Influences of Plasma Treatment on the Electrical Characteristics of rf-magnefrom sputtered $BaTa_2O_6$ Thin Films
(플라즈마 표면 처리가 $BaTa_2O_6$ 박막의 전기적 특성에 미치는 효과에 관한 연구)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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- 제48권5호
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- pp.319-325
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- 1999