• Current Optics and Photonics
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• 제7권4호
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• pp.325-336
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• 2023

We review recent research related to shearing interferometry, reported over the last two decades. Shearing interferometry is categorized as azimuthal, radial, or lateral shearing interferometers by its fundamental principle to generate interference. In this review the research trends for each technique are provided, with a summary of experimental results containing theoretical background, the optical configuration, analysis, and perspective on its application fields.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.25-26
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• 2006

The method measuring the absolute position of a point diffraction source emitting a spherical wavefront in three-dimension is proposed. Two-dimensional interference of spherical wavefronts is used to overcome ambiguity of phase order. The spherical wavefront is explicated by Taylor series expansion, from which a radius of curvature of a spherical wavefront and its center position in three-dimension are obtainable. The spherical wavefront is reconstructed by a modified lateral shearing interferometer, which uses single-mode fiber as a point diffraction source.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1997년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.161-166
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• 1997

A improved method to measure the wavefront aberration of aspheric lens is described. In this study, which is a kind of lateral shearing interferometry, a sinusoidal diffraction grating is used for better quality of interferogram. Also,the grating is inclined to horizontal axis for obtaining the two orthogonal derivatives and minimizing moving error simultaneously. Measurement result shows that the repeatability is about 6 times better then that of previouse Ronchi Test.

• 한국광학회지
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• 제34권6호
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• pp.261-268
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• 2023

본 연구에서는 간단한 구조의 층밀림 간섭계 기반의 정량적 위상 이미징을 위한 미분 간섭 현미경 모듈을 제안한다. 제안하는 모듈은 복굴절성과 편광 광 분할기의 특성을 갖는 기하 위상 소자 중의 하나인 편광 격자를 이용하여 층밀림 간섭계 구조로 구성되고, 편광 카메라를 통해 획득된 4개의 편광 영상으로 정량적인 위상차 영상뿐만 아니라 일반적인 명시야 현미경 영상을 동시에 추출할 수 있다. 또한, 제안하는 모듈의 실시간 영상 획득 가능성, 안정성 및 소형화로 인해 기존의 현미경에 편리하게 적용할 수 있다. 제안하는 시스템을 검증하기 위해 다양한 시편에 대한 명시야 영상 및 위상차 영상을 획득하였고, 또한 이들 영상들을 합성하여 보다 가독성이 높은 시편 영상을 획득하였다.