• 한국세라믹학회지
• /
• 제39권6호
• /
• pp.570-575
• /
• 2002

현재 전기 . 전자 기술의 추세는 소형화를 비롯하여 집적화, 저전력화, 저가격화의 장점을 가진 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) device의 개발에 주력하고 있으며, 이를 위해서는 고종횡비와 높은 식각 속도를 가진 HDP(High Density Plasma) etching 기술 개발이 필수적이라 할 수 있다. 이를 위하여 우리는 Inductively Coupled Plasma(ICP) 장비를 이용하여 각 공정 변수에 의한 실리콘 deep trench식각 반응을 연구하였다. 실험 공정 변수인 platen power, etch/passivation cycle time에서 etching 단계 시간에 따른 변화와 SF$_{6}$:C$_4$F$_{8}$ 가스유량을 변화시켜 연구하였으며 또한 이들의 profile, scallops, 식각 속도, 균일도, 선택비도 관찰하였다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
• /
• 한국정보통신학회 2013년도 춘계학술대회
• /
• pp.954-956
• /
• 2013

IOS/IEEE 11073 PHD 표준들은 u-헬스 측정기기와 u-헬스 게이트웨이간의 통신을 가능하게 하도록 설계되어 있다. 모바일 단말기를 데이터 취합을 위한 중계기로 활용하고 별도의 게이트웨이를 구성하여 헬스케어 의료기기를 연동하고 모니터링을 위한 인터페이스를 제공해 왔으나 스마트폰 애플리케이션 단계에서 IEEE 11073 플랫폼을 포함하여 헬스케어 의료기기를 활용하는 u-헬스케어 서비스를 제공하기에는 많은 제약이 있다. 이에 본 논문에서는 Android 4.0.x OS 스마트폰을 대상으로 Bluetooth HDP을 활용하여 u-헬스케어 시스템에서의 게이트웨이/서버 플랫폼 기능을 포함하는 헬스케어 의료기기의 모니터링 애플리케이션 시스템을 설계하였다.

• Nuclear Medicine and Molecular Imaging
• /
• 제43권6호
• /
• pp.592-595
• /
• 2009

Juvenile dermatomyositis is a common inflammatory muscle disease of childhood, characterized by weakness in proximal muscles and specific skin rash. In case of juvenile dermatomyositis without characteristic clinical features, non-invasive imaging tools such as $^{99m}Tc$-HDP three-phase bone scan are very helpful in diagnostic workup of myopathies. We report a case of 13-year old female with juvenile dermatomyositis, in which $^{99m}Tc$-HDP three-phase bone scan was useful in diagnosis and assessing therapy response.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
• /
• 한국정보통신학회 2014년도 추계학술대회
• /
• pp.88-90
• /
• 2014

최근 스마트 TV가 방송과 통신을 결합하고 융합하여 보다 다양한 콘텐츠를 제공하면서 헬스케어, 스마트 홈으로 서비스 영역을 확장시킬 수 있는 보다 능동적인 매체로 부각되면서 스마트 헬스케어 분야에 적극적으로 활용될 것으로 기대되고 있다. 그러나 현재 헬스케어 서비스는 대부분의 개인건강기기에서 사용자의 신체를 측정하고 확인하기 위해서는 건강기기 제조사별로 존재하는 고유의 인터페이스를 통해서만 확인이 가능하며 스마트 TV 환경에서 헬스케어 서비스를 제공하기 위해서는 스마트 TV의 특징을 고려한 통합 게이트웨이 및 건강관리 애플리케이션이 필요하다. 따라서 본 논문에서는 스마트 TV 환경에 따른 헬스케어 서비스를 제공하기 위해 Bluetooth HDP를 활용한 통합 게이트웨이를 설계하고 이를 기반으로 홈 헬스케어 시스템을 구현하고자 한다.

• 정보과학회 논문지
• /
• 제44권10호
• /
• pp.1026-1033
• /
• 2017

본 논문은 계층적 디리슐레 과정(HDP)과 은닉 마르코프 모형(HMM)이 결합된 베이스 통계학적 방법과 HMM의 상태 지속 정보를 이용한 건강 상태 예측 방법을 제안한다. HDP-HMM은 베이스 방법의 HMM 확장 모형으로서 건강의 동적 특성을 고려하여 불확실하고 가늠하기조차도 어려운 건강 상태의 수를 추정할 수 있게 해준다. 모의 데이터와 실제 건건 검진 데이터를 이용한 시험을 통하여 흥미 있는 행동 특성을 볼 수 있었으며 최대 5년까지로 제한한 미래 예측도 충분한 가능함을 확인하였다. 미래는 불확실하며 예측 문제는 본질적으로 어렵다. 그러나 본 연구의 실험 결과로 동적인 문맥 하에서 다중 후보 가설을 제시함으로서 실용 가능한 건강상태의 장기 예측이 가능하다는 것을 읽을 수 있었다.

• 반도체디스플레이기술학회지
• /
• 제9권4호
• /
• pp.39-43
• /
• 2010

According to recent changes in industry for the semiconductor device, a gap between patterns in wafer is getting narrow. And this narrow gap makes a failure of uniform deposition between center and edge on the wafer. In this paper, for solving this problem, we analyze and manipulate the gas flow inside of the HDP CVD chamber by using CFD(Computational Fluid Dynamics). This simulation includes design manipulations in heights of the chamber and shape of center nozzle in the upper side of the chamber. The result of simulation shows 1.28 uniformity which is lower 3% than original uniformity.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
• /
• 한국표면공학회 2006년도 추계학술발표회 초록집
• /
• pp.2-3
• /
• 2006

본 논문에서는 신경망 모델링을 통하여 HDP-CVD를 이용한 실리콘 산화막 형성에 영향을 주는 다섯 가지 공정 장비 변수와 그에 따른 두 가지 출력 파라미터 Deposition rate과 Uniformity와의 관계를 동시에 고려한 특성결과를 분석하고， 최적의 recipe를 Genetic Algorithm을 통해 제시하였다. 실험계획법을 사용하여， 필요한 실험의 횟수를 최소화 하였으며 그 실험결과를 신경망 모델링을 통하여 입력변수와 출력파라미터의 관계를 3차원의 반응표면 곡선으로 분석하였다. 이 과정을 통해 Deposition rate과 Uniformity을 동시에 고려한 두 출력파라미터를 만족하는 최적의 입력변수 값들을 제시하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
• /
• 대한전기학회 2006년도 제37회 하계학술대회 논문집 C
• /
• pp.1398-1399
• /
• 2006

현재 상용화된 OLED 소자는 최대 단점인 수분 취약성의 원인으로 top emission과 flexible 타입으로 제조되는데 장애가 되고 있다. 따라서 top emission 방식과 flexible한 소자를 실현하기 위해 수분 및 산소 침투를 방지하기 위한 유전체 막의 실험이 진행되고 있는데, 본 실험에서는 기존의 PECVD보다 plasma의 density가 높은 HDP(High Density Plasma)-CVD를 사용해 SiOx 및 SiNx 유전체 film을 증착하였고 MOCON 테스트를 통한 수분침투 방지막으로써의 가능성을 검증하였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집
• /
• pp.459-460
• /
• 2012

• Nuclear Medicine and Molecular Imaging
• /
• 제42권6호
• /
• pp.491-493
• /
• 2008