13.56MHz ICP에서 단일 탐침법에 의한 Ar, Ne 가스의 발광특성 연구 (A Study on Emission Characteristics of Ar, Ne Gas Using a Single Langmuir Probe Method in Radio-Frequency Inductively Coupled Plasma)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- pp.167-170
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- 2004