• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2010년도 춘계학술발표대회
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• pp.58.2-58.2
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• 2010

FPD (Flat Panel Display) 제조 공정에서 사용되는 패턴은 수 ${\mu}m$ 수준까지 감소하였으며, FPD의 크기는 급격하게 대형화 되여 현재 8세대(2200mm*2500mm)에 이르고 있다. 이에 따라, $1\;{\mu}m$ 이상의 크기를 갖는 오염입자에 의한 수율 저하를 극복하기 위한 세정효율의 향상 및 다량의 초순수 사용에 따른 폐수 발생으로 인한 환경오염, 또한 장비의 크기에 따른 공간 효용성 감소와 이에 따른 공정 비용의 증가 등의 어려움에 직면하고 있다. 따라서, 현장에서는 고효율, 저비용의 세정 공정 기술 개발에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 문제점들을 해결 하고자 이류체 노즐 세정 장치와, 화학액 린스를 위한 초순수 Spray, 건조 공정에 해당하는 Air-knife, Halogen lamp로 구성된 소형화 된 고속 FPD(Flat Panel Display) 세정기에 대한 연구를 진행 하였다. 이류체 노즐은 초순수와 $N_2$ 가스를 내부에서 혼합하여 액적(Droplet)을 형성하여 고압으로 분사시키는 장치로서 화학액을 사용하지 않고 물리적인 방법으로 오염입자를 제거한다. Spray는 유기 오염입자 제거를 위한 오존수의 린스 공정을 위해 설치 하였다. 세정 후 표면에 남아있는 기판의 액막(water film)은 고압의 가스를 분사하는 Air-knife를 통해 제거하였으며, 고속 공정시 발생할 수 있는 Air-knife에서 제거하지 못한 잔류 액막을 Halogen lamp를 사용하여 효과적으로 제거함으로써, 물반점(water mark) 없는 건조 공정을 얻을 수 있었다. 실험에는 미세 입자의 정량적인 측정을 위하여 유리 기판 대신에 6인치 실리콘 웨이퍼(P-type (100))를 사용하였으며, > $\;1{\mu}m$ 실리카 입자를 스핀방식을 사용하여 정량적으로 균일하게 오염하였으며, 오염물의 개수 및 분포는 파티클 스캐너 (Surfscan 6200, KLA-Tancor, USA)를 사용하여 분포 및 개수를 정량적으로 측정 하였다. 이류체 노즐은 $N_2$ 가스의 압력과 초순수의 압력을 변화시켜 측정하여, 각각 0.20 MPa, 0.01 MPa에서 최적의 세정 결과를 얻을 수 있었으며, 건조 효율은 Air-Knife의 입사 각도와 건조면 간격, 할로겐 램프의 온도를 조절 하여 최적의 조건을 얻을 수 있었다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제9권4호
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• pp.878-885
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• 2008

최근에 많은 수요와 각광을 받고 있는 디스플레이 장치에서 CRT는 곡면이며 무겁고 큰 부피 때문에 LCD, PDP, OLED와 같은 평판디스플레이(FPD)로 대체되고 있다. FPD는 $0.6\sim0.8mm$ 두께의 대면적 글래스에 여러 공정을 거친 후에 최종 제품 규격으로 절단하여 제작하기 때문에 글래스의 면적이 크면 클수록 FPD의 생산성이 높다는 밀접한 관계를 갖는다. 따라서 FPD 제조 업계에서는 글래스 면적을 증가시키기 위하여 노력하고 있으며, 예를 들면, 현재 8세대 LCD인 경우 약 $2,200mm\times2,600mm$의 면적을 가진다. 이러한 글래스를 이송하는 대표적인 장치로서 공기부상 컨베어시스템은 압축공기를 이용해서 FPD용 대면적 글래스 등을 약 $0.3\sim0.5mm$ 정도 부상시켜 비접촉으로 이송할 수 있는 장치이다. 이 때 글래스와 다공질판 표면 사이의 공기 유동이 모델링되고 해석되며, 이것으로부터 글래스의 공기부양 조건이 예측될 수 있다. 글래스를 이송시 전기공급 중단에 의하여 압축공기가 공급되지 않아 부상판과 접촉이 발생하였을 때, 자기윤활 특성을 가진 다공질판 위의 글래스는 1mm 홀을 많이 가진 사각덕트 부상판 위의 글래스와 조사, 비교된다.

• Journal of Power Electronics
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• 제7권4호
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• pp.278-285
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• 2007

Recently, plasma display panels (PDP) have become the most promising candidate in the market for large screen size flat panel displays. PDPs have many merits such as a fast display response time and wide viewing angle. However, there are still concerns about high cost because they require complex driving circuits composed of high power switching devices to generate various voltage waveforms for three operational modes of reset, scan, and sustain. Conventional PDP driving circuits use path switches for voltage separation and a scan switch to offer a scan voltage for reset and scan operations, respectively. In addition, there exist reset switches to initialize PDPs by regulating the wall charge conditions with ramp shaped pulses, which means the necessity of specific power devices for the reset operation. Because power for the plasma discharge accompanied by a large current is transferred to a panel via path switches, high power rating switches are used for path switches. Therefore, this paper proposes a novel low-cost PDP driving scheme achieved by not only eliminating path switches but also merging the function of reset switches into other switches used for sustain or scan operations. The simulated voltage waveforms of the proposed topology and experimental results implemented in a 42-inch panel to demonstrate the validity of using a new gate driver that merges the functions of power switches are presented.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2001년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.20-23
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• 2001

Plasma Display Panel(PDP) is a type of flat panel display utilizing the light emission produced by gas discharge. Barrier Ribs of PDP separating each sub-pixel prevents optical and electrical crosstalks from adjacent sub-pixels. The mold for forming the barrier ribs has been newly researched to overcome the disadvantages of conventional manufacturing processes such as screen printing, sand-blasting and photosensitive glass methods. The mold for PDP barrier ribs have stripes of micro grooves transferring glass-material wall. In this paper, Stripes of grooves of which width 48${\mu}{\textrm}{m}$, depth 124$\mu\textrm{m}$ , pitch 274$\mu\textrm{m}$ was acquired by machining of single crystal silicon with dicing saw blade. Maximum roughness of the bottom of the grooves was 59.6nm Ra in grooving Si. Barrier ribs were formed with silicone rubber mold, which is transferred from grooved Si forming hard mold. Silicone rubber mold has the elasticity, which enable to accommodate the waveness of lower glass plate of PDP. The methods assisted by the microwave and UV was adopted for reducing the forming time of glass paste.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04
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• pp.159-163
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• 2004

We have introduced fourth generation PDPs last year. The performance of these PDPs is the highest level among TV displays. At the same time the power consumption of them has reached to the lowest level among FPDs (Flat Panel Displays). High panel luminous efficacy and low address power are necessary for the reduction of total power consumption. Following technologies have been developed and applied to the fourth generation PDPs. High panel luminous efficacy: T-shape electrode, waffle rib structure, high Xe content gas Low address power; CLEAR driving method, etc.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
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• pp.841-844
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• 2005

There has been a new trend to integrate various kinds of circuits by low temperature polycrystalline silicon thin film transistor (LTPS TFT) on insulator substrates to achieve System on Panel (SOP) for flat panel displays. In this paper, we will review the trend of the SOP and discuss the utility and future possibility of the SOP.

• 대한인간공학회지
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• 제22권3호
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• pp.27-44
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• 2003

An experiment was carried out to compare the suitability in visual tasks between flat and conventional (convex) cathode-ray tube (CRT) displays. The subjects performed visual search tasks during 2-h for detecting target words among distracters presented on the screen. The subjects' visual performance was evaluated with average time and number of errors made to complete the tasks. Visual fatigue after the search tasks was also evaluated in terms of degradations in accommodative power and subjective ratings. Difference was not found in task time between the two displays, but flat CRT showed a lower number of errors than conventional CRT. The difference in number of errors was statistically significant at 0=0.05. Although there was no difference between the displays in degradations of accommodative power, results from the subjective ratings showed that flat CRT yields less fatigue than conventional CRT. The results partially support the hypothesis that panel convexity of CRT displays has a significant effect on the performance and fatigue during visual tasks and thus flat CRT is the better display than conventional one.

• 인포메이션 디스플레이
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• 제4권2호
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• pp.15-18
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• 2003

차세대 디스플레이로 부각되는 FPD(Flat Panel Display)의 제작과정에서 수행되고 있는 기존의 배기 봉착 공정을 진공 인-라인 방식으로 대체함으로써 PDP나 FED의 생산성 및 효율성을 혁신적으로 높일 수가 있다. 매우 취약한 진공실장 기술 및 관련 장비를 개발함으로써 FPD 양산화에 절대적으로 필요한 패널의 생산성 및 수율, 수명을 높일 수 있다. 국내 첨단산업의 경우 생산 장비의 해외 의존도가 너무 높아 국가 기술경쟁력 약화의 한 원인이 되고 있으므로 FPD의 개발 초기단계에서부터 장비 제작업체와의 유기적 협력을 통해 필수적 생산 장비의 조기개발을 통해 장비 국산화를 이룰 수 있다. 본 고에서는 현재 21세기 차세대 신기술 산업으로 평가받고 있는 평판디스플레이의 진공 인-라인 실장 기술을 할 수 있는 경원대학교에서 자체 개발한 진공 인-라인 실장과 장비에 대해 기술하고자 한다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제17권10호
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• pp.1120-1124
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• 2004

Recently, Plasma Display Panel(PDP) has been in the spotlight as one of the next generation flat-panel-display device. However, it has several drawbacks like the low contrast ratio and the low luminance. In this study, a new address waveform is suggested to improve the priming effect and contrast ratio at the address period in the Address Display period Separated(ADS) method. We modified waveform, instead of a conventional waveform, to an address period, for operating on the Plasma Display Panels, which used the conventional gas [He-Ne-Xe〕. When the ramp pulse is added to the address period at the sustain electrode, it is improved on the priming effect and contrast ratio.

• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제51권9호
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• pp.436-442
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• 2002

Recently color AC PDP(plasma display panel) technology is rapidly improved. However, the luminous efficiency improvement is a key issue for making plasma display into a large-area flat display. In this paper, we suggest a new concentration of Xe in He-Ne-Xe gas mixture in order to achieve a high luminous efficiency of color AC PDPs. We calculated the densities of 25 species as a function of the time zero dimensional simulation using CVODE solver and we compared the results of zero dimensional simulation with a measurement of photo wave brightness and luminous efficiency, in order to find the optimum mixing condition of He-Ne-Xe gas in color plasma display panel. We obtained a high discharge speed under Xe mixing ratio of 1% by simulation and confirmed that through measuring photo wave.