• 제목/요약/키워드: Dual-beam

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Dip-pen nanolithography를 위한 이중 팁을 가진 질화규소 프로브의 설계 및 제조 (Design and Fabrication of Dual Tip Si3N4 Probe for Dip-pen Nanolithograpy)

  • 김경호;한윤수
    • 한국표면공학회지
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    • 제47권6호
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    • pp.362-367
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    • 2014
  • We report the design, fabrication of a $Si_3N_4$ probe and calculation of its mechanical properties for DPN(dip pen nanolithography), which consists of dual tips. Concept of dual tip probe is to employ individual tips on probe as either an AFM tip for imaging or a writing tip for nano patterning. For this, the dual tip probe is fabricated using low residual stress $Si_3N_4$ material with LPCVD deposition and MEMS fabrication process. On the basis of FEM analysis we show that the functionality of dual tip probe for imaging is dependent on the dimensions of dual tip probe, and high ratio of widths of beam areas is preferred to minimize curvature variation on probe.

MCM/PCB 회로패턴 검사에서 SEM의 전자빔을 이용한 측정방법 (Characterization Method for Testing Circuit Patterns on MCM/PCB Modules with Electron Beams of a Scanning Electron Microscope)

  • 김준일;신준균;지용
    • 전자공학회논문지D
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    • 제35D권9호
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    • pp.26-34
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    • 1998
  • 본 논문은 주사전자현미경(SEM)의 전자총을 이용하여 MCM 또는 PCB 회로기판의 신호연결선에서 전압차를 유도시켜 개방/단락 등의 결함을 측정 검사하는 방법을 제시한다. 본 실험에서는 주사전자현미경의 구조를 변형시키지 알고 회로기판의 개방/단락 검사를 실시할 수 있는 이중전위전자빔(Dual Potential) 검사방법을 사용한다. 이중전위전자빔(Dual Potential) 측정검사 방법은 이차전자수율 값 δ의 차이를 유기시키는 δ < 1 인 충전 전자빔과 δ > 1 인 읽기 전자빔을 사용하여 한 개의 전자총이 각각 다른 가속전압에 의해 생성된 두 개의 전자빔으로 측정하는 방법으로 특정 회로네트에 대한 개방/단락 등의 측정 검사가 가능하다. 또한 읽기 전자빔을 이용할 경우 검사한 회로 네트를 방전시킬 수 있어 기판 도체에 유기된 전압차를 없앨 수 있는 방전시험도 실시할 수 있어, 많은 수의 회로네트를 지닌 회로 기판에 대해 측정 검사할 때 충전되어 있는 회로네트에 대한 측정오류를 줄일 수 있다. 측정검사를 실시한 결과 glass-epoxy 회로기판 위에 실장된 구리(Cu) 신호연결선은 7KeV의 충전 전자빔으로 충전시키고 10초 이내에 주사전자현미경을 읽기 모드로 바꾸어 2KeV의 읽기 전자빔으로 구리표면에서의 명암 밝기 차이를 읽어 개방/단락 상태를 검사할 수 있었다. 또한 IC 칩의 Au 패드와 BGA의 Au 도금된 Cu 회로패드를 검사한 결과도 7KeV 충전 전자빔과 2KeV 읽기 전자빔으로 IC칩 내부회로에서의 개방 단락 상태를 쉽게 검사할 수 있었다. 이 검사방법은 주사전자현미경에 있는 한 개의 전자총으로 비파괴적으로 회로 기판의 신호 연결선의 개방/단락 상태를 측정 검사할 수 있음을 보여 주었다.

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가시광선과 원적외선 듀얼카메라의 영상 정합도 향상을 위한 동축광학계 설계 및 분석 (Design and Analysis of Coaxial Optical System for Improvement of Image Fusion of Visible and Far-infrared Dual Cameras)

  • 강규리;김영일;손병수;박진영
    • 한국광학회지
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    • 제34권3호
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    • pp.106-116
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    • 2023
  • 본 논문에서는 가시광선과 원적외선 전반의 파장대역에 걸쳐 사용 가능한 동축 듀얼카메라를 설계 및 분석하였다. 광학계는 빔 스플리터를 이용한 동축광학계 시스템으로 설계되었으며, 가시광선 광학계에서 적외선으로 인한 열 전달을 최소화하기 위해 hot mirror 타입의 빔 스플리터를 사용하였다. 원적외선 카메라는 비냉각형 검출기로 640×480의 센서 배열을 가지고, 가시광선은 1,945×1,097의 센서를 사용한다. 최적화 과정을 거친 후 최종 설계된 광학계의 정합도는 90% 이상이며, 기존에 존재하던 듀얼카메라에 비해 정합도가 향상된 효율적인 설계 결과를 얻었고, 테스트를 통해 향상된 정합도를 확인하였다.

Dual detector system에서 Brain SPECT의 new reconstruction method의 연구 (The Study of New Reconstruction Method for Brain SPECT on Dual Detector System)

  • 이형진;김수미;이홍재;김진의;김현주
    • 핵의학기술
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    • 제13권1호
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    • pp.57-62
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    • 2009
  • 목적 : 기존의 fan-beam을 이용한 triple detector system에서 parallel collimator를 이용한 dual detector system으로 변화에 있어 acquisition과 processing 부분에서 발생할 수 있는 여러 가지의 변수를 phantom과 volunteer test를 통하여 실험해 보았다. 1 day protocol brain spect를 위하여 parallel collimator에서만 적용되는 OSEM2D와 OSEM3D의 비교 분석을 중점으로 하였고, 모든 연구는 동등한 검사시간으로 fan-beam을 사용하였던 Triple gamma camera보다 parallel을 사용한 dual camera에서 보다 우수한 영상을 구현하고자 하는 목표를 지향하였다. 실험재료 및 방법 : Normal time scan과 short time scan을 실시하였고, collimator 변화에 따른 영상의 변화도 알아보았다. Jaczack performance phantom과 Body IEC phantom을 이용하여 SNR과 contrast를 평가해보았고 Hoffman 3D phantom의 실험을 거쳐 volunteer test를 실시하였다. 결과 : Normal time과 short time의 비교에서는 FLASH3D를 제외한 OSEM2D와 FBP는 분석방법으로 부적합하였다. LEAP는 resolution과 sharpness 등 전체적인 영상의 질이 기존의 fan-beam을 이용한 영상과 유사하였고, LEUHR은 감도의 저하로 1 day protocol을 적용하기 위한 scan time에는 부적합하였다. 재구성법의 비교에서는 Flash-3D를 이용한 결과들이 기존의 FBP와 OSEM-2D보다 월등히 정확함을 정성적으로 확인하였다. 결론 : OSEM3D 재구성법으로 Dual detector system에서의 1 day protocol brain SPECT 시 Fan-beam보다 sensitivity가 떨어지는 parallel collimator의 단점을 보완하면서 영상의 질 또한 de-noising과 scatter correction, resolution recovery 등의 효과를 얻을 수 있으므로 1 day protocol brain SPECT의 검사의 적용에 유용할 것으로 사료된다. 그러나 이러한 half-time method라 제공되는 다양한 프로그램의 임상적용에 대한 광범 위한 연구가 현실적으로 필요하며 향후 계속적인 연구가 기대되는 바이다.

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MIMO-OFDM 시스템에서 이중계층 빔포밍 기법의 성능분석 (Performance Analysis of Dual-layer Beamforming Technique for MIMO-OFDM System)

  • 이신;김영주;박노윤
    • 대한전자공학회논문지TC
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    • 제47권5호
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    • pp.18-24
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    • 2010
  • 본 논문에서는 MIMO-OFDM 시스템에서 이중계층 (dual layer) 빕포밍 (beamforming) 기법을 제안한다. 이중계층 빔포밍 기법은 두 개 이상의 송신 및 수신 안테나를 이용하는 공간 다중화 (spatial multiplexing)에서 두 개의 스트림 (stream)을 이용하여 전송 용량을 증대시키는 기술이며, 빔포밍은 어레이 안테나에서 수신 신호의 방향을 추정하여 수신 및 송신에서 어레이 이득을 얻는 기술이다. 제안되는 기법은 MIMO-OFDM 구조에서 공간 다중화 기술을 적용해 높은 채널용량이득을 얻고, 동시에 어레이 안테나를 이용한 이득을 얻을 수 있으므로 기존에 OFDM 시스템에 공간다중화만 적용하거나, 어레이 안테나만 적용한 것에 비해, 시스템 성능을 획기적으로 높일 수가 있다.

I/Q 변조 풀이 방식의 헤테로다인 간섭계를 이용한 미소 전기장 및 복굴절 측정 (A new, hybrid, heterodyne, fiber-optic electric field sensor scheme and its applications)

  • 윤신영;조규만;이용산
    • 한국광학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.161-164
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    • 1997
  • 편광유지 광섬유를 이용한 주파수가 안정화된, 두 개의 서로 수직으로 편광된 종모우드를 갖는 He-Ne레이저 빛을 LoTa $O_{3}$ 위상변조기로 구성된 센서부(sensor head)로 전달해 줌으로써 원격에서 전기장을 측정할 수 있는 hybrid, heterodyne 간섭식 센서를 구성하였다. In/quadrature-phase위상변조풀이 방식을 이용하여 전기광학 효과에 의해 서로 수직으로 편광된 두 모우드 사이에 유도된 위상차이를 측정함으로써 항상 높은 검지율을 유지할 수 있는 전기장 센서를 구성하고, 이를 이용하여 광학 물질에 유도된 복굴절도 측정을 할 수 있었다.

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복 모드 원추 혼 안테나의 설계 (Design of Dual Mode Conical Horn Antennas)

  • 최학근;박종호;박정희
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제25권12호
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    • pp.1573-1581
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    • 1988
  • In this paper, the analysis on the dual mode conical horn antennas is made to realize the optimum horn as the primary feed of the offset parabolic antenna for the domestic broadcasting satellite. Such analysis can give rise to the approximate equations and graphs on the beam width, which makes it possible to design the desired conical horn. It has been shown that the radiation charateristics of designed horn antenna built with the dielectric band inside the horn. The designed dual mode horn antenna may provide the useful basis to practical usage of the antenna in the domestic satellite broadcasting communication systems.

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Influence of tooth position within the field of view on the intensity of cone-beam computed tomographic imaging artifacts when assessing teeth restored with various intracanal materials

  • de Oliveira Pinto, Martina Gerlane;Melo, Saulo Leonardo Sousa;Cavalcanti, Yuri Wanderley;de Lima, Elisa Diniz;Bento, Patricia Meira;de Melo, Daniela Pita
    • Imaging Science in Dentistry
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    • 제50권2호
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    • pp.141-151
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    • 2020
  • Purpose: This study aimed to quantify the influence of tooth position within the field-of-view (FOV) on cone-beam computed tomography (CBCT) imaging artifacts' intensity when assessing teeth restored with various intracanal materials. Materials and Methods: Seventy single-rooted teeth were divided into 7 groups (10 teeth per group): NiCr post (NC), AgPd post (AP), metal core fiberglass post (MCFG), fiberglass post (FG), anatomical fiberglass post (AFG), fiberglass post cemented with core build-up cement (FGCo), and anatomical fiberglass post cemented with core build-up cement (AFGCo). All posts were cemented using a regular dual-curing resin cement (Allcem), except FGCo and AFGCo which were cemented with a core build-up dual-curing resin cement (AllcemCore). Each tooth was scanned on a CS9000 in 5 positions within the FOV: a central position, anterior horizontal peripheral, peripheral superior, peripheral inferior, and posterior horizontal peripheral position. Hyperdense, hypodense, remaining teeth areas and ROI areas were quantitatively analyzed using ImageJ software. Results: Posterior horizontal peripheral position increased the intensity of artifacts on FGCo and AFGCo post groups (P<0.05), and specifically the hypodense artifact intensity on FG and AFG post groups (P<0.05). NC and AP groups presented greater intensity of artifacts than any other post groups(P<0.05). Conclusion: Artifact intensity increases in the presence of high atomic number materials and when the object is not centered within the FOV. The impact of positioning within the FOV on artifact was greater for fiberglass posts cemented with core build-up dual-curing cement than for metal posts and fiberglass posts cemented with regular dual-curing cement.