Park, Jae-joon;Park, Hongsik;Kim, Kyu-Yong;Jeon, Jong-Up
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제1권1호
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pp.84-93
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2001
An electromagnetic micro x-y stage for probe-based data storage (PDS) has been fabricated. The x-y stage consists of a silicon body inside which planar copper coils are embedded, a glass substrate bonded to the silicon body, and eight permanent magnets. The dimensions of flexures and copper coils were determined to yield $100{\;}\mu\textrm{m}$ in x and y directions under 50 mA of supplied current and to have 440 Hz of natural frequency. For the application to PDS devices, electromagnetic stage should have flat top surface for the prevention of its interference with multi-probe array, and have coils with low resistance for low power consumption. In order to satisfy these design criteria, conducting planar copper coils have been electroplated within silicon trenches which have high aspect ratio ($5{\;}\mu\textrm{m}$in width and $30{\;}\mu\textrm{m}$in depth). Silicon flexures with a height of $250{\;}\mu\textrm{m}$ were fabricated by using inductively coupled plasma reactive ion etching (ICP-RIE). The characteristics of a fabricated electromagnetic stage were measured by using laser doppler vibrometer (LDV) and dynamic signal analyzer (DSA). The DC gain was $0.16{\;}\mu\textrm{m}/mA$ and the maximum displacement was $42{\;}\mu\textrm{m}$ at a current of 180 mA. The measured natural frequency of the lowest mode was 325 Hz. Compared with the designed values, the lower natural frequency and DC gain of the fabricated device are due to the reverse-tapered ICP-RIE process and the incomplete assembly of the upper-sided permanent magnets for LDV measurements.
The outer-most electrons of metal atoms and the remaining valence electrons of any molecular atoms make three-dimensional crystallizing $\pi$-bondings. The rotating electrons on the three-dimensional crystallizing $\pi$-bonding orbitals of atoms make $\pi$-far infrared rays. Longitudinal wave is a propagation of a bundle of $\pi$-far infrared rays, which are produced by a dynamic impact on a solid bar. The $\pi$-far infrared rays make three-dimensional crystallizing $\pi$-bondings in the material, which reproduce the same $\pi$-far infrared rays. If a current signal is input into water molecules under a given electric potential field with $\pi$-far infrared rays (input information), the signal can be amplified because the $\pi$-far infrared rays make the $\pi$-bondings, which reduce electric resistance. The three-dimensional crystallizing $\pi$-bondings can induce normal electrons to move from one orbital to next one with a aid of potential electric field. Quantum Resonance Spectrometer is composed of tesla coil absorbing $\pi$-far infrared rays, tesla coil emitting varying electromagnetic waves signal generator, signal storage, human body amplifier, signal analyzer and data indicator. The absorbing tesla coil making varying magnetic field and downward and upward electric field, which resonates the $\pi$-far infrared rays coming out from specimen and absorbs them. The modulated current signal from the input square signal can generate and emit varying electromagnetic waves from the tesla coil. The varying electro-magnetic waves make the three-dimensional crystallizing $\pi$-bondings and the $\pi$-far infrared rays in the water molecules.
Organic carbon (OC) and elemental carbon (EC) in PM2.5 were measured with Sunset Laboratory Model-5 Semi-Continuous OC/EC Field Analyzer by NIOSH/TOT method at Anmyeondo Global Atmosphere Watch (GAW) Regional Station (37°32'N, 127°19'E) in July and August, 2017. The mean values of OC and EC were 3.7 ㎍ m-3 and 0.7 ㎍ m-3, respectively. During the study period, the concentrations of reactive gases and aerosol compositions were evidently lower than those of other seasons. It is mostly due to meteorological setting of the northeast Asia, where the influence of continental outflow is at its minimum during this season under southwesterly wind. While the diurnal variation of OC and EC were not clear, the concentrations of O3, CO, NOx, EC, and OC were evidently enhanced under easterly wind at night from 20:00 to 8:00. However, the high concentration of EC was observed concurrently with CO and NOx under northerly wind during 20:00~24:00. It indicates the influence of thermal power plant and industrial facilities, which was recognized as a major emission source during KORUS-AQ campaign. The diurnal variations of pollutants clearly showed the influence of land-sea breeze, in which OC showed good correlation between EC and O3 in seabreeze. It is estimated to be the recirculation of pollutants in land-sea breeze cycle. This study suggests that in general, Anmyeondo station serves well as a background monitoring station. However, the variation in meteorological condition is so dynamic that it is primary factor to determine the concentrations of secondary species as well as primary pollutants at Anmyeondo station.
Driven pile has the excellent bearing characteristics and good economics, so it is known as the comparative piling method. To use the advantages of driven pile fully, it is necessary to perform the proper construction management. Engineers must drive pile to the proper bearing layer with proper blow energy and measure the blow count and penetration per certain depth to analyze the bearing capacity and driveability. In conventional method, these parameters have been measured manually so it was difficult to get good accuracy. After PIR-D(Pile Installation Recorder-Driven Pile) was attached to the driving equipment, the hammer efficiency, blow count and penetration in blow/10cm were measured automatically. In this paper, to givethe rational judgement criteria of bearing layer, driveability, blow/10cm according to pile depth during pile driving, the some relationship between the driving resistance and ground layer distribution was analyzed. The ground investigation during piles (PHC ${\Phi}450,\;{\Phi}400\;&\;Steel\;Pile\;{\Phi}609{\ast}16t$) installation in the marine clay layer in Incheon, the sandy soil layer in Yongin and the tuff layer in Pusan was done. And measuring hammer efficiency not doing recently, we could compare hammer efficiency(Eh) by PIR-D and energy transfer ratio(ETR) by Pile Dynamic Analyzer(PDA).
Indium tin oxide(ITO) 전극을 스파터링 법으로 피막시킨 9 MHz 수정진동자를 작용전극으로 사용하여 피롤을 전기화학적으로 중합시키면서, 수정진동자의 공진주파수 변화로 부터 중합량을 분석하고 공진저항의 변화로부터 막의 점탄성 변화를 분석함으로써 중합막의 유변학적 변화를 해석하였다. 본 실험에서 피롤막이 중합될 때 초기에는 탄성막을 형성하다가 점차 점탄성막으로 변화하지만 어느 순간에 다시 탄성막 점탄성막의 변화를 반복함을 확인하였다. 본 연구결과, 수정진동자를 이용하여 전기화학적 중합막의 유변학적 동특성을 중합과정에서 해석할 수 있음을 확인하였다.
Polyethylene terephthalate(PET) 필름 시편을 약 0.5~500 mm/min의 속도까지 단계적으로 연신시켰을 때, 플라스틱 변형이 일어나는 동안에 투명 및 불투명 밴드들이 존재하는 넥킹영역이 형성되었다. 상기 시편의 응력-변형 곡선을 살펴보면, 응력 진동이 뚜렷하게 발생하였음을 확인할 수 있었다. 한편, 열처리된 시편의 응력-변형 곡선을 살펴보면, 응력 진동이 발생하지 않았음을 확인할 수 있었다. 시편들의 미세구조는 광학 현미경을 통하여 동적으로 관찰하였고, 시편들의 열적 특성은 시차 주사 열량기를 사용하여 10 ${\circ}C$/min의 승온 속도에서 측정하였다. 또한, 시편들의 배향화 및 결정화 정도는 단색-핀홀법을 이용하여 측정하였고, 시편들의 탄성계수는 동적 기계 분석기를 통하여 -150~70 ${\circ}C$의 온도 범위에서 1 Hz의 주파수 대에서 측정하였다. PET 펠렛을 전기로에서 약 83${\circ}C$에서 30분 동안 열처리하여 투명한 PET 제품을 제작하였다.
Recently, oxide semi-conductor materials have been investigated as promising candidates replacing a-Si:H and poly-Si semiconductor because they have some advantages of a room-temperature process, low-cost, high performance and various applications in flexible and transparent electronics. Particularly, amorphous indium-gallium-zinc-oxide (a-IGZO) is an interesting semiconductor material for use in flexible thin film transistor (TFT) fabrication due to the high carrier mobility and low deposition temperatures. In this work, we demonstrated improvement of flexibility in IGZO TFTs, which were fabricated on polyimide (PI) substrate. At first, a thin poly-4vinyl phenol (PVP) layer was spin coated on PI substrate for making a smooth surface up to 0.3 nm, which was required to form high quality active layer. Then, Ni gate electrode of 100 nm was deposited on the bare PVP layer by e-beam evaporator using a shadow mask. The PVP and $Al_2O_3$ layers with different thicknesses were used for organic/inorganic multi gate dielectric, which were formed by spin coater and atomic layer deposition (ALD), respectively, at $200^{\circ}C$. 70 nm IGZO semiconductor layer and 70 nm Al source/drain electrodes were respectively deposited by RF magnetron sputter and thermal evaporator using shadow masks. Then, IGZO layer was annealed on a hotplate at $200^{\circ}C$ for 1 hour. Standard electrical characteristics of transistors were measured by a semiconductor parameter analyzer at room temperature in the dark and performance of devices then was also evaluated under static and dynamic mechanical deformation. The IGZO TFTs incorporating hybrid gate dielectrics showed a high flexibility compared to the device with single structural gate dielectrics. The effects of mechanical deformation on the TFT characteristics will be discussed in detail.
Kim, D.I.;Seol, Y.G.;Lee, N.E.;Woo, C.H.;Ahn, C.H.;Ch, H.K.
한국진공학회:학술대회논문집
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한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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pp.479-479
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2011
Flexible inverters based on complementary thin-film transistor (CTFTs) are important because they have low power consumption and other advantages over single type TFT inverters. In addition, integrated CTFTs in flexible electronic circuits on low-cost, large area and mechanically flexible substrates have potentials in various applications such as radio-frequency identification tags (RFIDs), sensors, and backplanes for flexible displays. In this work, we introduce flexible complementary inverters using pentacene and amorphous indium gallium zinc oxide (IGZO) for the p-channel and n-channel, respectively. The CTFTs were fabricated on polyimide (PI) substrate. Firstly, a thin poly-4-vinyl phenol (PVP) layer was spin coated on PI substrate to make a smooth surface with rms surface roughness of 0.3 nm, which was required to grow high quality IGZO layers. Then, Ni gate electrode was deposited on the PVP layer by e-beam evaporator. 400-nm-thick PVP and 20-nm-thick ALD Al2O3 dielectric was deposited in sequence as a double gate dielectric layer for high flexibility and low leakage current. Then, IGZO and pentacene semiconductor layers were deposited by rf sputter and thermal evaporator, respectively, using shadow masks. Finally, Al and Au source/drain electrodes of 70 nm were respectively deposited on each semiconductor layer using shadow masks by thermal evaporator. Basic electrical characteristics of individual transistors and the whole CTFTs were measured by a semiconductor parameter analyzer (HP4145B, Agilent Technologies) at room temperature in the dark. Performance of those devices then was measured under static and dynamic mechanical deformation. Effects of cyclic bending were also examined. The voltage transfer characteristics (Vout- Vin) and voltage gain (-dVout/dVin) of flexible inverter circuit were analyzed and the effects of mechanical bending will be discussed in detail.
스티렌, 폴리(에틸렌 글리콜) 메타크릴레이트 (PEG-MMA) 혹은 폴리(에틸렌 글리콜) 디메타크릴레이트 (PEG-diMMA)를 중성 매질에서 무유화제 (emulsifier-free) 유화 중합하여 표면에 에틸렌 글리콜기를 갖는 폴리스티렌 입자를 합성하였고, 이로부터 동결 건조되어진 분말을 제조하였다. 고분자 분말은 FT-TR 분광기로 구조를 확인하였고, 광산란 입도 분석기와 주사 전자 현미경 (SEM)을 이용하여 입자 크기와 분산도를 조사하였다. 스티렌에 대하여 공단량체 PEG-MMA는 2∼5 mol%, PEG-diMMA는 1 mol% 농도 부근에서 균일한 입자 크기를 얻을 수 있었다. 합성된 입자의 표면 전하를 유전 매질 내에서 ELS-8000 광산란법을 이용하여 제타 포텐셜을 측정하였다. 스티렌에 대하여 PEG-MMA 5 mol%에서 183 mV의 아주 높은 제타 포텐셜이 측정되었다.
VOD 서비스를 제공하는 서버는 클라이언트에게 좋은 서비스를 제공하기 위하여 요청을 처리할 수 있는 여러 개의 부본서버를 이용한다. 또한 시공간적으로 다양한 환경으로부터 요청된 클라이언트의 요구를 가장 효과적으로 처리할 수 있는 서버를 선택하기 위한 다양한 서버 선택 알고리즘들이 제안되었다. 선택 알고리즘은 각 부본서버의 성능을 평가할 수 있는 척도에 의하여 클라이언트의 요청을 적절하게 분산시켜야 서버 부하의 균형이 이루어지고 서비스의 질이 향상된다. 이때 척도를 어떻게 결정하느냐 하는 것이 선택알고리즘의 성능을 결정짓는 중요한 요소이다. 본 논문에서는 서버의 성능에 따라 서비스 요청을 분산시킴으로써 QoS를 향상시키는 데 중점을 둔 에이전트 시스템을 제안하고자 한다. 이 시스템은 부본서버 성능 분석자, 지식베이스, PCI 알고리즘기반 오토마타로 구성하였다. 학습자들의 요청에 응답한 각각의 서버로부터 수집한 로그를 분석하고, 조사하여 지식베이스를 생성하고 이로부터 추출한 규칙에 의하여 서비스를 제공할 서버를 선택한다. 여러 개의 부본서버 중 사용자 요청에 대하여 가장 좋은 서비스를 제공할 것으로 기대되는 서버를 동적으로 선택한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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