• 제목/요약/키워드: LCO thin film

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The Effect of the Plasma Treatment in ITO Film to reduce impurities in LCOS Imager

  • Kim, Joo-Hyung;Kim, Sang-Ha;Cho, Chul-Sik
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2002년도 International Meeting on Information Display
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    • pp.541-544
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    • 2002
  • The reflective liquid crystal(LC) imager in one panel Liquid Crystal on Silicon(LCoS) System must have the properties such as fast response time, high contrast ratio(C/R) and voltage holding ratio(VHR) which are more related to the lifetime of imager than the others. As the high-output light including a short wavelength from UHP lamp is exposed to LCoS imager, the indium metal impurities, which decrease the C/R and VHR, are diffused from ITO thin film on glass. To ensure the high reliable LCoS imager for HD projection TV, we have studied the effects of the plasma treatment on ITO film to reduce impurities in imager.

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플라스틱 필름 LCD용 연성 박막 다이오드 소자 제작 (Fabrication of Flexible Thin Film Diode Devices for Plastics film LCO)

  • 이찬재;홍성제;한정인;김원근
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.218-221
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    • 2002
  • We have successfully developed the high performance flexible thin film diode device for flexible plastic film LCD. For flexible LCD, TFD device must be normally operated under any deformation state. Two type devices, Ti/Ta$_2$O$\sub$5//Ta and Al/Ta$_2$O$\sub$5//Al were fabricated and the symmetry and reliability of those were estimated under various measurement conditions including severely bending states.

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(La,Sr)CoO₃/Pb(Zr,Ti)O₃/(La,Sr)CoO₃박막 캐패시터의 비대칭성의 전극 의존성 (Electrode Dependence of Asymmetric Behavior of (La,Sr)CoO₃/Pb(Zr,Ti)O₃/(La,Sr)CoO₃ Thin Film Capacitors)

  • 최치홍;이재찬;박배호;노태원
    • 한국세라믹학회지
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    • 제35권7호
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    • pp.647-647
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    • 1998
  • 비대칭적인 전극 구조를 가지는 Pb(Zr,Ti)$O_3$(PZT) 박막의 비대칭적인 스위칭 특성을 연구하기 위해 Pulsed Laser Deposituin(PLD)방법으로 $LaAlO_3$ 기판 위에 (La,Sr)$CoO_3$/Pb(Zr,Ti)$O_3$/(La,Sr)$CoO_3$(LSCO) 다층구조를 성장시켰다. PZT 박막 캐시터의 전극이 모두 같은 조성일 때, 즉 $(La_0.5Sr_0.5)CoO_3$(LSCO)일 때 PZT 박막의 이력곡선은 대칭성을 보여주고 있다. 그러나 산화물 전극의 조성이 변할 때 PZT 박막 캐패시터는 비대칭성을 보여주고 있다. $LaCoO_3(LCO)$를 상층 전극, $La_0.5,Sr_0.5)CoO_3$(LSCO)를 하층 전극으로 사용하였을 때 이력 곡선은 음의 방향으로 분극된 상태가 불안정 하여 음의 잔류 분극의 완화 현상을 보여준다. 반면 상층 전극이 LSCO, 하층 전극이 LCO인 PZT 박막 캐패시터는 양의 방향의 분극 상태가 불안정하여 양의 잔류 분극이 완화현상을 보여준다. 이러한 이력 곡선의 완화 현상은 LCO/PZT 계면에서의 전자 밴드 구조의 변형에 의한 내부 전계의 형성 때문이라 생각할 수 있다. 내부 전계는 LCO/PZT와 LSCO/PZT 계면에서의 전자 밴드 구조의 변형에 의한 내부 전계의 형성 때문이라 생각할 수 있다.내부 전계는 LCO/PZT 계면에서의 인가된 전압 강하 차이에 의해 발생되며 전압 강하는 각각의 계면에서 0.6V와 -0.12V의 크기를 갖는다.

Photoalignment of Liquid Crystal on Silicon Microdisplay

  • Zhang, Baolong;Li, K. K.;Huang, H. C.;Chigrinov, V.;Kwok, H. S.
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display
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    • pp.295-298
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    • 2003
  • Reflective mode liquid crystal on silicon (LCoS) microdisplay is the major technology that can produce extremely high-resolution displays. A very large number of pixels can be packed onto the CMOS circuit with integrated drivers that can be projected to any size screen. Large size direct-view thin film transistor (TFT) LCDs becomes very difficult to make and to drive as the information content increases. However, the existing LC alignment technology for the LCoS cell fabrication is still the mechanical rubbing method, which is prone to have minor defects that are not visible normally but can be detrimental if projected to a large screen. In this paper, application of photo-alignment to LCoS fabrication is presented. The alignment is done by three-step exposure process. A MTN $90^{\circ}$ mode is chose as to evaluate the performance of this technique. The comparison with rubbing mode shows the performance of photo-alignment is comparable and even better in some aspect, such as sharper RVC curve and higher contrast ratio.

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