• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2010년도 춘계학술발표대회
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• pp.58.2-58.2
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• 2010

FPD (Flat Panel Display) 제조 공정에서 사용되는 패턴은 수 ${\mu}m$ 수준까지 감소하였으며, FPD의 크기는 급격하게 대형화 되여 현재 8세대(2200mm*2500mm)에 이르고 있다. 이에 따라, $1\;{\mu}m$ 이상의 크기를 갖는 오염입자에 의한 수율 저하를 극복하기 위한 세정효율의 향상 및 다량의 초순수 사용에 따른 폐수 발생으로 인한 환경오염, 또한 장비의 크기에 따른 공간 효용성 감소와 이에 따른 공정 비용의 증가 등의 어려움에 직면하고 있다. 따라서, 현장에서는 고효율, 저비용의 세정 공정 기술 개발에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 문제점들을 해결 하고자 이류체 노즐 세정 장치와, 화학액 린스를 위한 초순수 Spray, 건조 공정에 해당하는 Air-knife, Halogen lamp로 구성된 소형화 된 고속 FPD(Flat Panel Display) 세정기에 대한 연구를 진행 하였다. 이류체 노즐은 초순수와 $N_2$ 가스를 내부에서 혼합하여 액적(Droplet)을 형성하여 고압으로 분사시키는 장치로서 화학액을 사용하지 않고 물리적인 방법으로 오염입자를 제거한다. Spray는 유기 오염입자 제거를 위한 오존수의 린스 공정을 위해 설치 하였다. 세정 후 표면에 남아있는 기판의 액막(water film)은 고압의 가스를 분사하는 Air-knife를 통해 제거하였으며, 고속 공정시 발생할 수 있는 Air-knife에서 제거하지 못한 잔류 액막을 Halogen lamp를 사용하여 효과적으로 제거함으로써, 물반점(water mark) 없는 건조 공정을 얻을 수 있었다. 실험에는 미세 입자의 정량적인 측정을 위하여 유리 기판 대신에 6인치 실리콘 웨이퍼(P-type (100))를 사용하였으며, > $\;1{\mu}m$ 실리카 입자를 스핀방식을 사용하여 정량적으로 균일하게 오염하였으며, 오염물의 개수 및 분포는 파티클 스캐너 (Surfscan 6200, KLA-Tancor, USA)를 사용하여 분포 및 개수를 정량적으로 측정 하였다. 이류체 노즐은 $N_2$ 가스의 압력과 초순수의 압력을 변화시켜 측정하여, 각각 0.20 MPa, 0.01 MPa에서 최적의 세정 결과를 얻을 수 있었으며, 건조 효율은 Air-Knife의 입사 각도와 건조면 간격, 할로겐 램프의 온도를 조절 하여 최적의 조건을 얻을 수 있었다.

• 대한소아치과학회지
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• 제28권3호
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• pp.471-479
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• 2001

복합레진의 광중합시간 단축과 관련하여 최근에 개발된 고강도 할로겐광 중합기를 기존의 중강도 할로겐광 중합기와 비교 평가하기 위하여, 세 종류의 광중합용 복합레진을 두께가 2, 3, 4, 5mm인 스테인레스 스틸 몰드에 충전하고, 레진 상면을 중강도 할로겐광은 (1) $400mW/cm^2$으로 40초간 고강도 할로겐광은 (2) 10초동안 $100mW/cm^2$부터 $1000mW/cm^2$까지 출력량이 증가하면서 중합하고 다음 10초동안 $1000mW/cm^2$로 중합하는 ramp 모드로 20초간, (3) $1000mW/cm^2$의 boost 모드로 10초간, (4) $850mW/cm^2$의 표준 모드로 20초간 조사하고, 상면과 하면의 표면경도를 미세경도측정기로 측정한 후 실험군간의 차이를 분석하였다. 레진 상면의 경도는 중합광의 강도와 중합시간 및 레진 두께에 따른 차이가 없었다(유의수준 0.05, 이하 동일). 레진 하면의 경도는, 두께 2mm의 중강도군(1)을 제외하고, 상면의 경도보다 낮았다. 레진 하면의 경도는 두께 2mm에서 중강도군(1)이 ramp군(2) 및 boost군(3)보다 높았고 중강도군(1)과 표준군(4) 간 및 ramp군(2)과 boost 군(3) 간에 차이가 없었으며, 두께 3mm에서 중강도군(1)이 가장 높았고 표준군(4)이 boost군(3)보다 높았다. 따라서, 복합레진의 중합 깊이 측면에서 볼 때, $1000mW/cm^2$의 고강도 할로겐광을 10초간 조사한 것은 $400mW/cm^2$의 중강도 할로겐 광을 40초간 조사한 것에 미치지 못하였으며, 레진 두께 2mm이내인 경우에는 $850mW/cm^2$의 고강도 할로겐광을 20초간 조사함으로써 $400mW/cm^2$의 중강도 할로겐광을 40초간 조사한 것과 대등한 중합을 일으킬 수 있었다.