• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2004.05a
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• pp.138-146
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• 2004

현재 반도체 및 LCD 제조분야에 적용되는 공정장비, 이송시스템에는 고성능, 고생산성이 요구되고 있는 추세이다 기존의 선형이송시스템은 구동원으로 서보모터(Servo Motor)를 사용하고 있으며, 기계적 동력전달장치를 사용하여 직선운동을 하는 구조로 되어있어 마찰소음, Position Error 등의 발생요인이 많은 단점을 가지고 있다. 반면에 선형전동기(Linear Motor)를 이송시스템의 구동원으로 사용하면 기계적 동력전달장치가 생략되어 기존의 선형이송시스템이 가지고 있는 단점들의 개선효과가 크며 유지보수면에서도 유리한 점이 많다. 본 연구에서는 2,500[N]급 영구자석 여자 횡자속 선형전동기를 설계, 개발하였으며, 이를 적용한 추진모듈을 개발하였다. 본 연구에서 개발된 횡자속 선형전동기 적용 추진모듈은 LCD 제조분야의 Stocker, RGV, Index, OHS, OHT 등을 비롯하여 타 산업분야의 선형이송시스템으로의 가능하다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.07a
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• pp.960-961
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• 2008

본 논문에서는 직선 및 곡선구간에서 구동력을 필요로 하는 LCD 패널 생산라인의 이송장비인 OHS 시스템에 적용이 가능한 횡자속 선형전동기의 제어에 관하여 기술한다. OHS 시스템은 클린룸 내에서 이송대차가 천장에 레일과 함께 설치되어 장거리의 직선 및 곡선 이송경로를 가지는 LCD 패널 물류 이송장치이다. 기존 선형전동기들은 그 구조상 곡선구간 구동원으로 적용하기 어렵고, 장거리 이송용으로 사용하기에 상당한 가격적인 부담이 발생된다. 따라서 본 논문에서는 상대적으로 다른 선형전동기와 비교하여 가격적인 부담이 적고, 곡선구간에서 구동력을 발휘할 수 있는 횡자속 선형전동기를 OHS 시스템에 적용하고, 선형전동기의 곡선구간에서의 출력특성을 분석하며, 이동자의 위치검출 방법 및 제어 알고리즘을 제안한다. 제안한 방법은 실제 제작된 OHS 실험장치를 통하여 제어특성을 검증한다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.1135-1136
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• 2011

본 논문은 LCD 원판 Glass 이송용 4,000[N]급 영구자석 여자 횡자속 선형전동기를 설계하고 해석을 통해 성능을 검토하였다. 실험계획법을 활용하여 횡자속 선형전동기의 형상을 이루는 설계변수들이 추력과 추력리플에 미치는 평균분석을 통해서 민감도분석을 수행하였다. 본 연구에서 개발된 횡자속 선형전동기 적용 추진모듈은 LCD 제조 분야의 원판 Glass 이송용으로 선형이송 시스템에 적용하고자 한다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.23 no.3 s.180
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• pp.110-117
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• 2006

This paper presents the acceleration optimization of a high-speed LCD (Liquid Crystal Display) transfer system for the minimization of vibration. To reduce vibration is one of key requirements for the dynamic control of a high-speed LCD transfer system. In this paper, the concept of finite jerk (the first derivative of acceleration) has been introduced for realizing input acceleration. The profile of finite jerk has been optimized using a genetic algorithm so that vibration effect can be minimized. In order to incorporate a genetic algorithm, the dynamic model of a LCD transfer system which is realized by using the ADAMS software has been linked to the simulation system constructed by the MATLAB. The simulation results illustrated that the duration of finite jerk can be optimized so as to minimize the magnitude of vibration. It has been also shown that the acceleration optimization with finite jerk can make the high-speed motion of a LCD transfer system result in low vibration, compared with the conventional motion control with trapezoidal velocity profile.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.10 no.1
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• pp.39-45
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• 2009

The CRT(Cathode Ray Tube) displays have been substituted for FPDs(Flat Panel Displays) such as LCD(Liquid Crystal Display) and PDP(Plasma Display Panel) because they have a convex surface, large volume and heavy weight. The productivity of FPDs is greatly dependent on the area of thin glass panel with $0.6{\sim}0.8mm$ thickness because FPDs are manufactured by cutting a large-scaled thin glass panel with patterns to the required product dimensions. So FPD's industries are trying to increase the area of thin glass Panel. Through FEM(Finite Element Method) analysis and fluid analysis, we developed an non-contact and air-floating conveyor system which consists of transport-module, distributor, horizontal/vertical changer and controller for the 7th generation glass panel (2,200mm in width, 1,870mm in length and 0.7mm in thickness). The design technology developed in this study can be effectively applied to a conveyor system for a larger-scaled thin glass panel.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.861_862
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• 2009

본 논문은 LCD 생산라인의 물류 자동화 시스템 중 OHS(Over Head Shuttle)을 분기가 되도록 하여, 이송 효율을 높이고, 이송거리를 단축시키기 위한 선형 이송시스템에 적용이 가능한 영구자석 여자 횡자속 선형 전동기 개발에 관한 내용이다. 3차원 FEM 해석과정특성 실험을 통해 전동기의 특성을 분석하여, 직선-곡선 레일과 분기구간에서 이송 가능한 횡자속 선형전동기 추진모듈의 사양을 결정하고 시작품을 설계, 제작하여 OHS 시스템 등의 이송시스템에 적용 가능한지 그 타당성을 검토하였다.

• KIPE Magazine
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• v.12 no.2
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• pp.50-55
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• 2007

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2005.06a
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• pp.1906-1909
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• 2005

This paper presents the acceleration optimization of a high-speed LCD (Liquid Crystal Display) transfer system for the minimization of vibration. To reduce vibration is one of key requirements for the dynamic control of a high-speed LCD transfer system. In this paper, the concept of finite jerk (the first derivative of acceleration) has been introduced for realizing input acceleration. The profile of finite jerk has been optimized using a genetic algorithm so that vibration effect can be minimized. In order to incorporate a genetic algorithm, the dynamic model of a LCD transfer system which is realized by using the $ADAMS^{(R){$ software has been linked to the simulation system constructed by the $MATLAB^{(R)}$. The simulation results illustrated that the duration of finite jerk can be optimized so as to minimize the magnitude of vibration. It has been also shown that the acceleration optimization with finite jerk can make the high-speed motion of a LCD transfer system result in low vibration, compared with the conventional motion control with trapezoidal velocity profile.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.32 no.5
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• pp.451-457
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• 2008

Flat Panel Display(FPD) is widely used a video display terminals to consumer products of LCD and PDP. The contamination and damage were affected by using the previous contact conveyor's method. In this paper, it analyzes the FPD deflection to develop the non-contact FPD transfer process using lift force. Each conveyor's equipment is called a horizontal conveyor, vertical conveyor and robot pick-up equipment. As result of an analysis of FPD panel's deflection, a robot pick-up equipment has performed according to under the present conditions like panel's weight and loaded glass to move FPD panel from one place to other places properly. Results of the analysis showed 0.474 mm, 0.424 mm and 1.237 mm. Those values are lower than a predicted optimum values : 2 mm for both horizontal and vertical conveyers; 5 mm for robot pick-up equipment. Therefore, those results verify each equipment have safety and reliability.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2007.06a
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• pp.51-55
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• 2007

본 논문은 LCD 생산라인의 물류 자동화 시스템 중 컨베이어와 같은 선형 이송시스템에 적용이 가능한 영구자석 여자 횡자속 선형전동기 개발에 관한 내용이다. 3차원 등가 자기 회로망법을 이용한 해석과 3축 Load Cell을 이용한 정특성 실험을 통해 횡자속 선형전동기의 특성을 비교, 분석하여 물류 이송이 가능한 횡자속 선형전동기 추진모듈의 사양을 결정하였고, 시작품을 설계, 제작하여 컨베이어 시스템 등의 이송시스템에 적용 가능성 및 그 타당성을 검토하였다.