deviation from the preset values is also increased. Therefore, the low cost encoder suitable for the practical and stable SRM drive is proposed and the control algorithm to provide the switching signals using the simple digital logic circuit is also presented in this paper. As a result, a stable high speed SRM drive can be achieved by the high resolution switching angle control and it is verified from the experiments that the proposed encoder and logic controller can be a powerful candidate for the practical low cost SRM drive.
It is of importance to determine the zero effective stress void ratio($e_{00}$), which is the void ratio at effective stress equal to zero, and the relationships of void ratio-effective stress and of void ratio-hydraulic conductivity for characterizing non-liner finite strain consolidation behavior for ultra-soft dredged materials. The zero effective stress void ratio means a transitional status from sedimentation to self-weight consolidation of very soft soil deposits, and acts as a starting point for self-weight consolidation in the non-linear finite strain numerical analysis such as PSDDF. In this paper, a new method for determining the zero effective stress void ratio has been introduced with the aid of measuring electrical resistivity of the specimen. A correlation between the zero effective stress void ratio and the initial slurry void ratio has been proposed, which can be used in PSDDF analysis as an input parameter. Combining all of the accessible experimental data, the consolidation characteristics of a dredged soil from the Incheon area has been studied in detail.
"Research and Development of Melt-Growth Composite (MGC) Ultra High Efficiency Gas Turbine System Technology" program has been started in JFY2001. The main objective of the program is to establish basic component technologies to apply MGC material to an efficient gas turbine system successfully. It is known that MGC material maintains its mechanical strength at room temperature up to about 2000 K, which is ideal for the high temperature gas turbine. The purposes of the present study are to develop the cooling structure of the gas turbine combustor liner where MGC material is applied as the heat shield panel, also to develop the low NOx combustion system for a 1970 K (1700 deg.C) class gas turbine combustor. To start with, basic heat transfer characteristics were investigated by one-dimensional calculation and heat transfer experiment for the cooling structure. Axially staged configuration and fuel preparation were investigated by CFD calculation and experiments for the low NOx combustor.
본 논문에서는 고체 로켓 추진기관에서 내열재 및 단열재로 사용되는 실리카/페놀릭 복합재료의 열 반응을 고려한 열전도 수치해석을 수행하였다. 고체 로켓 추진기관의 연소 중 실리카/페놀릭의 삭마와 열분해 과정을 고려한 열전도 해석을 위해 1차원 유한차분법을 이용하여 계산을 수행하였다. 노즐벽에서의 경계조건은 대류열전달계수를 고려하였으며, 이는 적분방정식을 이용하여 계산하였다. 삭마두께 및 숯깊이 해석결과는 목삽입재 평가 모터인 TPEM-10을 이용한 시험결과와 비교분석하였으며, 잘 일치하는 것을 확인할 수 있었다.
Various geosynthetics used as liners or the Protection layers are installed in the solid waste landfill. The interface shear strength between geosynthetics installed at the slope of the landfill is a very important variable for the safe design of bottom and cover systems in the solid waste landfill. The interface shear strengths between (1) Geomembrane(GM)/Geotexile(GT) and (2) Geomembrane(GM)/Geosynthetic Clay Liner(GCL) were estimated by a large direct shear test in this study and were evaluated by the Mohr-Coulomb failure criterion. Especially, this research is focused on the effect of water which exists between geosynthetics because interfaces become easily wet or hydrated by rain, leachate and groundwater beneath liners. The strength reduction at large displacement and the effects of the magnitude of normal stresses and GCL hydration methods also investigated. The test results showed that the interface shear strength and shear behavior varied depending upon the magnitude of normal stresses, water at the interface, and hydration methods. Summary of secant friction angles, which could be used as reference values at a site where similar geosynthetics are installed, together with normal stress and hydration condition are presented.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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