• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.81-81
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• 2013

반도체, LCD, MEMs 등 미세 전자소자의 제작과 깊은 관련이 있는 IT 산업은 자동차 산업과 함께 세계 경제를 이끌고 있는 핵심 산업이며, 그 발전 가능성이 크다고 할 수 있다. 이 중 반도체, LCD 공정 기술에 관해서 대한민국은 세계를 선도하여 시장을 이끌어 나가고 있는 실정이다. 이들의 공정기술은 주로 높은 수율(yield)을 기반으로 한 대량 생산 기술에 초점이 맞추어져 있기 때문에, 현재와 같은 첨예한 가격 경쟁력이 요구되는 시대에서 공정 기술 개발을 통해 수율을 최대한으로 이끌어 내는 것이 현재 반도체를 비롯한 미세소자 산업이 직면하고 있는 하나의 중대한 과제라 할 수 있다. 특히 반도체공정에 있어 발전을 거듭하여 현재 20 nm 수준의 선폭을 갖는 소자들의 양산이 계획 있는데 이와 같은 나노미터급 선폭을 갖는 소자 양산과 관련된 CD (critical dimension)의 감소는 공차의 감소를 유발시키고 있으며, 패널의 양산에 있어서 생산 효율 증가를 위한 기판 크기의 대형화가 이루어지고 있다. 또한, 소자의 집적도를 높이기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 요구하는 공정이 일반화됨에 따라 단일 웨이퍼 내에서의 공정의 균일도(With in wafer uniformity, WIWU) 및 공정이 진행되는 시간에 따른 균일도(Wafer to wafer uniformity)의 변화 양상에 대한 파악을 통한 공정 진단에 대한 요구가 급증하고 있는 현실이다. 반도체 및 LCD 공정에 있어서 공정 균일도의 감시 및 향상을 위하여 박막, 증착, 식각의 주요 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마의 균일도(uniformity)를 파악하고 실시간으로 감시하는 것이 반드시 필요하며, 플라즈마의 균일도를 파악한다는 것은 플라즈마의 기판 상의 공간적 분포(radial direction)를 확인하여 보는 것을 의미한다. 현재까지 플라즈마의 공간적 분포를 진단하는 대표적인 방법으로는 랭뮤어 탐침(Langmuir Probe), 레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence, LIF) 그리고 광섬유를 이용한 발광분광법(Optical Emission Spectroscopy, OES)등이 있으나 랭뮤어 탐침은 플라즈마 본연의 상태에서 섭동(pertubation) 현상에 의한 교란, 이온에너지 측정의 한계로 인하여 공정의 실시간 감시에 적합하지 않으며, 레이저 유도 형광법은 측정 물질의 제한성 때문에 플라즈마 내부에 존재하는 다양한 종의 거동을 살필 수 없다는 단점 및 장치의 설치와 정렬(alignment)이 상대적으로 어려워 산업 현장에서 사용하기에 한계가 있다. 본 연구에서는 최소 50 cm에서 최대 400 cm까지 플라즈마 내 측정 거리에서 최대 20 mm 공간 분해가 가능한 광 수광 시스템 및 플라즈마 공정에서의 라디칼의 상태 변화를 분광학적 비접촉 방법으로 계측할 수 있는 발광 분광 분석기를 접목하여 플라즈마 챔버 내의 라디칼 공간 분포를 계측할 수 있는 진단 센서를 고안하고 이를 실 공정에 적용하여 보았다. 플라즈마 증착 및 식각 공정에서 형성된 박막의 두께 및 식각률과 공간 분해발광 분석법을 통하여 계측된 결과와의 매우 높은 상관관계를 확인하였다.

• Korean Journal of Animal Reproduction
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• v.18 no.4
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• pp.265-274
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• 1995

가토 20마리의 혈액중 혈소판의 수를 수정 전후로 조사한 결과, 수정전과 비교하여 수정후 1일부터 유의하게 감소하였으며 (26.84%, P<0.01), 이러한 감소는 수정후 5일까지 계속되었다. 수정후 5일동안 혈소판의 감소율과 혈소판의 최저치를 수정란의 수와 비교한 바, 이들간의 유의한 상관관계(r=0.5032)가 있었다. 가토수정란 (2세포기) 각각 30∼40개를 5마리의 비장적출수란가토의 난관에 이식한 다음, 혈소판수의 변화를 조사한 결과, 이식전에 비해 이식후 90분 (P<0.025)과 135∼270분 (P<0.025)에 유의한 감소를 확인하였따. 특히 수정란 이식후 180분경에 가장 크게 감소하였다 (P<0.001). 60∼70개의 2세포기 가토수정란을 24시간 배양한 다음, 배양액을 3마리의 비장적출가토에 주사한 후 혈소판의 변화를 조사하였을 때, 주사후 120분경부터 혈소판의 수가 유의하게 감소하기 시작하였다. 이들 배양액을 동결, 해동한 다음 주사한 실험에서도 유사한 결가를 얻었다. 또한 이 배양액을 비장적출생쥐에 주사한 경우에도 가토에서와 마찬가지의 혈소판 촉진현상이 나타났다. 혈소판 촉진인자(PAF)의 길항제인 kadsurenone이 첨가된 배양액에서 24시간동안 가토수정란을 배양한 다음, 이 배양액을 4마리의 비장적출생쥐에 주사한 결과, 혈소판수의 변화가 일어나지 않았다. 또한 kadsurenone이 첨가된 배양액에서는 2세포기 가토수정란의 상실기와 배반포기까지 발달율은 각각 4와 7%로 대조구의 7과 49%보다 유의하게 낮았다. 따라서 본 연구에서 가토의 초기배는 가토나 생쥐의 혈소판수를 감소시키고, 특히 길항제 처리는 이러한 혈소판 감소현상을 억제시킬 뿐만 아니라 가토 초기배발달을 억제한다는 것을 확인하였다. 결론적으로 가토초기배에서는 PAF 또는 수정란 유래의 PAF가 분비된다는 것을 알 수 있었으며, 이러한 인자는 동결처리에서도 그 기능은 전혀 변하지 않는다고 본다. 이후에 있어서 mouse LIF의 첨가는 돼지의 수정란을 배반포 이후의 단계에까지 발달시킬 수 있었다. 있어서 더 적합한 것으로 판단되었다. 5. 개발된 모형은 논 관개의 물리적 측면과 관리목표 모두를 고려한 것으로 계산된 효율은 벼, 생육 각 단계에서의 효율 비교에 양호한 방법임을 알 수 있다.은 Sharpsburg 점질양토에 대한 S.C.S 한계허용치 10ton/ha/year 이내로 나타났다. 비처리구에서의 토양유실량은 평균 2.56ton/ha/year로 높게 나타난 반면 3개의 서로 다른 추리구인 비수구, 초생수로구 및 Bromegrass구에서는 각각 0.152, 0.192 및 0.290ton/ha/year로 낮은 결과를 가져왔다. 6. 평균 침전량에 대한 L.S.D. 검정 걸과 전시험구중 비처리구가 고도의 유의차를 나타낸 반면 비수구, 초생수로구 및 Bromegrass 목초구 간에는 아무런 유의차가 인정되지 않았다. 7. 농지보전 처리구인 배수구와 초생수로구는 비처리구에 비해 낮은 침두 유출량과 낮은 토양유실량을 나타내었다.구보다 14% 절감되는 것으로 나타났다.작용하는 것으로 사료된다.된다.정량 분석한 결과이다. 시편의 조성은 33.6 at% U, 66.4 at% O의 결과를 얻었다. 산화물 핵연료의 표면 관찰 및 정량 분석 시험시 시편 표면을 전도성 물질로 증착시키지 않고, Silver Paint 에 시편을 접착하는 방법으로도 만족한 시험 결과를 얻을 수 있었다.째, 회복기 중에 일어나는 입자들의 유입은 자기폭풍의 지속시간을 연장시키는 경향을 보이며 큰 자기폭풍일수록 현저했다. 주상에서 관측된 이러한 특성은 서브스톰 확장기 활동이 자기폭풍의 발달과 밀접한 관계가 있음을 시사한다.se that were all low in two aspects, named "the Nonsignificant group". And the issues were high risk perception in general

• IMMUNE NETWORK
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• v.1 no.1
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• pp.87-94
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• 2001

Background: Cytokine-mediated ex vivo expansion has been proposed as a means of increasing the number of cord blood (CB) hematopoietic stem cells for transplantation. As well as stem cell number, stromal cells are necessary for functional maturation of hematopoiesis. The purpose of this study was to analyze the development of stromal cells during ex vivo expansion of CB $CD34^+$ cells. Methods : $CD34^+$ cells were purified from CB by magnetic bead selection. The levels of of interleukin-3, interleukin-$1{\beta}$, interleukin-6, granulocyte macrophagecolony stimulating factor and tumor necrosis factor-${\alpha}$ were measured in culture supernatants on 0, 1, 2, and 3 weeks, using ELISA techniques. CB $CD34^+$ cells were expanded in Iscoves modified Dulbeccos medium in the presence of several cytokines. The expression of E-selectin, vascular cell adhesion molecule-1, intercellular adhesion molecule-1, platelet/endothelial cell adhesion molecule-1, von Willebrand factor, vimentin, and CD14 in newly developed stromal cells was examined by immunocytochemical method. Relevant extracellular matrix (ECM) proteins and proper cytokines were also assayed for the most suitable condition for expansion of stromal cells. Results: Several cytokines were found to have been produced by CB $CD34^+$ cells as well as bone marrow-derived $CD34^+$ cells. During ex vivo expansion of CB $CD34^+$ cells, stromal cells appeared in the culture by day 4 and expanded over the following 7-10 days before being confluent by day 2 1. These cells expressed surface markers characteristic of cells of endothelial lineage. Furthermore, these stroaml cells also expanded effectively when treated with thrombopoietin+flt-3 ligand+stem cell factor+leukemia inhibitory factor or 0.1% poly-L-lysine-coated wells. Conclusion: Stromal cells were developed during ex vivo expansion of CB $CD34^+$ cells and that this development could be enhanced further by treating the stromal cells with cytokines or ECM.

• The Journal of Korean Society for Radiation Therapy
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• v.21 no.2
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• pp.67-74
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• 2009

Purpose: To evaluate the results of absorbed and effective doses using two different modes, standard mode (A-mode) and low-dose mode (B-mode) settings for prostate cancer IGRT from CBCT. Materials and Methods: This experimental study was obtained using Clinac iX integrated with On Board Imager (OBI) System and CBCT. CT images were obtained using a GE Light Speed scanner. Absorbed dose to organs from ICRP recommendations and effective doses to body was performed using A-mode and B-mode CBCT. Measurements were performed using a Anderson rando phantom with TLD-100 (Thermoluminescent dosimeters). TLD-100 were widely used to estimate absorbed dose and effective dose from CBCT with TLD System 4000 HAWSHAW. TLD-100 were calibrated to know sensitivity values using photon beam. The measurements were repeated three times for prostate center. Then, Evaluations of effective dose and absorbed dose were performed among the A-mode and B-mode CBCT. Results: The prostate absorbed dose from A-mode and B mode CBCT were 5.5 cGy 1.1 cGy per scan. Respectively Effective doses to body from A mode and B-mode CBCT were 19.1 mSv, 4.4 mSv per scan. Effective dose from A-mode CBCT were approximately 4 times lower than B-mode CBCT. Conclusion: We have shown that it is possible to reduce the effective dose considerably by low dose mode(B-mode) or lower mAs CBCT settings for prostate cancer IGRT. Therefore, we should try to select B-mode or low condition setting to decrease extra patient dose during the IGRT for prostate cancer as possible.