• Title/Summary/Keyword: KLA

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A Survey and Analysis of Current Collection Management State in School Libraries (학교도서관의 장서관리 현황조사 및 분석)

  • Kim, Sung-Jun;Lee, Byeong-Ki
    • Journal of Korean Library and Information Science Society
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    • v.48 no.1
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    • pp.21-42
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    • 2017
  • This study reports the result of the survey on collection management from 154 school libraries in Korea. The questionnaire is consisted of three section: state of collection, state of book use, and collection management system. Results reveal that (1) elementary schools and middle schools have many books for each student compared to the KLA's School Library Standards; (2) the component ratio of literature books is the biggest in school library collections; (3) the ratio of library book use is overwhelmingly higher in elementary schools than middle schools and high schools; (4) 64.6 percent of library books in the sample are never used during 2013-2015; (5) 74 percent of libraries have its own collection management document; (6) Almost all schools compose its own committee for library management, the committee plays an important roles in the communication among school members, collection development and promotion.

이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정개발에 대한 연구

  • Kim, Min-Su;Kim, Hyeok-Min;Gang, Bong-Gyun;Lee, Seung-Ho;Jo, Byeong-Jun;Jeong, Ji-Hyeon;Park, Jin-Gu
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2010.05a
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    • pp.58.2-58.2
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    • 2010
  • FPD (Flat Panel Display) 제조 공정에서 사용되는 패턴은 수 ${\mu}m$ 수준까지 감소하였으며, FPD의 크기는 급격하게 대형화 되여 현재 8세대(2200mm*2500mm)에 이르고 있다. 이에 따라, $1\;{\mu}m$ 이상의 크기를 갖는 오염입자에 의한 수율 저하를 극복하기 위한 세정효율의 향상 및 다량의 초순수 사용에 따른 폐수 발생으로 인한 환경오염, 또한 장비의 크기에 따른 공간 효용성 감소와 이에 따른 공정 비용의 증가 등의 어려움에 직면하고 있다. 따라서, 현장에서는 고효율, 저비용의 세정 공정 기술 개발에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 문제점들을 해결 하고자 이류체 노즐 세정 장치와, 화학액 린스를 위한 초순수 Spray, 건조 공정에 해당하는 Air-knife, Halogen lamp로 구성된 소형화 된 고속 FPD(Flat Panel Display) 세정기에 대한 연구를 진행 하였다. 이류체 노즐은 초순수와 $N_2$ 가스를 내부에서 혼합하여 액적(Droplet)을 형성하여 고압으로 분사시키는 장치로서 화학액을 사용하지 않고 물리적인 방법으로 오염입자를 제거한다. Spray는 유기 오염입자 제거를 위한 오존수의 린스 공정을 위해 설치 하였다. 세정 후 표면에 남아있는 기판의 액막(water film)은 고압의 가스를 분사하는 Air-knife를 통해 제거하였으며, 고속 공정시 발생할 수 있는 Air-knife에서 제거하지 못한 잔류 액막을 Halogen lamp를 사용하여 효과적으로 제거함으로써, 물반점(water mark) 없는 건조 공정을 얻을 수 있었다. 실험에는 미세 입자의 정량적인 측정을 위하여 유리 기판 대신에 6인치 실리콘 웨이퍼(P-type (100))를 사용하였으며, > $\;1{\mu}m$ 실리카 입자를 스핀방식을 사용하여 정량적으로 균일하게 오염하였으며, 오염물의 개수 및 분포는 파티클 스캐너 (Surfscan 6200, KLA-Tancor, USA)를 사용하여 분포 및 개수를 정량적으로 측정 하였다. 이류체 노즐은 $N_2$ 가스의 압력과 초순수의 압력을 변화시켜 측정하여, 각각 0.20 MPa, 0.01 MPa에서 최적의 세정 결과를 얻을 수 있었으며, 건조 효율은 Air-Knife의 입사 각도와 건조면 간격, 할로겐 램프의 온도를 조절 하여 최적의 조건을 얻을 수 있었다.

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The Characterization of New Type of Alkaline Fuel Cell using Hydrogen Storage Alloys (수소저장합금을 이용한 신개념의 알칼라인 연료전지의 특성에 관한 연구)

  • Kim, Jin-Ho;Lee, Ho;Lee, Han-Ho;Lee, Paul S.;Lee, Jal-Young
    • Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
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    • v.13 no.2
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    • pp.135-142
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    • 2002
  • 본 연구는 Chemical hydride 형태의 수소발생제를 포함한 액체연료를 이용한 신개념의 알칼라인 연료전지의 특성을 분석하였다. Chemical hydride는 연료전지의 수소공급원으로써 사용될 수 있으며, 본 연구팀은 KOH 전해질에 수소발생제인 Sodium Borohydride ($NaBH_4$)를 첨가하여 제조된 액체연료를 알칼라인 연료전지에 공급함으서 상온에서 매운 우수한 전기 화학적 성능결과를 얻을 수 있었다. 이때 음극 찰물질로 $ZrCr_{0.8}Ni_{1.2}$ 수소저장합금이 사용되었으며, 양극은 방수처리된 카본지 위에 분산된 Pt/C 가 사용되었고, air가 latm으로 양극에 공급되었다. 음극에 대한 XRD 분석결과 음극에서의 산화에 의해 Sodium Borohydride ($NaBH_4$)가 분해되어 수소가 발생되며, 연속적으로 액체연료가 주입되어도 전지가 작동하는 것을 확인할 수 있었다. 이때 에너지밀도는 6,000 Ah/kg (for $NaBH_4$ or $KBH_4$)이다.

A morphologic evaluation of defects created by a piezoelectric ultrasonic scaler on casting gold alloy (압전방식초음파치석제거기의작업조건에따른치과주조용합금의삭제결손부 양상에 관한 고찰)

  • Kim, Young-Sung;Kim, Soo-Hwan;Kim, Won-Kyung;Lee, Young-Kyoo
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • v.39 no.4
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    • pp.385-390
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    • 2009
  • Purpose: In this study we evaluated the morphologic aspects of defects created by a piezoelectric ultrasonic scaler with scaler tip on casting gold alloy using scanning electron microscope (SEM) images and defect surface profiles. Methods: 54 blocks of type III casting gold alloy (Firmilay, Jellenko Inc, CA, USA) were scaled by a piezoelectric ultrasonic scaler (P-MAX, Satelec, France) with scaler tip (No. 1 tip) on a sledge device. 2-dimensional profiles of defects on all samples were investigated by a surface profilometer (a-Step 500, KLA-Tencor, CA, USA). The selected working parameters were lateral force (0.5 N, 1.0 N, 2.0 N), mode (P mode, S mode), and power setting (2, 4, 8). SEM images were obtained. Defect surface profiles were made on Microsoft Excel program using data obtained by a surface profilometer. Results: Among P mode samples, there were similarities on defect surface profiles and SEM images regardless of lateral force. The defects created in P mode were narrow and shallow although the depth and the width increased as power setting changed low (2) to high (8). In P mode samples, the defect depth was the greatest when lateral force of 0.5 N was applied. However all the depths were smaller than 1 m. SEM images of Lateral force of 0.5 N, S mode, power setting 2 and 4 were similar to that of P mode, but the other SEM images of S mode showed discernible changes. Defect depth of S mode samples was the greatest when lateral force of 1.0 N was applied. Conclusions: Within the limitations of this study, it can be concoluded that removing capability of piezoelectric scaler with scaler tip becomes maximized as power level becomes higher but the capability is restricted when excessive lateral force is applied on scaler tip.

The design of an ejector type microbubble generator for aeration tanks

  • Lim, Ji-Young;Kim, Hyun-Sik;Park, Soo-Young;Kim, Jin-Han
    • Membrane and Water Treatment
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    • v.10 no.4
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    • pp.307-311
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    • 2019
  • The ejector type microbubble generator, which is the method to supply air to water by using cavitation in the nozzle, does not require any air supplier so it is an effective and economical. Also, the distribution of the size of bubbles is diverse. Especially, the size of bubbles is smaller than the bubbles from a conventional air diffuser and bigger than the bubbles from a pressurized dissolution type microbubble generator so it could be applied to the aeration tank for wastewater treatment. However, the performance of the ejector type microbubble generator was affected by hydraulic pressure and MLSS(Mixed Liquor Suspended Solid) concentration so many factors should be considered to apply the generator to aeration tank. Therefore, this study was performed to verify effects of hydraulic pressure and MLSS concentration on oxygen transfer of the ejector type microbubble generator. In the tests, the quantity of sucked air in the nozzle, dissolved oxygen(DO) concentration, oxygen uptake rate(OUR), oxygen transfer coefficient were measured and calculated by using experimental results. In case of the MLSS, the experiments were performed in the condition of MLSS concentration of 0, 2,000, 4,000, 8,000 mg/L. The hydraulic pressure was considered up to $2.0mH_2O$. In the results of experiments, oxygen transfer coefficient was decreased with the increase of MLSS concentration and hydraulic pressure due to the increased viscosity and density of wastewater and decreased air flow rate. Also, by using statistical analysis, when the ejector type microbubble generator was used to supply air to wasterwater, the model equation of DO concentration was suggested to predict DO concentration in wastewater.

Removal of Volatile Organic Compounds using Candida tropicalis Immobilized on Polymer Gel Media in an Airlift Loop Bioreactor (Candida tropicalis 포괄고정 담체를 적용한 Airlift Loop Bioreactor에서의 복합 휘발성유기화합물 제거)

  • NamGung, Hyeong-Kyu;Ha, Jeong-Hyub;Hwang, Sun-Jin;Song, Ji-Hyeon
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.31 no.8
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    • pp.603-610
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    • 2009
  • This research was performed to improve removal efficiency of toluene and methyl ethyl ketone (MEK) using Candida tropicalis, one of the yeast species. An airlift loop bioreactor (ALB) was employed to enhance the capability of mass transfer for toluene and MEK from the gas phase to the liquid, microbial phase. Polymer gel media made from PAC, alginate and PEG was applied for the effective immobilization of the yeast strain on the polymer gel media. The experimental results indicated that the mass transfer coefficient of toluene without polymer gel media was 1.29 $min^{-1}$ at a gas retention time of 15 sec, whereas the KLa value for toluene was increased to 4.07 $min^{-1}$ by adding the media, confirming the enhanced mass transfer of volatile organic compounds between the gas and liquid phases. The removal efficiency of toluene and MEK by using yeast-immobilized polymer gel media in the ALB was greater than 80% at different pollutant loading rates (5, 10, 19 and 37 g/$m^3$/hr for toluene, 4.5, 8.9, 17.8 and 35.1 g/$m^3$/hr for MEK). In addition, an elimination capacity test conducted by changing inlet loading rates stepwise demonstrated that maximum elimination capacities for toluene and MEK were 70.4 and 56.4 g/$m^3$/hr, respectively.

친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

  • Jeong, Ji-Hyeon;Gang, Bong-Gyun;Kim, Min-Su;Lee, Jong-Myeong;Lee, Gyu-Pil;Park, Jin-Gu
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.66.1-66.1
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    • 2011
  • 반도체를 비롯하여 LCD, OLED와 같은 디스플레이 (FPD: Flat Panel Display) 분야는 국가 선도 사업으로써 발전을 거듭해오고 있다. 하지만 기술의 성숙도가 높아짐에 따라 최근 중국과 대만 업체와의 경쟁이 심화되고 있으며, 더불어 환경문제가 큰 이슈로 떠오르고 있어 신기술 개발을 통한 생산 수율 향상 및 친환경 공정 개발의 중요성이 커지고 있다. 반도체, 디스플레이 공정에서 생산 수율 저하의 주요 원인으로써 공정 중 발생하는 미세 오염 입자를 들수 있다. 반도체 및 디스플레이 공정에서 세정 기술은 전체 기술의 30% 이상을 차지하며 생산 수율 및 제품의 품질에도 큰 영향을 주는 공정이다. 세정 공정은 일반적으로 습식 세정 공정이 낮은 공정비용을 바탕으로 널리 적용되어 왔으나, 기판의 대형화와 패턴의 미세화에 따라 정밀한 세정 스펙이 요구되며 더불어 막대한 양의 초순수와 화학액의 사용으로 인한 공정비용 증가와 환경 규제 강화에 따른 폐수 처리의 문제에 직면하고 있다. 이에 따라 폐수의 양을 줄이며 건조공정을 필요로 하지 않아 공정비용을 줄일 수 있는 건식 세정 공정에 대한 연구가 활발히 진행 되고 있다. $CO_2$ snow jet 세정 기술은 건식 공정으로써 $CO_2$ 가스를 특수하게 제작된 분사 노즐에서 고압으로 가스를 분사하여 이 때 발생되는 순간적인 감압에 의한 단열 팽창으로 생성된 $CO_2$ snow 입자가 기판 표면의 오염물과 물리적 충돌을 하어 세정이 이루어지는 기술이다. 특히 $CO_2$ 세정은 환경과 인체에 무해하며 공정 후 바로 승화하기 때문에 추가적인 폐수처리 공정 등이 필요하지 않고, 건식 공정으로써 수세(Rinse) 공정을 필요로 하지 않기 때문에, 공정비용을 크게 줄일 수 있으며 물반점 발생을 방지 할 수 있는 친환경 건식 공정으로써의 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 자체적으로 개발한 $CO_2$ snow jet을 바탕으로 하여 다양한 공정조건을 변화시켜 세정효율을 측정하는 한편, 최적화 하기 위한 연구를 진행하였으며 더불어 $CO_2$ snow의 세정력을 정량적으로 평가하기 위한 연구를 진행하였다. 실험을 통해 가장 효과적으로 $CO_2$ snow 입자를 배출 할 수 있는 공정 조건으로써 5 bar의 캐리어 가스 압력을 사용하여, 세정력에 가장 큰 영향을 줄 수 있는 분사 노즐과 기판 사이의 거리 및 분사 노즐의 각도 등을 변화시켜 각 조건에 따른 세정효율을 평가하였다. 세정 오염물은 Silica, PSL 표준 입자(Duke scientific, USA)를 정량적으로 웨이퍼에 오염 시킨 후, 파티클 스캐너(Surfscan 6500, KLA-Tencor, USA)를 이용하여 세정 전 후의 오염입자 개수 변화를 통해 정량적으로 세정효율을 평가하였다. 본 연구를 통하여 $CO_2$ snow jet를 이용한 친환경 고효율 건식 세정 공정 메커니즘을 분석하였으며, 노즐과 기판 사이의 간격 및 분사 노즐의 각도 등을 최적화 한 세정 공정을 얻을 수 있었다.

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