Effect of a Laser Ablation on High Voltage Discharge Plasma Area for Carbon Nitride Film Deposition (고전압 방전 플라즈마에 의한 질화탄소 박막 증착 시 플라즈마 영역에 가한 레이저 애블레이션의 효과)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.15 no.6
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- pp.551-557
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- 2002