Research on simulation and non-linear application control for elevation of response of Nano-stage (나노스테이지의 응답성 향상을 위한 시뮬레이션 및 비선형 적용제어에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 한국정밀공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.475-476
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- 2007