Study on the Cu/Polyimide interface using XPS: Initial growth of Cu sputter-deposited on the polyimide at high temperature (II) (XPS를 이용한 Cu/Polyimide의 계면에 관한 연구: 고온에서 증착한 Cu의 초기성장과 정(II))
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.7 no.2
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- pp.135-140
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- 1998