High-tech microelectronics industry is known as one of the most chemical-intensive industries. In Korea, Microelectronics industry occupied 38% of export and 16% of working employees work in microelectronics industry. But, chemical information and health hazards of high-tech microelectronics manufacturing are poorly understood because of rapid development and its penchant for secrecy. We need to investigate on chemical use and exposure control. We Site-visits to 6 high-tech microelectronics manufacturing company which have cleanroom work using over 1,000kg organic solvents (5 semi-conductor chips and its related parts company, 1 liquid crystal display (LCD)). We reviewed their data on chemical use and ventilation system, and measured TVOCs (Total Volatile Organic Compounds) and carbon dioxide concentration. All cleanroom air passed through hepa filters to acheive low particle levels and only 1 cleanroom uses carbon filters to minimize the organic solvents exposures In TVOC screening test, Cleanroom for semi-conductor chips and its related parts company with laminar down flow system (e.g. class 1~100) showed nondetectable level of TVOCs concentration, but Cleanroom for liquid crystal display (LCD) with conventional flow system (e.g. class 1,000~10,000) showed 327 ppm as TVOCs. Acetone concentration in cleanroom for Jig cleaning, LC Injection, Sealing processes were 18.488ppm (n=14), 49.762 ppm (n=15), 8.656 ppm (n=14) as arithmetric mean. Acetone concentration in cleanroom for LCD inspection process was 40ppm (n=55) as geometric mean, where the range was 7.8~128.7ppm and weakly correlated with ventilation rate efficiency(r=0.44, p<0.05). To control organic solvents in cleanrooms, chemical and carbon filters should be installed with hepa filters. Even though their volatile organic compounds concentration was not exceed to occupational exposure limits, considering of entrance limited cleanroom environment, long-term period exposure effects and adverse health effects of cleanroom worker need further reseach.
공학적 안전설비 공기정화계통의 규제지침인 Reg. Guide 1.52(Rev.3)의 변경사항중 성능시험과 관련한 운전가능성 시험시간 단축, HEPA 필터 현장누설시험용 시험물질 변경 및 활성탄 성능시험 Methyl Iodidie 투과허용율 상향 변경을 영광 5,6호기에 적용하고자, 모사실험장치와 현장 설비를 활용하여 기술적 타당성을 확인하는 실험을 수행하였다. 10시간 이상의 장시간 운전가능성 시험을 통해 계통내 습분을 제거하여도 시험후 1~4일만에 회복됨을 확인하여 운전가능성 시험은 기기적 운전가능성 점검에 적합한 매월 15분 이상의 시험을 수행하는 것이 타당함을 확인하였다. HEPA 필터 현장누설시험용 시험물질 변경을 위해 DOP와 PAO의 에어로졸 입자크기, 발생량, 누설인지도를 비교한 결과 PAO는 원전에서도 DOP 대체시험물질로 사용 가능함을 확인하였다. 베드깊이 4 인치 이상의 활성탄여과기에 대한 Methyl Iodide의 투과율 허용치가 0.175 %에서 0.5 %로 상향 변경된 것은, ASTM D3803(1989)으로의 활성탄 성능시험 방법 변경에 따른 것으로서, $30^{\circ}C$ 상대습도 95 %에서의 Methyl Iodide 투과허용율 0.5 %가 사용 중 활성탄의 성능을 시험하기에 충분히 보수적인 시험방법임을 확인하였다. 본 실험 결과를 바탕으로 영광 5,6호기는 인허가변경을 완료하였다.
본 논문에서는 PAN/PVdF의 중량비에 따라 방사용액을 제조한 후 고전압으로 전기방사법에 의해 복합나노섬유를 제조하였다. 제조된 복합나노섬유는 PVdF의 함량이 감소할수록 섬유경이 감소하는 경향을 나타냈다. PAN/PVdF 복합나노섬유의 친수성 정도를 확인하기 위하여 접촉각을 측정한 결과 친유성인 PVdF의 함량이 증가할수록 물과의 접촉각이 증가하는 것을 확인할 수 있었다. 필터측정용 샘플을 $40^{\circ}C$의 온도, 85%의 습도에서 25시간 동안 방치한 후 성능을 평가한 결과 PAN/PVdF 복합나노섬유의 경우 99.95% 이상의 혜파(HEPA)급 및 99.999% 이상의 울파(ULPA)급 성능을 나타냄을 확인할 수 있었으며, 섬유경이 작을수록 필터 성능이 증가하는 것을 확인할 수 있었다. PAN/PVdF 복합나노섬유의 벌크 인장강도는 5-8MPa, 신도는 10-300% 범위였으며, PVdF의 함량이 증가할수록 강도와 신도가 동시에 증가하는 것을 알 수 있었다. PAN/PVdF 복합나노섬유를 $120^{\circ}C$에서 2시간 열처리한 시료의 인장강도는 3-8MPa정도였다. 인장강도의 경우는 열처리에 의해 거의 변화가 없었으며, 신도는 감소함을 알 수 있었다.
2015년 바레인에서 귀국한 한국인이 처음으로 메르스 확진 판정을 받으면서 대한민국 메르스 유입이 확인되었다. 최초 메르스 확진 판정 후 감염자가 병원으로 후송 된 후 2차 감염자가 늘어났고 그 이후 대한민국은 메르스 공포에 떨어야 했다. 이 때 격리구급차 도입이 이루어지고 있었으나 들것 이송 중 오염에 대해서는 뾰족한 방법이 없었고 격리구급차 도입이 제한적으로만 이루어지고 있었기에 서울대학교 병원과 서울시립대학교에서는 이송용 격리 이송 장치 및 공기정화장치(양·음압기)를 개발하였다. 하지만 메르스 사태가 발생한지 4년이 지난 현재까지도 격리이송장치 및 공기정화장치에 대한 성능평가 시험법이 미흡한바 본 연구에서는 시뮬레이션 및 시험을 통하여 도출된 차압, 공기의 흐름에 따른 결과를 통하여 소형격리장비 내부와 외부의 차압을 측정하여 바이러스의 외부유출 및 내부밀폐가 가능한 최소 수치를 제안 하였으며, 이를 통하여 소형격리이송장비의 성능평가 및 시험법에 대하여 제안하였다. 해당 소형격리이송장비의 중요 기능을 정의하고 이를 평가항목으로 선정하여 현실과 유사한 상황을 모사하여 성능평가를 수행하였다. 그 결과 격리이송장치 내부의 양압과 음압의 적절한 압력 구성과 헤파필터의 명확한 기준이 명시되어 격리이송장치 및 공기정화장치의 성능기준을 명확하게 규정해야 함을 도출하였다.
최근 현대인들의 삶이 윤택해질수록 실내공기질 (Indoor Air Qulity)의 개선이 강하게 요구되고 있다. 생물학적 공기 오염원(세균, 진균, 바이러스 등)의 제거를 위해서 UV/광촉매 장치 또는 오존발생장치, 항균물질의 도포와 같은 방법을 사용하고 있다. 추가 에너지 소모 또는 높은 부식성과 독성, 낮은 항균력 등의 단점을 가지고 있으며, 이를 보완하기 위하여 항균력을 가진 구리를 이용하여 필터를 제작하였다. 항균동 필터의 항균력 검증을 위하여 2종의 곰팡이 (P. pinophilum, C. globosum) 와 1종의 균 (S. aureus) 에 대한 항균력을 측정하였고, 부유미생물 제거능력을 챔버 단계부터 건물의 공조시설까지 단계별 시험을 실시하였다. 그 결과 2종의 곰팡이에 대해서는 24시간 후 100% 항균력을 나타내었고, 1종의 균에 대해서는 18시간 후 99.9% 항균력을 나타내었다. 단계별 부유미생물 제거능력에서는 챔버와 공기청정기를 이용한 시험에서 항균헤파필터보다 높은 항균력을 나타내었다. 건물의 공조시설을 이용한 시험에서는 공간이 밀폐되지 않았고 지속적인 가동을 하지 않았지만 설치 후 약 2주 후부터 항균 효과가 나타나는 것으로 확인하였다. 항균동 필터의 항균력 검증 결과 제작 방법 및 소재의 연구가 더욱 필요하지만 항균 필터로써 충분한 항균력을 가진 것으로 판단된다.
A quantitative fit test, condensation nuclei counting (Portacount 8025, TSI), was performed concurrently with a banana oil (isoamyl acetate: IAA) qualitative fit test (MSA) to evaluate reliability on IAA QLFT and correlation between two methods. One brands of quarter mask (3M model 7500 medium) was prepared for QLFT with HEPA filter and gas & vapor removing media, i.e., combination cartridge. 110 subjects (65 male, 45 female) were fit tested QNFT and QLFT each three times. For a wearer combination having a FF<10, as determined by CNC QNFT, the point es timate (${\beta}$-error) of the probability of that combination not being rejected by the banana oil QLFT was found to be 0.0 with 95% confidence that this statistic is not expected to exceed 0.15. For a wearer combination having a FF<100, as determined by CNC QNFT, the point estimate of the probability of that combination not being rejected by the banana oil QLFT was found to be 0.07 with 95% confidence that this statistic is not expected to exceed 0.13. The uncertainty associated with each estimate, however, is large due to the small number of study subjects with inadequately fitting respirators.
Objectives: The purpose of this case study is to assess the current airflow and find the ideal ventilation conditions in tank reactors for minimizing the possibility of exposure respiratory dusts(size of $2.5{\mu}m$, $10{\mu}m$) when workers exchange catalysts in the tank reactors. Methods: A Numerical study was performed to determine ideal ventilation conditions, We considered two sizes of airborne respiratory particles($2.5{\mu}m$, $10{\mu}m$) at 12points from the bottom of tank reactor. We changed input & output ventilation conditions and analyzed the particle motion in the tank reactor. The star-ccm+, computational fluid dynamics tool was used to predict air & particle flow patterns in the tank reactor and a numerical simulation was achieved by applying the realized ${\kappa}-{\varepsilon}$ turbulence model and the Lagrangian particle tracking method. Results: From the results, the increase of recirculation air had a significant impact on removing dusts because they are removed by HEPA filter. To the contrary, Increasing the clean air quantity or changing the input position of clean air is not good for workers because it causes the exit of respiratory dusts through workers' entrance or cause it to remail suspended in the air in the workplace tank.
To maintain the indoor air quality, many ventilation systems and technologies have been developed in the highly insulated and air tight buildings. In this study, a porous construction material, which is applicable to passive ventilation system, is developed and measured the performances of the permeability and the resistance of water vapor, and the dust collection efficiency. The average coefficient of water vapor permeability shows $3.6\;g/m^2{\cdot}h{\cdot}mmHg$, which is slightly higher than Hanji ($2.4{\sim}3.2\;g/m^2{\cdot}h{\cdot}mmHg$) and the average water vapor resistance factor shows $0.303\;g/m^2{\cdot}h{\cdot}mmHg/g$, which is slightly smaller than Hanji($0.309{\sim}0.315\;g/m^2{\cdot}h{\cdot}mmHg/g$). The pressure drop of the porous construction material is smaller than the HEPA filter and the minimum dust collection efficiency shows 82.8% in the range of $2{\sim}9\;cm/s$.
This study tested the effect on the toxicity of formaldehyde to select a shelter site due to formaldehyde leakage. As a result of the experiment, the range of ERPG-2 and 3 is between 2.2km and 9.6km, ASET is 6 minutes at 1km, 15 minutes at 3km, 22 minutes at 5km, and the lethality rate is 99.9% at 1km and 9% at 3km. In areas where refuge time is less than 15 minutes or the lethality rate is more than 2%, a shelter is installed. This is because if there are only a few evacuees, the evacuation time may take longer than the pre-movement time of 15 minutes or less specified in PD 7974-6:2004, and the lethality rate with the lowest number of deaths was calculated to be 2%. The shelter must be equipped with a hepa-filter, positive pressure equipment, air purifier, air respirator, goggles, chemical protective clothing type 4 and sufficient parking space must be secured to ensure the safety of evacuees.
산업화가 발달됨에 따라 대기 오염 물질은 점차 증가하고 있는 추세에 있고 특히 기름 및 석탄 연소 보일러, 자동차, 제철, 시멘트 플렌트, 소각로 등은 미세 분진을 발생시키는 주원인이 되어 왔다. 최근 대기환경법은 오염 분진의 중량 규제로부터 $10{\mu}m$ 미만의 PM10에서 $2.5{\mu}m$ 미만의 PM2.5의 미세 분진에 대한 규제로 점차 심화되고 있으나, 이러한 미세분진은 고전적인 제거 방법으로는 매우 어려우며 고가의 HEPA 필터를 사용하여야 한다. 한편 코로나 방전을 이용하는 전기 집진은 미세 먼지 제거에 매우 효율적이어서 $1{\mu}m$ 미만의 미세 분지도 99%까지 제거가 가능하다는 장점이 있지만 입자크기가 클 경우에는 효율이 떨어지는 단점이 있다. 한편 사이클론 집진기는 매우 오래전부터 개발되어 사용되어 왔는데 가격이 저렴하고 운영비가 적게 들며 $10{\mu}m$ 이상의 먼지는 99% 이상 제거가 가능하여 산업현장에서 오랜 기간 사용되어 왔지만 입자크기가 $10{\mu}m$ 미만으로 가면 집진율이 급격히 떨어지는 단점을 가지고 있다. 본 연구에서는 기존의 사이클론 집진기의 구조를 기본으로하여 사이클론 집진기 내부에 플라즈마 방전을 설치하여 원심력에 의한 집진과 코로나 방전에 의한 전기 집진을 동시에 수행할 수 있도록 하이브리드 사이클론 집진기를 제작하였다. 제작된 사이클론 집진기는 직경 30 cm 높이 120 cm의 사이클론 구조를 가지고 있으며 1 hp의 터보송풍기를 장착하여 $20m^3$/min 이상의 유량을 처리할 수 있도록 설계 제작되었다. 제작된 하이브리드 사이클론 집진기의 성능을 평가하기 위하여 $10m^3$의 체적을 가지는 테스트 챔버 내부에 사이클론 집진기를 설치하고 향을 태워 미세 먼지를 발생시킨 후 다양한 조건에서 집진 성능을 측정하여 보았다. 미세 먼지의 경우 사이클론을 작동시키지 않아도 테스트 챔버 벽면에 흡착되어 초기에는 급격히 감소하는 경향을 보여주나 일정 시간이 경과한 후에는 매우 느리게 감소하는 현상이 관찰 되었다. 코로나 방전을 하지 않고 오존 파괴기에 활성탄만 충진한 상태에서 사이크론을 작동시킬 경우 지속적으로 천천히 감소하는 경향을 보여주었으며, 코로나 플라즈마를 방전시킨 경우 미세 먼지는 HEPA filter를 장착한 것보다도 조금 빠르게 미세먼지를 제거하였다. 챔버 내부의 미세먼지가 초기 값의 1/10에 도달하는 시간은 코로나 방전 전류가 증가할수록 짧아지는 경향을 보여주었으며 최적 조건에서 100초 이내에 90% 이상 제거가 가능하였다. 하이브리드 사이클론 집진기는 집진 뿐 만 아리라 VOC 성분도 분해가 가능하여 유해물질을 제거하는 능력이 있다. 유해 가스 제거 능력을 실험하기 위하여 분진제거 실험에 사용된 챔버 안에 아세톤을 증발시켜 50 ppm이 되도록 한 후 다양한 조건에서 유해물질 제거 실험을 수행하였다. 미세먼지와는 달리 장비를 작동하지 않을 경우 매우 느리게 아세톤 농도가 감소하였다. 이는 미세 먼지와는 달리 흡착이 발생하지 않고, 측정 챔버 자체가 완전한 밀폐가 이루어지지 않아 자연적으로 조금씩 외부로 누출되기 때문으로 판단된다. 코로나 플라즈마만 방전시켰을 경우 초기 농도의 80%가 제거되는데 걸리는 시간은 약 28분 정도로 코로나 플라즈마가 VOC 제거에 효과가 있음은 확인하였으나 제거율이 그리 높지 않음을 알 수 있었다. 한편 오존 파괴를 위해 활성탄으로 충진 된 오존파괴기를 통과시킨 경우는 약 12분 경과 후 80%가 제거됨을 확인할 수 있었으나 그 이후에는 VOC의 감소가 매우 느리게 진행됨을 알 수 있었다. 한편 활성탄 대신 $MnO_2$ 복합촉매로 충진 된 오존파괴기를 통과한 경우 약 3분 정도 경과 후 80%의 아세톤이 제거됨을 관찰할 수 있었으며 코로나 플라즈마를 작동시키면서 $MnO_2$ 복합촉매로 충진 된 오존파괴기를 통과시킨 경우 약 2분 정도 경과 80% 이상의 아세톤이 제거되어 코로나 플라즈마와 복합촉매를 사용할 경우 VOC 성분이 효과적으로 제거됨을 알 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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