A Study on the In-plane Motion Measurement of Microstructure using $Moir{\acute{e}}$ Pattern
($Moir{\acute{e}}$ 무늬를 이용한 미세 구조물의 평면 움직임 측정에 관한 연구)
-
- Proceedings of the KIEE Conference
- /
- 1997.11a
- /
- pp.659-661
- /
- 1997