• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2008.06a
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• pp.591-592
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• 2008

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2003.04a
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• pp.911-916
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• 2003

Microactuator is frequently used in some optical or electrical applications such as light modulators and spatial scanner devices. When microactuator is implemented, it should be operated at accurate positions proportional to input voltage. Therefore in order to obtain rapid responses and reduced errors, a position control technique is used. In the paper, design procedure for the mems actuator and a typical PID controller is adapted to improve performance of microactuator as well. Also electrostatic force for the torsional microactuator is calculated via well-known Hornbeck's method.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07c
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• pp.1923-1925
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• 2003

본 논문은 유리 기판과 실리콘 기판의 양극접합과 CMP공정을 통하여 정전기력으로 구동되는 마이크로 비틀림 액추에이터를 제작하고 이 제작된 액추에이터의 성능을 개선하는 방법과 실험에 관한 것이다. 이 비틀림 액추에이터는 미소 거울로 사용하기 위해 제작하였다. 미소 거울은 영상을 정확히 반사하거나 회절 시키는 것이 목적이지만 MEMS 공정의 특성 문제로 인해 일관적인 성능을 나타내는 것이 비교적 힘들다. 따라서 이를 개선하기 위해선 구조적인 접근 보다 실제 구동될 때의 현상을 보상하는 것이 필요하다. 일정한 입력전압에 비례하는 미소 거울의 변위를 알고 이를 기준으로 하여 시스템을 구동하여야 한다. 여기서 인가되는 전압에 비례하는 변위가 정확한지 측정을 해야 하고 만약 오차가 있다면 이를 개선하여야 한다. 또한 구동 시 발생하는 overshoot 현상과 작은 떨림 현상을 줄이고 빠른 시간 내에 응답하도록 시스템을 보상하여야 한다. 본 논문에선 PID 제어기법을 사용하여 $0.5^{\circ}$의 각도로 구동할 때를 기준으로 이 때의 구동전압 200V를 인가하고 오차를 측정하여 시스템을 보상하였다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.34 no.10
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• pp.1385-1391
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• 2010

In this study, we present small-size, low-power, and high-speed electromagnetic flapping shutters for phone cameras. These shutters are composed of trapezoidal twin blades suspended by H-type torsional springs. The existing electrostatic rolling and flapping shutters need high input voltage, while the existing electromagnetic rotating shutters are too big to be used for phone cameras. To achieve low-power and high-speed angle motion for small-size electromagnetic flapping shutters for camera phones, low-inertia trapezoidal twin blades, each suspended by the low-stiffness H-type torsional springs, are employed. The electromagnetic flapping shutters used in this experimental study have steady-state rotational angles of $48.8{\pm}1.4^{\circ}$ and $64.4{\pm}1.0^{\circ}$ in the magentic fields of 0.15 T and 0.30 T, respectively, for an input current of 60 mA; the maximum overshoot angles are $80.2{\pm}3.5^{\circ}$ and $90.0{\pm}1.0^{\circ}$ in the magentic fields of 0.15 T and 0.30 T, respectively. The rising/settling times of the shutter while opening are 1.0 ms/20.0 ms, while those while closing are 1.7 ms/10.3 ms. Thus, we experimentally demonstrated that the smallsize (${\sim}8{\times}8{\times}2\;mm^3$), low-power (${\leq}60\;mA$), and high-speed (~1/370 s) electromagnetic flapping shutters are suitable for phone cameras.